专利名称：共模滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种共模滤波器。
背景技术：
随着个人电脑和移动电话等电子设备的小型化，对于安装在电子设备内部电路中的线圈和电容器等电子部件，有小型化和薄型化的要求。作为对应于这种要求的薄膜型线圈部件之一，已知有共模滤波器(例如，参照下述专利文献1)。
专利文献1日本特开2005-50957号公报在专利文献1中记载的共模滤波器(在同一文献中为积层型共模滤波器)，跨过二层而配置为使两个线圈相互的缠绕方向相同、且各个线圈的各部分在相同的层上相互邻接。
因此，各个线圈的输入部分和输出部分夹着层而接近，寄生电容增加。其结果是，共振频率下降，高频带区域的共模特性下降。而且，由于线圈的各部分在相同层上相互邻接，因此可能有线圈线间的耐压性降低的问题。
另一方面，为了解决该技术性课题，也有如下提案将线圈的输入部分和输出部分形成于各自不同的层中，将螺旋线部分分别形成在两层中，仅用他们的导体部分由总共四层构成的共模滤波器。但是，在制造这种多层共模滤波器时，产生工艺增加、制造工序变得复杂等其他需要解决的课题。
发明内容
因此，本发明，其目的在于，提供一种制造工序简单，不会发生寄生电容和线间的耐压性等问题的共模滤波器。
本发明的共模滤波器，其特征在于，具备第1导体层、第2导体层和绝缘层；所述第1导体层具有按照描绘螺线的方式形成的第1螺旋部，以及从该第1螺旋部的一端延伸出的第1引出电极；所述第2导体层具有按照描绘螺线的方式形成的第2螺旋部，以及从该第2螺旋部的一端延伸出的第2引出电极；所述绝缘层配置在第1导体层和第2导体层之间；在第1导体层中，形成有第3引出电极和第4引出电极；在第2导体层中，形成有连接第3引出电极和第1螺旋部的另一端的连接导体；通过分别形成在绝缘层上的接触孔，第4引出电极与第2螺旋部的另一端连接，第3引出电极与连接导体的一端连接，连接导体的另一端与第1螺旋部的另一端连接。
根据本发明，由于可形成，以第1导体层、第2导体层、以及夹持在它们中的绝缘层的三层结构为基本结构的共模滤波器，因此，可简化其制造工序。另外，由于通过连接导体，连接有与第1螺旋部的另一端连接的第3引出电极，因此，可确保与第1螺旋部的一端连接的第1引出电极的距离，可抑制寄生电容问题的发生。另外，由于在第1导体层中形成有与第2螺旋部的另一端连接的第4引出电极，因此，可确保与形成于第2导体层的第2引出电极的距离，可抑制寄生电容问题的发生。而且，由于分别在第1导体层中形成有第1螺旋部，在第2导体层中形成有第2螺旋部，因此可确保线间距离，可抑制线间耐压性问题的发生。
另外，在本发明的共模滤波器中，优选第1导体层和第2导体层，分别具有相互重合的区域。由于使第1导体层与第2导体层重合，因此，可提高共模特性。
此时，优选第1螺旋部，具有向第1螺旋部的中心侧进行弯曲的第1弯曲部分；第2螺旋部，在与第1弯曲部分相对应的位置上，具有向第2螺旋部的中心的相反侧弯曲的第2弯曲部分；第1螺旋部中的第1弯曲部分以外的区域，和第2螺旋部中的第2弯曲部分以外的区域，相互重合。在此情况下，由于第1导体层和第2导体层重合的区域增大，因此，磁耦合增强。由此，可进一步提高共模特性。
另外，优选形成第1螺旋部的导体的长度，和形成第2螺旋部的导体的长度，实质上相同。在此情况下，由于第1螺旋部和第2螺旋部的电感值实质上相等，因此，可减小第1导体层和第2导体层的电感值的差。由此，可进一步提高共模特性。
另外，在本发明的共模滤波器中，优选在第1导体层和第2导体层各自中，形成有多个第1螺旋部、第1引出电极、第2螺旋部、第2引出电极、第3引出电极、第4引出电极、以及连接导体。由于在第1导体层和第2导体层各自中，形成有多个第1螺旋部、第1引出电极、第2螺旋部、第2引出电极、第3引出电极、第4引出电极、以及连接导体，因此，可提供一种所谓的矩阵型的共模滤波器。
另外，在本发明的共模滤波器中优选为，具备第3导体层，设置为使得在与第2导体层之间夹持第2绝缘层，且具有按照描绘螺线的方式形成的第3螺旋部和从该第3螺旋部的一端延伸出的第5引出电极；第4导体层，具有按照描绘螺线的方式形成的第4螺旋部和从该第4螺旋部的一端延伸出的第6引出电极；以及配置在第3导体层和第4导体层之间的第3绝缘层；在第4导体层上，形成有第7引出电极和第8引出电极；在第4导体层上，形成有连接第7引出电极和第3螺旋部的另一端的第2连接导体；通过分别形成在第3绝缘层上的接触孔，第8引出电极与第4螺旋部的另一端连接，第7引出电极与第2连接导体的一端连接，第2连接导体的另一端与第3螺旋部的另一端连接。由于除第1螺旋部和第2螺旋部以外，还具备第3螺旋部和第4螺旋部，因此，可提供4线的共模滤波器。
根据本发明，可提供制造工序简单、不发生寄生电容和线间耐压性等问题的共模滤波器。
图1是表示本发明的第1实施方式的共模滤波器的立体图。
图2是图1的层构造体的分解立体图。
图3是图1的层构造体的平面图。
图4是表示本发明的第2实施方式的共模滤波器的立体图。
图5是图4的层构造体的分解立体图。
图6是图4的层构造体的平面图。
图7是图4的层构造体的剖面图。
图8是表示本发明的第3实施方式的共模滤波器的一部分的分解平面图。
图9是图8的层构造体的平面图。
符号说明CF、CF2…共模滤波器，MB1、MB3…第1磁性基板，LS、LS2…层构造体，MB2、MB4…第2磁性基板，3…第1绝缘层，5…第1导体层，7…第2绝缘层，9…第2导体层，11…第3绝缘层，51、91…螺旋部(spiral)，52、53、54、55、92、94、95、96…引出电极，93…连接导体，71、72、73…接触孔，4…第1绝缘层，6…第1导体层，8…第2绝缘层，10…第2导体层，12…第3绝缘层，14…第3导体层，16…第4绝缘层，18…第4导体层，20…第5绝缘层，61、101、141、181…螺旋部，62、63、64、102、142、143、144、182…引出电极，103、183…连接导体，81、82、83、161、162、163…接触孔，205…第1导体层，207…第2绝缘层，209…第2导体层，251、291…螺旋部，251a、291a…弯曲部分，252、253、254、255、292、293、294、295…引出电极，256…连接导体，271、272、273…接触孔具体实施方式
本发明的见解，可通过参照仅用于示例而示出的附图，并考虑以下的详细叙述，而容易地理解。下面，将参照附图，对本发明的实施方式进行说明。在可能的情况下，对相同部分添加相同符号，并省略重复的说明。
第1实施方式参照图1，对本发明的第1实施方式的共模滤波器进行说明。图1为表示共模滤波器CF的立体图。
如图1所示，共模滤波器CF为薄膜型共模滤波器，具备第1磁性基板MB1、层构造体LS和第2磁性基板MB2。在由第1磁性基板MB1、层构造体LS和第2磁性基板MB2构成的积层体的外周面上，形成有端子电极1。端子电极1，形成为，从第1磁性基板MB1经层构造体LS，达到第2磁性基板MB2。另外，在上述积层体的相对的侧面上，形成有两对端子电极1。
图2是将共模滤波器CF分解表示的结构图。参照图2，对层构造体LS进行说明。如图2所示，层构造体LS为利用薄膜成形技术层叠第1绝缘层3、第1导体层5、第2绝缘层7(绝缘层)、第2导体层9和第3绝缘层11而形成。
第1绝缘层3，由聚酰亚胺树脂(polyimide resin)、环氧树脂(Epoxyresin)等电绝缘性及磁性绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。该第1绝缘层3用于缓和第1磁性基板MB 1的凹凸，提高与第1导体层5的密合性。第1绝缘层3，在第1磁性基板MB1上利用旋旋涂(spincoat)法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料后，使其硬化而形成。
第1导体层5形成在第1绝缘层3上。第1导体层5具有螺旋部51(第1螺旋部)、引出电极52(第1引出电极)、引出电极53(第3引出电极)、引出电极54(第4引出电极)和引出电极55。第1导体层5，通过在第1绝缘层3上形成导体薄膜，利用光刻法(photolithography)制作螺旋部51、引出电极52、53、54、55的图案而形成。
螺旋部51，在第1绝缘层3所沿着的平面上，按照描绘矩形的螺线的方式形成。引出电极52从螺旋部51的外侧的端部(一端)延伸出。引出电极52，从螺旋部51的外侧的端部(一端)向第1绝缘层3的一边接近而形成。
引出电极53，从与引出电极52所接近的第1绝缘层3的一边相对的边，沿螺旋部51的外周形成。引出电极53的一端，配置在螺旋部51的外侧，与螺旋部51的内侧的端部(另一端)相对应的位置上。
引出电极54，从与引出电极52所接近的第1绝缘层3的一边相对的边，沿第1绝缘层3的外周形成。引出电极54的一端，配置在与后述螺旋部91的内侧的端部(另一端)相对应的位置上。引出电极55，形成在引出电极52所接近的第1绝缘层3的一边上。
第2绝缘层7，形成在第1导体层5上。第2绝缘层7，由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性以及磁绝缘性优异，加工性良好的树脂材料形成。在第2绝缘层7上，形成有接触孔71、72、73。
接触孔71，形成在可看穿到螺旋部51的内侧的端部(另一端)的位置上。接触孔72，形成在可看穿到引出电极53的一端的位置上。接触孔73，形成在可看穿到引出电极54的一端的位置上。
第2绝缘层7，在第1导体层5上利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料，对该涂布的树脂材料进行曝光、显影，并在将接触孔71、72、73形成在规定的位置上的状态下进行硬化而形成。
第2导体层9，形成在第2绝缘层7之上。第2导体层9，具有螺旋部91(第2螺旋部)、引出电极92(第2引出电极)、连接导体93、引出电极94、引出电极95和引出电极96。第2导体层9，通过在第2绝缘层7上形成导体薄膜，并利用光刻法制作螺旋部91、引出电极92、94、95、96、连接导体93的图案而形成。
螺旋部91，在第2绝缘层7所沿着的平面上，按照描绘矩形的螺线的方式形成。从螺旋部91的外侧的端部(一端)延伸出引出电极92。引出电极92，从螺旋部91的外侧的端部(一端)接近第2绝缘层7的一边而形成。螺旋部91的内侧的端部(另一端)，形成在与第2绝缘层7的接触孔73相对应的位置上。因此，形成螺旋部91时，在接触孔73中填满导体，与第1导体层5的引出电极54接触而电连接。
连接导体93，在螺旋部91的内侧，从与第2绝缘层7的接触孔71相对应的位置向与接触孔72相对应的位置形成。因此，在形成连接导体93后，在接触孔71和接触孔72中填满导体，第1导体层5的螺旋部51的内侧的端部(另一端)和引出电极53，与连接导体93接触而电连接。
引出电极94，沿引出电极92所接近的第2绝缘层7的一边形成。引出电极95和96，沿与引出电极92所接近的第2绝缘层7的一边相对的边形成。
第3绝缘层11，形成在第2导体层9之上。第3绝缘层11，由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性以及磁绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。第3绝缘层11，在第2导体层9上利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料后，使其硬化而形成。
第2磁性基板MB2通过粘合层(未图示)粘贴于第3绝缘层11上。
下面，参照图3，对第1导体层5和第2导体层9进行说明。图3为层构造体LS的平面图，是表示去除第3绝缘层11的状态的图。而且，在图3中，实线表示第2导体层9，虚线表示第1导体层5，由实线和虚线的双重线所描绘的部分，表示第1导体层5和第2导体层9的图案相重合的部分。
第1导体层5的螺旋部51，以形成在与接触孔71相接触的位置上的端部51a为内侧的端部(另一端)，并以向外侧描绘矩形的螺线的方式形成，以端部51b为外侧的端部(一端)。
引出电极52，由与螺旋部51的外侧的端部(一端)即端部51b连接的线状部52a，和与该线状部52a连接的板状部52b构成。
线状部52a，从螺旋部51的端部51b向第2绝缘层7的边7a延伸，沿边7a进行弯曲，到达板状部52b。
引出电极53，在与引出电极52相对的位置上，由沿第2绝缘层7的边7b形成的板状部53b和以连接板状部53b与接触孔72的方式延伸的线状部53a构成。
线状部53a，从板状部53b向螺旋部51延伸，形成为绕入螺旋部51，并到达接触孔72。
接触孔71和接触孔72连接在连接导体93的两端。另外，连接导体93，形成为从螺旋部51的内侧跨越至外侧。而且，由于接触孔72形成在离开螺旋部51的最外周部分的位置，因此，可避免在引出电极52和引出电极53之间(螺旋部51的输入部和输出部)的寄生电容的发生。
第2导体层9的螺旋部91，以形成在与接触孔73相接触的位置上的端部91a为内侧的端部(另一端)，以向外侧描绘矩形的螺线的方式形成，以端部91b为外侧的端部(一端)。
引出电极92，由与螺旋部91的外侧的端部(一端)即端部91b连接的线状部92a和与该线状部92a连接的板状部92b构成。
线状部92a，从螺旋部91的端部91b向第2绝缘层7的边7a延伸，并沿边7a进行弯曲，到达板状部92b。
引出电极54，在与引出电极92(55)相对的位置上，由沿第2绝缘层7的边7b形成的板状部54b和以连接板状部54b和接触孔73的方式延伸的线状部54a构成。
线状部54a，从板状部54b向螺旋部91延伸，形成为绕入螺旋部91并沿第2绝缘层7的边7c伸出。然后，从边7c的大致中间位置进行弯曲，到达接触孔73。
接触孔73，连接于螺旋部91的内侧的端部(另一端)和线状部54a。因此，螺旋部91和引出电极54接触并电连接。
引出电极54的线状部54a，由于形成在离开螺旋部91的最外周部分的位置上，因此，可避免在引出电极92和引出电极54之间(螺旋部91的输入部和输出部)的寄生电容的发生。
如本实施方式，在使两个螺旋部51和螺旋部91夹持第2绝缘层7而形成时，与将两个螺旋部以相互的卷绕部分相邻的方式形成的情况相比，可确保线间的耐压性。
另外，如本实施方式，由于使两个螺旋部51和螺旋部91配置为具有从层叠方向看相互重叠的区域，因此，共模特性优异。另外，使两个螺旋部51和91配置为从层叠方向看相互重叠二分之一以上时，可进一步提高共模特性。
第2实施方式参照图4，对本发明的第2实施方式的共模滤波器进行说明。图4为表示共模滤波器CF2的立体图。
如图4所示，共模滤波器CF2，为薄膜型的共模滤波器，具备第1磁性基板MB3、层构造体LS2、第2磁性基板MB4。在由第1磁性基板MB3、层构造体LS2、第2磁性基板MB4构成的层压体的外周面上，形成有端子电极2。端子电极2，形成为从第1磁性基板MB3经层构造体LS2到达第2磁性基板MB4。另外，在上述层压体的相对的侧面上，形成有四对端子电极2。
图5是将共模滤波器CF2分解表示的结构图。参照图5，对层构造体LS2进行说明。如图5所示，层构造体LS2，利用薄膜成形技术形成有第1绝缘层4、第1导体层6、第2绝缘层8(绝缘层)、第2导体层10、第3绝缘层10、第3导体层14、第4绝缘层16(第2绝缘层)、第4导体层18和第5绝缘层20。
第1绝缘层4，由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性和磁绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。该第1绝缘层4用于缓和第1磁性基板MB3的凹凸，并提高与第1导体层6的密合性。第1绝缘层4，在第1磁性基板MB3上，利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料后，使其硬化而形成。
第1导体层6，形成在第1绝缘层4之上。第1导体层6，具有螺旋部61(第1螺旋部)、引出电极62(第1引出电极)、引出电极63(第3引出电极)、引出电极64(第4引出电极)、引出电极65、66、67、68、69。第1导体层6，通过在第1绝缘层4上形成导体薄膜，利用光刻法制作螺旋部61、引出电极62、63、64、65、66、67、68、69的图案而形成。
螺旋部61，在第1绝缘层4所沿着的平面上，按照描绘矩形的螺线的方式形成。从螺旋部61的外侧的端部(一端)延伸出引出电极62。引出电极62，形成为从螺旋部61的外侧的端部(一端)向第1绝缘层4的一边接近。
引出电极63，从与引出电极62所临近的第1绝缘层4的一边相对的边，沿螺旋部61的外周而形成。引出电极63的一端，在螺旋部61的外侧，配置在与螺旋部61的内侧的端部(另一端)相对应的位置上。
引出电极64，从与引出电极62所临近的第1绝缘层4的一边相对的边起，沿第1绝缘层4的外周而形成。引出电极64的一端，配置在与后述螺旋部101的内侧的端部(另一端)相对应的位置上。引出电极65、66、67，形成在引出电极62所临近的第1绝缘层4的一边上。另外，引出电极68、69，形成在与引出电极62所临近的第1绝缘层4的一边相对的边上。
第2绝缘层8，形成在第1导体层6之上。第2绝缘层8，由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性和磁绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。在第2绝缘层8上，形成有接触孔81、82、83。
接触孔81，形成在可看穿到螺旋部61的内侧的端部(另一端)的位置上。接触孔82，形成在可看穿到引出电极63的一端的位置上。接触孔83，形成在可看穿到引出电极64的一端的位置上。
第2绝缘层8为，在第1导体层6上利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料，对该涂布的树脂材料进行曝光、显影，并在将接触孔81、82、83形成在规定的位置上的状态下进行硬化而形成。
第2导体层10，形成在第2绝缘层8之上。第2导体层10，具有螺旋部101(第2螺旋部)、引出电极102(第2引出电极)、连接导体103、引出电极104、105、106、107、108、109、110。第2导体层10，通过在第2绝缘层8上形成导体薄膜，并利用光刻法制作螺旋部101、引出电极102、104、105、106、107、108、109、110、连接导体103的图案而形成。
螺旋部101，在第2绝缘层8所沿着的平面上，按照描绘矩形的螺线的方式形成。从螺旋部101的外侧的端部(一端)延伸出引出电极102。引出电极102，从螺旋部101的外侧的端部(一端)以临近第2绝缘层8的一边的方式形成。螺旋部101的内侧的端部(另一端)，形成在与第2绝缘层8的接触孔83相对应的位置上。因此，形成螺旋部101时，在接触孔83中填满导体，与第1导体层6的引出电极64接触而电连接。
连接导体103，在螺旋部101的内侧，从与第2绝缘层8的接触孔81相对应的位置连接到与接触孔82相对应的位置而形成。因此，在形成连接导体103后，在接触孔81和82中填满导体，第1导体层6的螺旋部61的内侧的端部(另一端)和引出电极63，与连接导体103接触而电连接。
引出电极104、105、106，沿引出电极102所临近的第2绝缘层8的一边形成。引出电极107、108、109、110，沿与引出电极102所临近的第2绝缘层8的一边相对的边形成。
第3绝缘层12，形成在第2导体层10之上。第3绝缘层12，由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性和磁绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。第3绝缘层12为，在第2导体层10上利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料后，使其硬化而形成。
第3导体层14，形成在第3绝缘层12之上。第3导体层14，具有螺旋部141(第3螺旋部)、引出电极142(第3引出电极)、引出电极143(第7引出电极)、引出电极144(第8引出电极)、引出电极145、146、147、148、149。第3导体层14，通过在第3绝缘层12上形成导体薄膜，利用光刻法制作螺旋部141、引出电极142、143、144、145、146、147、148、149的图案而形成。
螺旋部141，在第3绝缘层12所沿着的平面上，按照描绘矩形的螺线的方式形成。从螺旋部141的外侧的端部(一端)延伸出引出电极142。引出电极142，从螺旋部141的外侧的端部(一端)，临近第3绝缘层12的一边而形成。
引出电极143，从与引出电极142所临近的第3绝缘层12的一边相对的边，沿螺旋部141的外周形成。引出电极143的一端，配置在螺旋部141的外侧，与螺旋部141的内侧的端部(另一端)相对应的位置上。
引出电极144，从与引出电极142所临近的第3绝缘层12的一边相对的边，沿第3绝缘层12的外周形成。引出电极144的一端，配置在与后述的螺旋部181的内侧的端部(另一端)相对应的位置上。引出电极145、146、147，形成在引出电极142所临近的第3绝缘层12的一边。另外，引出电极148、149，形成在与引出电极142所临近的第3绝缘层12的一边相对的边上。
第4绝缘层16，形成在第3导体层14之上。第4绝缘层16由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性和磁绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。在第4绝缘层16上，形成有接触孔161、162、163。
接触孔161，形成在可看穿到螺旋部141的内侧的端部(另一端)的位置上。接触孔162，形成在可看穿到引出电极143的一端的位置上。接触孔163，形成在可看穿到引出电极144的一端的位置上。
第4绝缘层8，在第3导体层14上，利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料，对该涂布的树脂材料进行曝光、显影，并在将接触孔161、162、163形成在规定的位置上的状态下进行硬化而形成。
第4导体层18，形成在第4绝缘层16之上。第4导体层18，具有螺旋部181(第4螺旋部)、引出电极182(第6引出电极)、连接导体183、引出电极184、185、186、187、188、189、190。第4导体层18，通过在第4绝缘层16上形成导体薄膜，并利用光刻法制作螺旋部181、引出电极182、184、185、186、187、188、189、190、连接导体183的图案而形成。
螺旋部181，在第4绝缘层16所沿着的平面上，按照描绘矩形的螺线的方式形成。从螺旋部181的外侧的端部(一端)延伸出引出电极182。引出电极182，从螺旋部181的外侧的端部(一端)临近第4绝缘层16的一边而形成。螺旋部181的内侧的端部(另一端)，形成在与第4绝缘层16的接触孔163相对应的位置上。因此，形成螺旋部181时，在接触孔163中填满导体，与第3导体层14的引出电极144接触而电连接。
连接导体183，形成在螺旋部181的内侧，从与第4绝缘层16的接触孔161相对应的位置连接到与接触孔162相对应的位置为止。因此，在形成连接导体183后，在接触孔161和162中填满导体，第3导体层14的螺旋部141的内侧的端部(另一端)和引出电极143，与连接导体183接触而电连接。
引出电极184、185、186，沿引出电极182所临近的第4绝缘层16的一边形成。引出电极187、188、189、190，沿与引出电极182所临近的第4绝缘层16的一边相对的边形成。
第5绝缘层20，形成在第4导体层18之上。第5绝缘层20，由聚酰亚胺树脂、环氧树脂等电绝缘性和磁绝缘性优异、加工性良好的树脂材料形成。第5绝缘层20，在第4导体层18上利用旋涂法、浸渍法、喷涂法等方法涂布上述树脂材料后，使其硬化而形成。
第2磁性基板MB4通过粘合层(未图示)粘贴于第5绝缘层20上。
下面，参照图6，对第1导体层6和第2导体层10进行说明。图6为层构造体LS2的平面图，是表示去掉从第3绝缘层11到第5绝缘层20的状态的图。而且，在图6中，实线表示第2导体层10，虚线表示第1导体层6，由实线和虚线的双重线所描绘的部分，表示第1导体层6和第2导体层10的图案相重叠的部分。
第1导体层6的螺旋部61，以形成在与接触孔81相接触的位置上的端部61a为内侧的端部(另一端)，向外侧描绘矩形的螺线而形成，以端部61b为外侧的端部(一端)。
引出电极62，由与作为螺旋部61的外侧的端部(一端)的端部61b连接的线状部62a，和与该线状部62a连接的板状部62b构成。
线状部62a，从螺旋部61的端部61b向第2绝缘层8的边8a延伸，到达板状部62b。
引出电极63，在与引出电极62相对的位置上，沿第2绝缘层8的边8b形成的板状部63b，和连接板状部63b与接触孔82而延伸的线状部63a构成。
线状部63a，从板状部63b向螺旋部61延伸，形成为绕入螺旋部61，并到达接触孔82。
接触孔81和接触孔82连接在连接导体103的两端。另外，连接导体103，形成为从螺旋部61的内侧跨越至外侧。而且，由于接触孔82形成在离开螺旋部61的最外周部分的位置，因此，可避免在引出电极62和引出电极63之间(螺旋部61的输入部和输出部)的寄生电容的发生。
第2导体层10的螺旋部101，以形成在与接触孔83相接触的位置上的端部101a为内侧的端部(另一端)，向外侧描绘矩形的螺线而形成，以端部101b为外侧的端部(一端)。
引出电极102，由与作为螺旋部101的外侧的端部(一端)的端部101b连接的线状部102a，和与该线状部102a连接的板状部102b构成。
线状部102a，从螺旋部101的端部101b向第2绝缘层8的边8a沿着边8c延伸，到达板状部102b。
引出电极64，在与引出电极102(65)相对的位置上，由沿第2绝缘层8的边8b形成的板状部64b，和为了连接板状部64b和接触孔83而延伸的线状部64a构成。
线状部64a，从板状部64b向螺旋部101延伸，形成围绕螺旋部101并沿第2绝缘层8的边8c伸出。然后，从边8c的大致中间位置进行弯曲，到达接触孔83。
接触孔83，连接于螺旋部101的内侧的端部(另一端)和线状部64a。因此，使螺旋部101和引出电极64接触而电连接。
引出电极64的线状部64a，由于形成在从螺旋部101的最外周部分离开的位置上，因此，可避免在引出电极102和引出电极64之间(螺旋部101的输入部和输出部)的寄生电容的发生。
下面，参照图7，对第3导体层14和第4导体层18进行说明。图7为层构造体LS2的平面图，是表示去掉第5绝缘层20的状态的图。而且，在图7中，实线表示第4导体层18，虚线表示第3导体层14，由实现和虚线的双重线所描绘的部分，表示第3导体层14和第4导体层18的图案相重叠的部分。
第3导体层14的螺旋部141，以形成在与接触孔161相接触的位置上的端部141a为内侧的端部(另一端)，向外侧描绘矩形的螺线而形成，以端部141b为外侧的端部(一端)。
引出电极142，由与作为螺旋部141的外侧的端部(一端)的端部141b连接的线状部142a、和与该线状部142a连接的板状部142b构成。
线状部142a，从螺旋部141的端部141b向第4绝缘层16的边16a延伸，到达板状部142b。
引出电极143，在与引出电极142相对的位置上，由沿第4绝缘层16的边16b形成的板状部143b、和为了连接板状部143b与接触孔162而延伸的线状部143a构成。
线状部143a，从板状部143b向螺旋部141延伸，形成围绕螺旋部141，并到达接触孔162。
接触孔161和接触孔162连接在连接导体183的两端。另外，连接导体183，形成为从螺旋部141的内侧跨越至外侧。而且，由于接触孔162形成在从螺旋部141的最外周部分离开的位置，因此，可避免在引出电极142和引出电极143之间(螺旋部141的输入部和输出部)的寄生电容的发生。
第4导体层18的螺旋部181，以形成在与接触孔163相接触的位置上的端部181a为内侧的端部(另一端)，形成为向外侧描绘矩形的螺线，以端部181b为外侧的端部(一端)。
引出电极182，由与作为螺旋部181的外侧的端部(一端)的端部181b连接的线状部182a、和与该线状部182a连接的板状部182b构成。
线状部182a，从螺旋部181的端部181b向第4绝缘层16的边16a延伸，到达板状部182b。
引出电极144，在与引出电极182(147)相对的位置上，由沿第4绝缘层16的边16b形成的板状部144b、和为了连接板状部144b和接触孔163而延伸的线状部144a构成。
线状部144a，从板状部144b向螺旋部181延伸，形成围绕螺旋部181并沿第4绝缘层16的边16c伸出。然后，从边16c的大致中间位置进行弯曲，到达接触孔163。
接触孔163，连接于螺旋部181的内侧的端部(另一端)和线状部144a。因此，使螺旋部181和引出电极144接触而电连接。
引出电极144的线状部144a，由于形成在从螺旋部181的最外周部分离开的位置上，因此，可避免在引出电极182和引出电极144之间(螺旋部181的输入部和输出部)的寄生电容的发生。
如本实施方式，在使两个螺旋部61和螺旋部101夹持第2绝缘层8而形成时，与形成为使两个螺旋部相互的卷绕部分相邻的情况相比，可确保线间的耐压性。对于螺旋部141、螺旋部181和第4绝缘层16也相同。
另外，如本实施方式，由于使两个螺旋部61和螺旋部101配置为从层叠方向观察具有相互重叠的区域，因此，共模特性优异。另外，在使两个螺旋部61和螺旋部101配置为从层叠方向观察相互重叠二分之一以上时，可进一步提高共模特性。对于螺旋部141、螺旋部181和第4绝缘层16也相同。
而且，在本实施方式中，对所谓4线型共模滤波器进行了说明，但是，也可以是分别连接中心附近的引出电极62和66、引出电极63和69、引出电极142和146、引出电极143和148、引出电极185和186、引出电极188和189，而作为3线的。
第3实施方式参照图8，对作为本发明的第3实施方式的共模滤波器进行说明。本实施方式的共模滤波器，在第1实施方式的共模滤波器CF中，代替第1导体层5、第2绝缘层7、第2导体层9，设置有如图8所示的第1导体层205、第2绝缘层207、第2导体层209。
第1导体层205，形成在第1绝缘层3(参照图2)之上。第1导体层205，如图8(a)所示，具有螺旋部(第2螺旋部)251、引出电极252、引出电极253(第2引出电极)、引出电极254、引出电极255、连接导体256。引出电极252、253，配置在第1绝缘层3的一边侧，引出电极254、255，配置在与引出电极252、253所临近的第1绝缘层3的一边相对的边侧。
螺旋部251，在第1绝缘层3所沿着的平面上，按照描绘具有矩形的螺线而形成。螺旋部251，具有向引出电极254、255侧，弯曲成大致矩形形状的弯曲部分251a(第2弯曲部分)。从螺旋部251的外侧的端部(一端)延伸出引出电极253。螺旋部251的内侧的端部(另一端)，延伸至弯曲部分251a的区域，并与连接部257连接。
连接导体256，形成在螺旋部251的内侧区域中的弯曲部分251a附近位置上。在连接导体256的两端，分别连接有连接部258、259。
第2绝缘层207，形成在第1导体层205之上。在第2绝缘层207中，如图8(b)所示，形成有接触孔271、272、273。接触孔271，形成在可看穿至连接部257的位置上；接触孔272，形成在可看穿至连接部258的位置上；接触孔273，形成在可看穿至连接部259的位置上。
第2导体层209，形成在第2绝缘层207之上。第2导体层209，如图8(c)所示，具有螺旋部(第1螺旋部)291、引出电极292(第1引出电极)、引出电极293、引出电极294(第4引出电极)、引出电极295(第3引出电极)。引出电极292、293，配置在第2绝缘层207的一边侧(与引出电极252、253相对应的一侧)；引出电极294、295，形成在与引出电极292、293所临近的第2绝缘层207的一边相对的边侧(与引出电极254、255相对应的侧)。
螺旋部291，在第2绝缘层207所沿着的平面上，按照描绘具有矩形形状的螺线而形成。螺旋部291，在与螺旋部251的弯曲部分251a相对应的位置上，具有向螺旋部291的中心侧弯曲成大致矩形形状的弯曲部分291a(第1弯曲部分)。引出电极292从螺旋部291的外侧的端部(一端)延伸出。螺旋部291的内侧的端部(另一端)，延伸至弯曲部分291a的区域，并与形成在与接触孔273相对应的位置上的连接部296连接。
引出电极294，由沿第2绝缘层207的一边形成的板状部294b、和为了与形成在与板状部294b和接触孔271相对应的位置上的连接部297进行连接而延伸的线状部294a构成。
引出电极295，由沿第2绝缘层207的一边形成的板状部295b、和为了与形成在与板状部295b和接触孔272相对应的位置上的连接部298进行连接而延伸的线状部295a构成。
下面，参照附图9，对第1导体层205和第2导体层209进行说明。图9为本实施方式的层构造体LS的平面图，是表示去掉第3绝缘层11(参照图2)的状态的图。
第1导体层205的螺旋部251中的弯曲部分251a以外的区域，和第2导体层209的螺旋部291中的弯曲部分291a以外的区域，从层构造体LS的层叠方向观察相互重叠。也就是说，使螺旋部251、291之间不重叠的区域为最小限度，而形成线圈导体图案。由此，因为共模滤波器的磁性耦合提高，所以，传送信号的差分方式(differential mode)(正常方式(normal mode))的阻抗降低。其结果是，可减小信号传送中的损失，可进行良好的信号传送。
另外，从层叠方向观看时，弯曲部分251a、291a形成有大致四方形部，在与其四方形部的内侧区域相对应的区域上，配置有用于连接第1导体层205和第2导体层209的接触孔271、272。另外，连接导体256，形成为跨越弯曲部分291a。因此，可利用弯曲部分251a、291a，使空间效率良好地形成引出电极252～255以及连接导体256和引出电极292～295。
而且，使螺旋部251、291，形成为2个线圈的导体长度相等。在此情况下，螺旋部251、291的电感值(inductance)以及阻抗值也相等。另外，各线圈的线间的线路长度之差变小。由此，因为各线的电阻的差减小，因此，可充分抑制，对利用共模滤波器的接受端检测出的信号所造成的不良影响。
根据如上所述本实施方式，与第1和第2实施方式相同，可避免螺旋部的输入部和输出部之间的寄生电容的发生，同时，可确保螺旋部的线间耐压性。
另外，由于可确保优异的磁耦合，同时，可使2个线圈的阻抗差变小，因此，其结果是，进一步提高共模滤波器的共模特性成为可能。
而且，本实施方式是将第1实施方式的共模滤波器CF变形的实施方式，但是，显而易见，也可适用于如第2实施方式的，所谓4线型的共模滤波器。
在上述各实施方式中，对在一个导体层中仅设置一个螺旋部的实施方式进行了说明，但是，也可以形成为，在一个导体层中具有多个螺旋部的所谓矩阵型的共模滤波器。
例如，根据参照图1～3进行说明的共模滤波器CF，以其原位置关系设置多组第1导体层5的螺旋部51、引出电极52、引出电极53、引出电极54、引出电极55。在第2导体层9中，与在第1导体层5中设置的多个组相对应，以其原位置关系设置多组螺旋部91、连接导体93、引出电极92、引出电极94、引出电极95、引出电极96。对于参照图4～7进行说明的共模滤波器CF2也相同。
权利要求
1.一种共模滤波器，其特征在于是具备第1导体层、第2导体层和绝缘层的共模滤波器，所述第1导体层具有按照描绘螺线的方式形成的第1螺旋部，和从该第1螺旋部的一端延伸出的第1引出电极，所述第2导体层具有按照描绘螺线的方式形成的第2螺旋部，和从该第2螺旋部的一端延伸出的第2引出电极，所述绝缘层配置在所述第1导体层和所述第2导体层之间；在所述第1导体层中，形成有第3引出电极和第4引出电极；在所述第2导体层中，形成有连接所述第3引出电极和所述第1螺旋部的另一端的连接导体；通过形成在所述绝缘层上的接触孔，所述第4引出电极与所述第2螺旋部的另一端连接，所述第3引出电极与所述连接导体的一端连接，所述连接导体的另一端与所述第1螺旋部的另一端连接。
2.如权利要求1所述的共模滤波器，其特征在于所述第1导体层和所述第2导体层，分别具有相互重叠的区域。
3.如权利要求2所述的共模滤波器，其特征在于所述第1螺旋部，具有向所述第1螺旋部的中心侧弯曲的第1弯曲部分；所述第2螺旋部，在与所述第1弯曲部分相对应的位置上，具有向所述第2螺旋部的中心的相反侧弯曲的第2弯曲部分；所述第1螺旋部中的所述第1弯曲部分以外的区域与所述第2螺旋部中的所述第2弯曲部分以外的区域相互重叠。
4.如权利要求3所述的共模滤波器，其特征在于形成所述第1螺旋部的导体的长度与形成所述第2螺旋部的导体的长度实质上相同。
5.如权利要求1～4中任何一项所述的共模滤波器，其特征在于在所述第1导体层和所述第2导体层中，分别形成有多个所述第1螺旋部、所述第1引出电极、所述第2螺旋部、所述第2引出电极、所述第3引出电极、所述第4引出电极、以及所述连接导体。
6.如权利要求1～4中任何一项所述的共模滤波器，其特征在于具备第3导体层、第4导体层和第3绝缘层，所述第3导体层，配置为在其与所述第2导体层之间夹持有第2绝缘层，并具有按照描绘螺线的方式形成的第3螺旋部以及从该第3螺旋部的一端延伸出的第5引出电极；所述第4导体层，具有按照描绘螺线的方式形成的第4螺旋部以及从该第4螺旋部的一端延伸出的第6引出电极；和所述第3绝缘层配置在所述第3导体层和所述第4导体层之间；在所述第4导体层上，形成有第7引出电极和第8引出电极；在所述第4导体层上，形成有连接所述第7引出电极和所述第3螺旋部的另一端的第2连接导体；通过形成在所述第3绝缘层上的接触孔，所述第8引出电极与所述第4螺旋部的另一端连接，所述第7引出电极与所述第2连接导体的一端连接，所述第2连接导体的另一端与所述第3螺旋部的另一端连接。
全文摘要
本发明提供一种制造工艺简单，不发生寄生电容和线间耐压性等问题的共模滤波器。该共模滤波器CF具有，包括螺旋部51和从该螺旋部51的一端延伸出的引出电极52的第1导体层5，包括螺旋部91和从该螺旋部91的一端延伸出的引出电极92的第2导体层9，配置在第1导体层5和第2导体层9之间的绝缘层7；其中，在第1导体层5中形成有引出电极53和引出电极54，在第2导体层9中形成有连接引出电极53和螺旋部51的另一端的连接导体93；通过形成在绝缘层7中的接触孔71～73，引出电极54与螺旋部91的另一端连接，引出电极53与连接导体93的一端连接，连接导体93的另一端与螺旋部51的另一端连接。
文档编号H01F30/00GK1929052SQ20061012656
公开日2007年3月14日 申请日期2006年8月28日 优先权日2005年8月26日
发明者伊藤知一, 奥村武史 申请人:Tdk株式会社