专利名称：开启机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种开启机构，尤其涉及一种适用于真空设备中腔体门或腔体盖
的开启机构。
背景技术：
0LED(0rganic Light-Emitting Diode)，由于其自发光的特性，不像TFT-LCD需 要背光，因此可视度大、亮度高，且电压需求低，加上反应快、重量轻、厚度薄、构造简单等优 点，被视为21世纪最具前途的产品之一 ；由于0LED的众多优点，使OLED是唯一在应用上能 和TFT-LCD相提并论的技术，0LED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高 分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。0LED的基本工艺包括基板制作、光 刻、基片处理、成膜、封装、老化测试及IC连接等，在OLED的生产工艺中，为了保证较高的清 洁度，常常需要在真腔体设备中完成各种工艺，因此真空腔体设备贯穿整个生产制程，也是 最普遍、最重要的设备之一。 在实际生产中，腔体内部的零部件常常需要更换、改造、调试，腔体内部也常常需 要清理，因此需要将腔盖打开进行维护，在维护的过程中既要确保调试人员的安全和腔盖 的稳定，又要保证调试的方便性，在调试完成后为了保证真空腔体的密封性，又需要对下降 过程中的腔盖进行控制和定位。但随OLED技术的发展，制造OLED的基片也趋向大面积发 展，所以相应的真空腔体设备也趋于大型化发展，腔盖的尺寸和重量亦随着增大。由于现在 很多真空腔体设备中的腔盖是由很厚的钢板做成，靠人力一般都难以完成，况且此种操作 也存在着较大的人身安全隐患，所以需要借助机械装置进行操作，因此一种对腔盖进行开 启和闭合的启闭机构就应运而生，而开启机构设计是否合理直接影响真空效果，生产效率、 维护的便利性、安全性等问题。 现有技术一种汽缸式开启机构，盖板在气缸的作用下实现启闭，此种机构一般只
能将盖板开启到一定的角度，在一定程度上影响操作者对腔体内的操作，且当需要将盖板
升的较高时，又会使汽缸臂导轨非常长，占用较大的空间并影响外观；另一种开启机构是借
助导轨将盖板直接升降，即在铅垂方向进行提升下降，达到启闭的目的，在此技术中会涉及
到以下问题一是当盖板升高到一定位置时，由于盖板自身的重量，盖板将不可避免的产生
塑性变形，在腔盖闭合时将导致密封不严，从而难以达到较高的真空度；二是当需要将腔体
内的零部件取出时就会产生操作不变问题，因为即使将盖板升到最高位置，也会造成零部
件取出困难，尤其是需取出的零部件很重，而人力无法完成时，需借用提升机构，此设计会
影响到提升机构的操作，进一步加大了维修的难度，同时影响生产效率；再一种开启机构
是将盖板铅垂方向升高到一定位置，再将盖板水平移动，这种设计存在着盖板的垂直和水
平运动，无形中增大了开启机构的复杂程度，同时，此种设计也会使盖板产生较大的塑性变
形，盖板的水平移动还会对腔体设备周围其它设备造成干扰，特别是盖板的尺寸很大时。 因此，急需一种方便、省力、安全、结构简单，不易使腔盖变形，保证腔盖密封性好、
真空度高，且操作精度高的开启机构。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种方便、省力、安全、结构简单，不易使腔盖变形，保 证腔盖密封性好、真空度高，且操作精度高的开启机构。 为实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种开启机构，包括控制单元、 驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，所述两执行机构固定连接于所述腔 盖上且相互平行，所述传动机构固定连接于所述腔体的一侧壁且位于所述两执行机构之 间，所述传动机构的一端与所述执行机构连接，另一端与所述驱动机构连接，所述控制单元 控制所述驱动机构运动，所述驱动机构通过所述传动机构同步的带动两所述执行机构，实 现所述腔盖的开启，其中，所述传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空 结构的支撑体，所述支撑体与所述腔体的一侧壁固定连接且位于所述两执行机构之间，所 述连接轴贯穿所述支撑体且平行于所述腔盖，所述连接轴的两端分别与所述两执行机构连 接，所述蜗轮固定于所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗杆设置于所述支撑体内且 与所述蜗轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的输出轴连接，所述减速器的输入轴与 所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另一端与驱动机构连接。 较佳地，所述支撑体还包括一底板，所述底板位于所述支撑体的底部且与所述连 接轴平行，所述蜗轮及蜗杆位于所述支撑体内，所述减速器固定于所述底板的下方且与所 述蜗杆连接；更具体地，所述支撑体还包括一支撑板，所述支撑板位于所述底板上方且平行 于所述底板，所述减速器固定于所述底板的下方且所述减速器的输出轴贯穿所述底板，所 述蜗轮及蜗杆位于所述支撑板的上方，所述蜗杆通过轴承竖直安装于所述支撑板上且贯穿 所述支撑板，所述蜗杆与所述减速器在所述底板与所述支撑板之间通过联轴器连接。减速 器将传动轴的扭矩旋转输出，在通过蜗杆、蜗轮带动连接轴运动，连接轴的转动带动腔盖绕 连接轴运动，实现腔盖的开启和关闭，利用减速器配合蜗杆、蜗轮传输动力，更省力，同时安 全、稳定的实现较大速比的传动。 较佳地，所述传动机构还包括至少两托架，所述托架安装于所述支撑体的两侧其 垂直于所述腔体的侧壁，所述连接轴贯穿所述托架，所述托架用于支撑所述连接轴，使所述 连接轴更稳固。 较佳地，所述执行机构包括支柱及把手，所述把手设置于所述腔盖上，所述把手通 过销轴与所述支柱的一端固定连接，所述支柱的另一端与所述连接轴连接，所述支柱位于 所述腔盖上方且不与所述腔盖接触，避免了腔盖在开启的过程中碰到腔体；把手设置于腔 盖上，用于开启的过程中人工辅助完成腔盖的启闭。 较佳地，所述开启机构还包括传感器及限位开关，所述传感器用于对所述腔盖的 位置进行检测，所述限位开关用于对所述腔盖的最高位置及最低位置进行检测，所述传感 器及限位开关将采集到的腔盖位置信号发送到控制单元，控制单元将信号处理后发送到驱 动机构，控制驱动机构的运动，驱动机构通过传动机构控制腔盖旋转的角速度和角度，实现 腔盖的准确运动，使腔盖准确的停留在预设位置，保证了腔盖在开启和关闭过程中的高精 度、高安全性，同时可检测腔盖开启的最大位置及关闭的最低位置，保证腔盖关闭后的气密 性，保证整体腔体启闭机构的高真空度。 较佳地，所述开启机构还包括气弹簧，所述气弹簧一端设置于所述腔盖上，另一端设置于所述腔体上，腔盖开启和关闭的过程中停留在某一位置时，气弹簧辅助支撑腔盖，进 一步保证腔盖运动过程中的稳定性和安全性。 较佳地，所述驱动机构为手轮或伺服电机。选用手轮驱动，可进一步简化整个开启 机构的结构和控制方法，使得操作简单；选择电机驱动时，可实现腔盖启闭整体的自动化要 求，达到闭环控制的目的；根据开启机构自动化要求的高低，自由的选择手轮或是电机作为 驱动机构，使该设备适应程度更高。 较佳地，所述驱动机构还包括电磁制动器。当腔盖较重时，要维持开启机构的静止
就需要提供较大的输出转矩，且静止的时间有时会较长，应用伺服电机的自锁功能会造成
电机过热或放大器过载，选择电磁制动器提高开启机构的精确性和安全性。 与现有技术相比，由于本实用新型开启机构的传动机构具有传动轴、减速器、蜗
杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，所述支撑体与所述腔体的一侧壁固定连接且位于
所述两执行机构之间，所述连接轴贯穿所述支撑体且平行于所述腔盖，所述连接轴的两端
分别与所述两执行机构连接，所述蜗轮固定于所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗
杆设置于所述支撑体内且与所述蜗轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的输出轴连
接，所述减速器的输入轴与所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另一端与驱动机构连接；
所述传动轴接收驱动机构的传输扭矩，并经过减速器的输出轴旋转输出后传输给蜗杆，蜗
杆运动带动与之相垂直啮合的蜗轮转动，蜗轮带动连接轴转动，连接轴的转动同步带动两
执行机构运动，最后带动腔盖绕连接轴运动，实现腔盖的开启或关闭；由于利用减速器配合
蜗杆、蜗轮来传输动力，使传动过称更省力，实现较大速比传动，且安全性、稳定性更强；也
使腔盖在开启或关闭的操作中具有较高的操作精度；由于腔盖在较大程度开启后不需要升
高或水平移动，避免了腔盖的塑性变形，使腔盖在开启操作后仍具有较高的密封性，保证整
个腔盖开启机构的真空度；同时，该开启机构结构简单，操作方便。
图1是本实用新型开启机构第一实施例的整体结构示意图。 图2是本实用新型开启机构的传动机构的截面结构示意图。 图3是图2中A部分的放大示意图。 图4是本实用新型开启机构的原理框图。 图5是本实用新型开启机构第二实施例的整体结构示意图。 图6是本实用新型开启机构第三实施例的整体结构示意图。
具体实施方式现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。 如图1、图2所示，本实用新型开启机构包括控制单元(图未示)、驱动机构200 、传 动机构300、两执行机构400及设备腔100，设备腔100包括腔盖101和腔体102，腔盖101 设置于腔体102之上，两执行机构400相互平行且固定连接于腔盖101上，传动机构300固 定连接于腔体102的一侧壁且位于两执行机构400之间，传动机构300的一端与执行机构 400连接，另一端与驱动机构200连接，驱动机构200通过传动机构300带动执行机构400运动，执行机构400带动腔盖101运动，实现腔盖101的开启和关闭；本实用新型开启机构 的传动机构300包括传动轴301、减速器302、蜗杆303、蜗轮304、连接轴305及呈中空结构 的支撑体306，支撑体306包括一底板308及一支撑板307，底板308位于支撑体306的底部 且平行于腔盖101，支撑板307位于底板308上方且平行于底板308，减速器302固定连接 于底板308下方，减速器302的输入轴通过传动轴301与驱动机构200连接，减速器302的 输出轴贯穿所述底板308，蜗杆303两端通过轴承竖直安装于支撑板307与支撑体306内壁 之间，且蜗杆303安装于支撑板307的一端贯穿所述支撑板307，支撑板307对蜗杆303起 支撑作用，蜗杆303贯穿支撑板307 —端与减速器302的输出端通过联轴器310相连接，联 轴器310位于支撑板307与底板308之间；连接轴305贯穿支撑体306且平行地设置于支 撑板307的上方，蜗轮304固定于连接轴305上且位于支撑体306内，蜗轮304与蜗杆303 垂直啮合，连接轴305的两端分别与两执行机构400的两支柱401连接；执行机构400还包 括把手402，把手402设置于腔盖101上，把手402通过销轴与支柱401的一端固定连接，支 柱401的另一端与连接轴305连接，支柱401位于腔盖101上方且不与腔盖101接触；驱动 机构200运动，传动轴301将驱动机构200的扭矩传输到减速器302的输入轴，经过减速器 302的输出轴旋转输出后传输到蜗杆303，蜗杆303的转动带动蜗轮304转动，蜗轮304带 动连接轴305运动，连接轴305通过两支柱401及两把手402带动腔盖101绕连接轴305 运动，实现腔盖101的开启和关闭。 如图1、图4所示，本实用新型开启机构还包括两托架500及两气弹簧600，托架 500安装于支撑体306的两侧并垂直于腔体102的侧壁，连接轴305两端贯穿两托架500， 托架500用于支撑连接轴305 ;气弹簧600设置于腔盖101与腔体102之间，气弹簧600 — 端设置于腔盖101上，另一端设置于腔体102的与支撑体306所在侧壁相互垂直的两侧壁 上，用于在腔盖101开启和关闭的过程中，辅助支撑腔盖101 ;气弹簧600可以是自由气弹 簧、随意停气弹簧、自锁型气弹簧等，优选的为自锁型气弹簧，自锁型气弹簧具有自锁能力， 能较好的保持腔盖IOI的稳定性。本实用新型开启机构还包括传感器和限位开关，传感器 包括用于发送信号的发射器701和用于接收发射器701信号的接收器702，发射器701设 置于腔盖101上，相应的接收器702设置于腔体102上；发射器701也可以设置于腔体102 上，其相应的接收器702设置于腔盖101上；发射器701可为红外线发射器或发光二极管， 发射器701为红外线发射器时相应的接收器702为红外线接收器，发射器701为发光二极 管时相应的接收器702为光电耦合器；发射器701和接收器702用于采集腔盖101的运动 状态信息，采集的信息发送到控制单元后，控制单元将状态信息识别处理后发送到驱动机 构200，控制驱动机构200的运动，从而控制腔盖101的运动；限位开关为两压力开关703、 704，压力开关704设置于腔体102上，用于检测腔盖IOI最低位置状态信息；压力开关703 设置于支撑体306上，用于检测腔盖101最高位置状态信息。本实用新型开启机构的驱动 机构200为手轮或电机，电机可配备制动器，电机优选的为伺服电机，相应的制动器优选的 为电磁制动器，因为在腔盖101较重时，维持腔盖101机构的静止需电机提供较大的输出扭 矩，且静止的时间有时会较长，选择成本较低的电磁制动器，可避免使用伺服电机的自锁功 能造成的电机过热或放大器过载。 下面结构附图详细说明本实用新型实施例的结构及工作原理。 如图1、图2、图3、图4所示，在本实用新型开启机构的第一施例中，驱动机构200为手轮，手轮200与减速器302之间通过轴承311连接，减速器302输入轴一端设置有轴承 座312，轴承311安装于轴承座312内且其一端与轴承座312相抵触，另一端通过轴承盖313 固定，传动轴301套设于轴承311内并与手轮200及减速器302连接，在本实施例中，传动 轴301为减速器302的输入轴，即减速器302的输入轴套设于轴承311内并与手轮200连 接，通过手轮200带动减速器302的输入轴转动，减速器302的输出轴带动蜗杆303转动， 进而带动蜗轮304及连接轴305转动，连接轴305通过连接于其上的支柱401和把手402 带动腔盖101运动，进而使腔盖101开启或关闭，通过控制手轮200的旋转速度从而调整腔 盖101的开启和关闭速度及幅度；减速器302可为行星齿轮或蜗轮蜗杆；蜗杆303为单头 蜗杆，蜗轮304为扇形蜗轮且扇形角度大于80。，更优选的为90。。在本实施例中，除应用 传感器及限位开关来精确判断腔盖101开启或关闭的位置外，还设置有蜂鸣器，用于对外 界作出提示。如果需要将腔盖101开启或关闭到任意位置时，预先输入腔盖101需开启或 关闭的角度位置，在腔盖101开启或关闭的过程中，腔盖101上的发射器701发送信号到腔 体102上的接收器702，控制单元根据接收器702接受到的信号判断腔盖101开启或关闭 的角度和速度，如果判断达到预先输入的角度时，控制单元将处理后的信号输出到蜂鸣器， 蜂鸣器报警，停止手轮200的转动，进而使腔盖101停止在预先设定的位置，腔盖101停止 后，自锁型气弹簧600对腔盖101具有辅助支撑作用，保证腔盖101的稳定性，由于可对腔 盖101开启或关闭的位置精确定位，且有气弹簧600的支撑作用，提高整体设备的精度和操 作效率，同时加强其安全性；如果腔盖101需开启到最大位置，则当腔盖101升高到最高位 置时，腔盖101会触碰到支撑体306上的压力开关703，当接触到的压力达到预设要求时，压 力开关703向控制单元发出信号，控制单元将此信号处理后发送到蜂鸣器，蜂鸣器报警，停 止手轮200的转动；在腔盖101关闭时，腔盖101下落接触到腔体102上的压力开关704， 当接触到的压力达到预设要求时，压力开关704向控制单元发出信号，控制单元将此信号 处理后发送到蜂鸣器，蜂鸣器报警，停止手轮200的转动，保证腔盖101关闭后具有较好的 密封性，保证设备工作的高真空度。 如图4、图5所示，本实用新型开启机构的第二施例用于自动化要求较高的情况 下，该实施例与第一实施例相比，只在于驱动机构200的不同，本实施例中使用电机作为驱 动机构200，因此可实现开启机构整体的自动化，达到闭环控制的目的。电机200通过联轴 器与传动轴301 —端连接，传动轴301另一端通过联轴器与减速器302的输入轴连接，通过 电机200带动减速器302的输入轴转动，减速器302的输出轴带动蜗杆303、蜗轮304及连 接轴305分级运动，进而通过支柱401及把手402运动带动腔盖101运动，实现腔盖101的 开启和关闭。如果需要将腔盖101开启或关闭到任意位置时，预先输入腔盖101需开启或关 闭的角度，在腔盖101开启或关闭的过程中，腔盖101上的发射器701发送信号到腔体102 上的接收器702，控制单元根据接收器702接受到的信号判断腔盖101开启的角度和速度， 经判断达到预先输入的角度时，控制单元将处理后的信号输出到电机200，使电机200停止 转动，使腔盖101停在预设位置，同时将该信号输出到蜂鸣器，蜂鸣器报警；腔盖101停止 后，自锁型气弹簧600对腔盖101具有辅助支撑作用；如果腔盖101需开启到最大位置，则 当腔盖101升高到最高位置时，腔盖101会触碰到支撑体306上的压力开关703，当接触到 的压力达到预设要求时，压力开关703向控制单元发出信号，控制单元将此信号处理后发 送到电机200，电机200停止运动，同时将该信号输出到蜂鸣器，蜂鸣器报警；在腔盖101关闭的时，腔盖101下落接触到腔体102上的压力开关704，当接触到的压力达到预设要求时， 压力开关704向控制单元发出信号，控制单元将此信号处理后发送到电机200，电机200停 止转动，同时将该信号输出到蜂鸣器，蜂鸣器报警。 如图6所示，本实用新型开启机构第三实施例适用于不需要经常开启的设备腔 100或对整体设备的自动化要求不高时，本实施例的开启机构与第一实施例中的开启机构 相比，没有传感器及限位开关，但都使用手轮作为驱动机构200且其他结构相同，在本实施 例中，可设置限位装置对腔盖101开启的最高位置进行限位，如在支撑体306上设置一限 位块，或在支撑体306上设置销进行限位；该实施例中，通过手轮200带动减速器302、蜗杆 303、蜗轮304连接轴305分级运动，进而通过连接轴305上的支柱401及把手402带动腔 盖101运动，实现腔盖101的开启和关闭，进一步简化开启机构的结构及控制方法。 由于本实用新型开启机构的传动机构300具有传动轴301、减速器302、蜗杆303、 蜗轮304、连接轴305及呈中空结构的支撑体306，所述支撑体306与所述腔体102的一侧 壁固定连接，所述连接轴305贯穿所述支撑体306且平行于所述腔盖IOI，所述连接轴305 的两端分别与所述两执行机构400连接，所述蜗轮304固定于所述连接轴305上且位于所 述支撑体306内，所述蜗杆303设置于所述支撑体306内且与所述蜗轮304垂直啮合，所述 蜗杆303 —端与所述减速器302的输出轴连接，所述减速器302的输入轴与所述传动轴301 的一端连接，所述传动轴301的另一端与驱动机构200连接；所述传动轴301接收驱动机构 200的传输扭矩，并经过减速器302的输出轴旋转输出后传输给蜗杆303，蜗杆303运动带 动与之相垂直啮合的蜗轮304转动，蜗轮304带动连接轴305转动，连接轴305的转动同步 带动两执行机构400运动，最后带动腔盖101绕连接轴305运动，实现腔盖101的开启或关 闭；由于利用减速器302配合蜗杆303、蜗轮304来传输动力，使传动过程更省力，实现较大 速比传动，且安全性、稳定性更高；也使腔盖101在开启或关闭的操作中具有较高的操作精 度；由于腔盖101在较大程度开启后不需要升高或水平移动，避免了腔盖101的塑性变形， 使腔盖101在开启操作后仍具有较高的密封性，保证整个开启机构的真空度；同时，该开启 机构结构简单，操作方便。 本实用新型开启机构的腔盖101位置并不限于上部，也可以是腔体102的侧部等 位置；本实用新型开启机构的控制单元及原理等均为本领域普通技术人员所熟知，在此不 再做详细的说明。 以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已，当然不能以此来限定本实用新 型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求一种开启机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，所述两执行机构固定连接于所述腔盖上且相互平行，所述传动机构固定连接于所述腔体的一侧壁且位于所述两执行机构之间，所述传动机构的一端与所述执行机构连接，另一端与所述驱动机构连接，所述控制单元控制所述驱动机构运动，所述驱动机构通过所述传动机构同步的带动两所述执行机构，实现所述腔盖的开启，其特征在于所述传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，所述支撑体与所述腔体的一侧壁固定连接且位于所述两执行机构之间，所述连接轴贯穿所述支撑体且平行于所述腔盖，所述连接轴的两端分别与所述两执行机构连接，所述蜗轮固定于所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗杆设置于所述支撑体内且与所述蜗轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的输出轴连接，所述减速器的输入轴与所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另一端与驱动机构连接。
2. 如权利要求1所述的开启机构，其特征在于所述支撑体还包括一底板，所述底板位 于所述支撑体的底部且与所述连接轴平行，所述蜗轮及蜗杆位于所述支撑体内，所述减速 器固定于所述底板的下方且与所述蜗杆连接。
3. 如权利要求2所述的开启机构，其特征在于所述支撑体还包括一支撑板，所述支撑 板位于所述底板上方且平行于所述底板，所述减速器固定于所述底板的下方且所述减速器 的输出轴贯穿所述底板，所述蜗轮及蜗杆位于所述支撑板的上方，所述蜗杆通过轴承竖直 安装于所述支撑板上且贯穿所述支撑板，所述蜗杆与所述减速器在所述底板与所述支撑板 之间通过联轴器连接。
4. 如权利要求2所述的开启机构，其特征在于所述传动机构还包括至少两托架，所述 托架安装于所述支撑体的两侧其垂直于所述腔体的侧壁，所述连接轴贯穿所述托架。
5. 如权利要求l所述的开启机构，其特征在于所述执行机构包括支柱及把手，所述把 手设置于所述腔盖上，所述把手通过销轴与所述支柱的一端固定连接，所述支柱的另一端 与所述连接轴连接，所述支柱位于所述腔盖上方且不与所述腔盖接触。
6. 如权利要求1所述的开启机构，其特征在于所述开启机构还包括传感器及限位开 关，所述传感器用于对所述腔盖的位置进行检测，所述限位开关用于对所述腔盖的最高位 置及最低位置进行检测。
7. 如权利要求l所述的开启机构，其特征在于所述开启机构还包括气弹簧，所述气弹 簧一端设置于所述腔盖上，另一端设置于所述腔体上。
8. 如权利要求1所述的开启机构，其特征在于所述驱动机构为手轮或伺服电机。
9. 如权利要求8所述的开启机构，其特征在于所述驱动机构还包括电磁制动器。
专利摘要本实用新型公开了一种开启机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，支撑体与腔体的一侧壁固定连接，连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖，连接轴的两端分别与两执行机构连接，蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内，蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合，减速器的输出轴与蜗杆一端与连接，输入轴与传动轴的一端连接，传动轴的另一端与驱动机构连接，在控制单元控制下，驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构，实现腔盖的开启，本实用新型结构简单、操作方便、安全省力、精度高、不易使腔盖变形，保证OLED生产中真空设备的高真空度。
文档编号H01L51/56GK201508831SQ20092019401
公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月3日 优先权日2009年9月3日
发明者刘惠森, 杨明生, 王伟, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司