专利名称：一种原料供应瓶瓶盖的制作方法
技术领域：
本实用新型具体涉及一种原料供应瓶瓶盖。
背景技术：
在半导体集成电路或TFT-LCD制造过程中，一般多会通过曝光显影及蚀刻的流程进行相关电路的制造，其原理主要是在单晶硅圆片或玻璃基板上的绝缘体层或导电金属层上均匀覆盖或涂敷一种包括聚合物树脂，感光化合物与溶剂所组成的光阻剂。
完成光阻剂覆盖或涂敷的单晶硅圆片或玻璃基板，经过加温烘焙使溶剂蒸发之后，选择性曝露于某些形式的辐射下，比如紫外线、电子或X射线；曝露过的单晶硅圆片或玻璃基板经热烤后，热烤单晶硅圆片或玻璃基板显影产生所预期的图案，显影的单晶硅圆片或玻璃基板再以蚀刻脱除绝缘体层或导电金属层，并移去余留的光阻剂层，使微小图案移转到单晶硅圆片或玻璃基板表面上。
生产加工设备涂布光阻剂的自动化作业，必须通过相关的输送回路将光阻剂输送至生产加工设备处，如图1所示，现用的光阻剂输送回路主要是在用以盛装光阻剂的原料供应瓶10处设有一个第一管路61以及一个第二管路62，利用第一管路61与惰性气体(如氮气)供应源联结，利用第二管路62与储存器20、泵30以及生产加工设备40联结。
在化学原料开始供应的前置作业中，利用惰性气体将原料供应瓶10中的化学原料推送进入第二管路62，并且在储存器20及排放管21的作用下，使第二管路62内部的空气排出，待第二管路62完全充满光阻剂时，即可在泵30或惰性气体的作用下将光阻剂推送至生产加工设备40处，泵30则依照实际加工作业的需求，设定在既定的时间或某一个加工步骤自动排放一定量的光阻剂。
为了能使原料供应瓶10处于封闭状态，以利于惰性气体将化学原料推送到第一管路61中，如图2所示，目前用原料供应瓶10在其瓶盖11处设有一个供第一管路61接续的气压接头111，和一个供第二管路62接续的原料输出接头112，除此之外并无任何可供化学原料输入的构造，因此所排放的光阻剂只能经泵30前端的排放口直接排放到废液筒50内，当成废料处理，不但造成光阻剂的浪费，而且还增废液的处理费用。
实用新型内容本实用新型的发明目的旨在提供可供原料即时回流的一种原料供应瓶瓶盖。
为了实现上述目的，本实用新型是通过以下技术方案来实现的一种原料供应瓶瓶盖，包括瓶盖上设有的气压接头和原料输出接头，其特征在于在瓶盖上设置一个原料回流接头。
所述的原料输出接头处设有延伸至原料供应瓶内的吸管。
所述的气压接头为高压管接头。
所述的原料输出接头为高压管接头。
所述的原料回流接头为高压管接头。
本实用新型在原料供应瓶瓶盖上另外设置一个原料回流接头，该原料回流接头联结到泵的排放口；在操作时，通过泵或惰性气体将化学原料推送至生产加工设备处，待原料供应系统到达停止供应化学原料的设定状态时，可通过泵即时将化学原料回送到原料供应瓶，将化学原料回收再利用，不但降低化学原料的成本、废料回收的费用，还减少对环境的危害。
图1为现用化学原料供应回路图；图2为现用原料供应瓶瓶盖的结构示意图；图3为本实用新型所述瓶盖的结构示意图；图4位本实用新型的应用的化学原料供应回路图。
具体实施方式如图3和图4所示，用以盛装化学原料的原料供应瓶10的瓶盖11处，除了设有一个供第一管路61接续的气压接头111，和一个供第二管路62接续的原料输出接头112之外，还设有一个原料回流接头113供一个第三管路63接续，可通过第三管路63联结泵30的排放口。
其中，第一管路61与惰性气体(如氮气)供应源联结，第二管路62与储存器20、泵30以及生产加工设备40联结，气压接头111、原料输出接头112以及原料回流接头113为高压管接头，使其能够承受原料供应系统施加在原料供应瓶10上的工作压力，在输出管接头112处设有延伸至原料供应瓶底部的吸管。
在化学原料开始供应的前置作业，可利用惰性气体将原料供应瓶10中的化学原料推送进入第二管路62，并且在储存器20及排放管21作用下，将第二管路62内部的空气排出，待第二管路62完全充满化学原料时，即可在泵30或惰性气体的作用下将化学原料推送至生产加工设备40处。
泵30在既定的时间或某一个加工步骤自动排放化学原料，以排除化学原料内的气泡时，即可通过泵30将化学原料经第三管路63以及原料回流接头113即时回送到原料供应瓶10，将化学原料回收再利用，达到降低化学原料成本、废料回收费用以及减少环境危害的目的。
在具体实施时，可以在与原料回流接头113连接的管路上设置阀门，此阀门可以是手动阀门，便于使用者控制化学原料回送的时机；当然，阀门也可以为电动阀门，由相关的控制电路操控化学原料回送的时机；也可以不设置阀门，通过设定泵与惰性气体启动的时间差，达到操控化学原料回送的目的。
权利要求1.一种原料供应瓶瓶盖，包括瓶盖上设有的气压接头和原料输出接头，其特征在于在瓶盖上设置一个原料回流接头。
2.根据权利要求1所述的一种原料供应瓶瓶盖，其特征在于所述的原料输出接头处设有延伸至原料供应瓶内的吸管。
3.根据权利要求1所述的一种原料供应瓶瓶盖，其特征在于所述的气压接头为高压管接头。
4.根据权利要求1所述的一种原料供应瓶瓶盖，其特征在于所述的原料输出接头为高压管接头。
5.根据权利要求1所述的一种原料供应瓶瓶盖，其特征在于所述的原料回流接头为高压管接头。
专利摘要本实用新型具体涉及一种原料供应瓶瓶盖，包括瓶盖上设有的气压接头和原料输出接头，其特征在于在瓶盖上设置一个原料回流接头。本实用新型在原料供应瓶瓶盖上设置一个原料回流接头，可通过泵即时将工作过程中推送出的化学原料回收再利用，不但降低化学原料的成本、废料回收的费用，还减少对环境的危害。
文档编号H01L21/00GK2935213SQ20062012456
公开日2007年8月15日 申请日期2006年7月3日 优先权日2006年7月3日
发明者蔡明伦 申请人:蔡明伦