专利名称：基片传输装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种板状薄基片的传送装置，尤其涉及一种适用于安装在真空腔
体内对基片进行传送的基片传输装置。
背景技术：
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。 例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投 资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产 品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示 (Organic Electroluminescence Display, 0ELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码 产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对0LED的应用都 聚焦在平板显示器上，因为0LED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前 所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张 一样的厚度；但OLED显示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常 薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且0LED显示 屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造0LED显示屏 幕的所有设备必须要保证OLED显示屏幕的精度要求。0LED的基片材料为非常薄且易碎的 玻璃，在OLED的基片制作工序及后续工艺中，有很多基片传输装置，用于在基片加工的过 程中传输基片，为了保证OLED的质量和精度，加工过程中对基片的自动化传输要求越来越 高的同时，对基片的清洁度也要求越来越高，因此对基片的传输设备提出了更高的要求。 现有的基片传送主要包括轮式传动和气浮式传动两种方式。如图1为现有轮式基 片传输装置的示意图，该基片传输装置在驱动轴2和每一个传送轴3上安装有与基片4直 接接触的滚轮5，传送轴3与驱动轴2之间用传送带6相连，驱动轴2与马达7等驱动设备 相连，传送轴3可以从驱动轴2获取旋转力，即当马达7等驱动设备开动时，驱动轴2和传 送轴3均可转动进而对基片4进行传送。上述传送方式中，由于基片4是直接放置于滚轮5 上进行传送，传输的过程中基片4容易受到机械磨损甚至出现脱落情况，影响成品的质量； 同时，由于多个传送轴3与驱动轴2之间采用链条或传送带6连接，不易达到多个传动轴3 的同步转动从而导致基片4产生外部应力、定位精确度不高；此外，由于在滚轮5上的橡胶 圈5a的大量使用，使得该类基片传输装置不适用于高真空的环境中。 因此，急需一种能安全传送基片、传送定位精确、且尤其适用于真空环境的基片传 输装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种基片传输装置，该基片传输装置尤其适用于真空环境的基片传送，传送过程安全、定位精确。
为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种基片传输装置，适用于安
装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片传输装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片
座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢
接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿
轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所
述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮
啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。 较佳地，所述第一滚轮枢接于所述基片座的下端，所述齿条固定于所述基片座的
一侧的侧壁上，所述基片座的另一侧的侧壁上枢接有第二滚轮，位于所述第二滚轮同一侧
的轨道向外延伸一挡壁，所述挡壁与所述第二滚轮接触。所述第二滚轮的设置可有效抵消
所述齿条与所述齿轮相啮合而产生的横向力同时减小摩擦，使得基片在传输的过程中更为平稳。 较佳地，所述齿条与所述第二滚轮位于同一平面上。该结构的设计，可使所述第二 滚轮更有效地抵消所述齿条与所述齿轮相啮合而产生的横向力，从而使得基片可更平稳地 被传送。 较佳地，所述齿轮沿着所述齿条等间隔分布。该结构的设计，使得所述传动组件在 传动所述基片座时定位更为精确。 较佳地，所述基片座的凹槽的底部开设第一开口。由于基片座的凹槽的底部开设 第一开口 ，基片安装于基片座后，只有其非使用的边缘部分与基片座接触，避免了对基片使 用部分的磨损以保证基片的质量。 较佳地，所述底座具有与所述第一开口对应的第二开口。由于底座上具有与所述
第一开口对应的第二开口 ，使得基片安装于基片座后其上下面均裸露在外，因此在基片的
传送过程中，对基片的镀膜方式灵活，可在基片上方进行也可在其下方进行。 较佳地，所述底座上沿所述轨道的方向安装有传感器。传感器的设置可以精确地
控制基片的传送位置，保证了基片后续工艺的制造精度，提高产品的合格率。 较佳地，所述驱动电机为伺服电机。伺服电机具有低震动、高速高响应、高精度等
特性，使得基片在传输的过程中快速、平稳、精确、且低噪音。 与现有技术相比，由于本实用新型基片传输装置设有用于安装基片的基片座，在 传送过程中，基片放置于基片座内，因此不易发生脱落、划伤和受损等意外情况。同时，由于 采用齿轮与齿条相啮合的传动方式，定位精确。此外，由于避免使用橡胶圈，该基片传输装 置尤其适用于真空环境的基片传送。
图1是现有的基片传输装置的示意图。 图2是本实用新型基片传输装置的第一实施例的结构示意图。 图3是图2中A部分的放大示意图。 图4是图2所示本实用新型基片传输装置传送基片的状态示意图。 图5为图4所示本实用新型基片传输装置安装于真空腔体内的示意图。[0021] 图6是本实用新型基片传输装置的第二实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 图2-5展示了本实用新型基片传输装置的第一个实施例。 如图2-5所示，本实用新型基片传输装置10包括底座100、基片座200、传动组件 300和驱动电机400，所述底座100两侧平行地设有轨道110、 120，所述基片座200上开设有 承载基片20的凹槽210，所述基片座200枢接有第一滚轮130、140，所述第一滚轮130、 140 分别与所述轨道110、120接触，所述传动组件300包括齿条310及若干齿轮320，所述齿轮 320的中心处向外延伸出齿轮传动轴330，所述齿轮传动轴330枢接地穿过所述底座100，至 少一个所述齿轮320的齿轮传动轴330连接有所述驱动电机400，所述齿条310与所述基 片座200固定连接且与所述齿轮320啮合，所述驱动电机400驱动所述齿轮320，所述齿轮 320带动所述基片座200沿所述轨道110、 120滑动。 较佳者，所述第一滚轮130、 140均枢接于所述基片座200的下端，所述齿条310固 定于所述基片座200的一侧201的侧壁上，所述基片座200的另一侧202的侧壁上枢接有 第二滚轮150，位于所述第二滚轮150同一侧的轨道120向外延伸一挡壁121，所述挡壁121 与所述第二滚轮150接触。所述第二滚轮150的设置可有效抵消所述齿条310与所述齿轮 320相啮合而产生的横向力同时减小摩擦，使得基片20在传输的过程中更为平稳。同时，所 述齿轮320沿着所述齿条310等间隔分布，使得所述传动组件300在传动所述基片座200 时定位更为精确。 较佳者，所述齿条310与所述第二滚轮150位于同一平面上，以使所述第二滚轮 150可更有效地抵消所述齿条310与所述齿轮320相啮合而产生的横向力，从而使得基片 20可更平稳地被传送。 较佳者，所述基片座200的凹槽210的底部开设第一开口 211，所述底座100具有 与所述第一开口 211对应的第二开口 111。由于基片座200的凹槽210的底部开设第一开 口 211，基片20安装于基片座200后，只有其非使用的边缘部分21与基片座200接触，避 免了对基片20使用部分的磨损以保证基片20的质量。此外，由于底座100上具有与所述 第一开口 211对应的第二开口 lll，使得基片20安装于基片座200后其上下面均裸露在外 (如图5所示)，因此在基片20的传送过程中，对基片20的镀膜方式灵活，可在基片20上 方进行也可在其下方进行。 较佳者，所述底座100上沿所述轨道110、120的方向安装有传感器(图未示)。所 安装的传感器可为一个或多个，以检测所述齿轮320的转速或所述基片座200的移动距离， 并将检测到的信号通过控制系统传给驱动电机400，由驱动电机400调节所述齿轮320的转 速，精确地控制基片20的传送位置，保证了基片20后续工艺的制造精度，提高产品的合格率。 较佳者，本实施例基片传输装置10的驱动电机400为伺服电机。伺服电机具有低震动、高速高响应、高精度等特性，使得基片在传输的过程中快速、平稳、精确、且低噪音。 图5展示了本实用新型实施例基片传输装置10于真空腔体内传送基片的状态。本 实用新型基片传输装置10安装于真空腔体30内。其中，底座100承载着基片座200悬空 地固定于腔体30上，为所述基片座200提供一个水平的传送平台。驱动电机400驱动齿轮 320，该齿轮320啮合固定于所述基片座200的齿条310从而带动所述基片座200沿着轨道 110、 120滑动，基片20放置于基片座200的凹槽210内与基片座200 —起运动从而实现基 片20的传送。 图6为本实用新型基片传输装置的第二个实施例的示意图，第二个实施例的基片 传输装置10'与第一个实施例基片传输装置10的不同点主要在于该实施例中传动组件 300'包括齿条310' 、311'及若干齿轮320' 、321'，所述齿轮320'的中心处向外延伸出齿轮 传动轴330'，所述齿轮321'的中心处向外延伸出齿轮传动轴331'。所述齿条310'与所述 基片座200'的一侧201'固定连接且与所述齿轮320'啮合，相应地，所述齿条311'与所述 基片座200'的另一侧202'固定连接且与所述齿轮321'啮合。其中，齿轮传动轴330'和 331'中的任何一个或多个连接有驱动电机。该实施例中采用两组传动组件对称分布于基片 座的两侧来同时传动基片座，以使承载着基片的基片座在传输的过程中更为平稳，定位更 为精确。 本实用新型与现有技术相比，由于本实用新型基片传输装置设有用于安装基片的 基片座，在传送过程中，基片放置于基片座内，因此不易发生脱落、划伤和受损等意外情况。 同时，由于采用齿轮与齿条相啮合的传动方式，定位精确。此外，由于避免使用橡胶圈，该基 片传输装置尤其适用于真空环境的基片传送。 值得注意的是，本实用新型基片传输装置的传送方式不限于正齿轮，也可采用正 齿轮与伞齿轮相结合的方式。本实用新型基片传输装置的传感器的安装及检测原理等均为 本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。 以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种基片传输装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片传输装置包括底座、传动组件和驱动电机，其特征在于还包括基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。
2. 如权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于所述第一滚轮枢接于所述基片座 的下端，所述齿条固定于所述基片座的一侧的侧壁上，所述基片座的另一侧的侧壁上枢接 有第二滚轮，位于所述第二滚轮同一侧的轨道向外延伸一挡壁，所述挡壁与所述第二滚轮 接触。
3. 如权利要求2所述的基片传输装置，其特征在于所述齿条与所述第二滚轮位于同一平面上。
4. 如权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于所述齿轮沿着所述齿条等间隔分布。
5. 如权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于所述基片座的凹槽的底部开设第一开口。
6. 如权利要求5所述的基片传输装置，其特征在于所述底座具有与所述第一开口对 应的第二开口。
7. 如权利要求1-6中任一项所述的基片传输装置，其特征在于所述底座上沿所述轨 道的方向安装有传感器。
8. 如权利要求1-6中任一项所述的基片传输装置，其特征在于所述驱动电机为伺服 电机。
专利摘要本实用新型公开了一种基片传输装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片传输装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。本实用新型基片传输装置尤其适用于真空环境的基片传送，传送过程安全、定位精确。
文档编号H01L51/56GK201506634SQ20092019399
公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月3日 优先权日2009年9月3日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司