专利名称：一种激光器的防尘扩束装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及激光器领域，尤其是涉及一种激光器的防尘扩束装置。
背景技术：
目前，国内在紫外激光加工设备的光路结构设计上，为了便于监测激光出口处的 功率，激光扩束镜和紫外激光器会隔开放置，导致了微细粉尘从出光口处进入紫外激光器 腔内，污染并损坏激光器；同时虽然设计中选用的激光扩束镜的损伤阈值大于激光照射在 镜片膜层上的最大功率密度，但仍经常出现扩束镜损坏以及加工功率大幅度衰减的情况。 这主要是因为加工过程中产生的微细粉尘颗粒附着在扩束镜前镜片上，而且紫外激光在扩 束镜前镜片上的光斑小，未经扩束，光功率密度较大造成微细粉尘容易燃烧，从而烧坏激光 扩束镜的镀膜层，并导致了加工功率大幅度衰减。故需要设计一种有利于紫外激光器防尘 以及保护整个激光光路结构中其他光学元件的扩束装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于针对上述现在技术的不足，提供一种激光器的防尘扩束装 置，该装置可保护激光扩束镜的镀膜层，使激光器的出光功率稳定，延长了光学元件的使用 寿命，提高了光路的稳定性。为实现本实用新型的目的，本实用新型的技术方案是提供一种激光器的防尘扩 束装置，其包括激光扩束镜，该激光扩束镜通过扩束镜连接座连接于激光器上，所述的激光 器包括一出光口，其中所述的激光扩束镜连接于激光器的出光口，该激光扩束镜与激光器 出光口之间设置有一密封机构。本实用新型带来的技术效果是提供一种激光器的防尘扩束装置，该装置将激光 扩束镜设置于激光器的出光口，并在激光器与激光扩束镜之间设置一密封机构，一方面起 到防止微细粉尘从激光器出光口进入激光器内腔，污染并损坏激光器，另一方面，由于激光 经扩束镜结构扩束成大光斑后，降低了激光光路的光功率密度，降低了在镜片膜层上的激 光损伤，从而达到保护该激光器光学元件的作用。
图1是本实用新型激光器的防尘扩束装置的平面结构示意图；图2是本实用新型激光器的防尘扩束装置的立体分解结构示意图；图3是本实用新型激光器的防尘扩束装置的组装后的立体结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施 例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释 本实用新型，并不用于限定本实用新型。[0010]如图1至图3所示，本实用新型实施例提供一种激光器的防尘扩束装置，该装置包 括激光扩束镜10，该激光扩束镜10通过一激光扩束镜连接座11连接于激光器20上，所述 的激光器20包括有一出光口 201，激光扩束镜10连接于该出光口 201上，该激光器20与激 光扩束镜10之间为机械连接，中间套设有一密封机构13，该密封机构13是一个片状的密 封垫圈，根据激光扩束镜10和激光器20之间的间隙来控制该垫圈的厚度，也可以用密封垫 片，密封胶替代。在激光器20与激光扩束镜10之间设置密封机构13，使他们之间没有缝 隙，防止了微细粉尘进入激光器的内腔，有效保护了光学元件。如图1和图2所示，本实用新型的实施例的激光器防尘扩束装置还包括一激光扩 束镜调节架12，该激光扩束镜调节架12用来调节整个防尘装置与激光器20的相对位置，保 证激光器20的出射中心与激光扩束镜10的光学中心保持在同轴位置上。同时，该激光扩 束镜架12还起到支撑整个扩束防尘装置的作用。如图2所示，本实用新型实施例所述的激光扩束镜10包括有一进光口和一出光口 (图中未示出)。所述的激光扩束连接座11为一环状结构，其包括有一内环端面111，所述 的激光扩束镜10进光口紧邻于该内环端面111，激光经扩束后从出光口射出。出射后的激 光束由于光斑直径变大，光功率密度将变为原来光功率扩束倍数的平方之一，该倍数是根 据用户所使用的激光扩束镜10的扩束倍数来定的。从而减少了激光在镜片膜层上的损伤， 保护了后续光路中的光学镜片。本实用新型的所述的激光器采用的紫外激光器，也可以应用于别的激光器上。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本 实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型 的保护范围之内。
权利要求一种激光器的防尘扩束装置，其包括激光扩束镜，该激光扩束镜通过扩束镜连接座连接于激光器上，所述的激光器包括一出光口，其特征在于所述的激光扩束镜连接于激光器的出光口，该激光扩束镜与激光器出光口之间设置有一密封机构。
2.根据权利要求1所述的激光器的防尘扩束装置，其特征在于所述的防尘扩束装置 还包括激光扩束镜调节架，调节激光器的出射中心与激光扩束镜的中心保持在同轴位置 上。
3.根据权利要求1或2所述的激光器的防尘扩束装置，其特征在于；所述的密封机 构是一个片状的密封垫圈。
4.根据权利要求3所述的激光器的防尘扩束装置，其特征在于所述的激光扩束镜包 括一进光口和一出光口。
5.根据权利要求4所述的激光器的防尘扩束装置，其特征在于所述的激光扩束镜连 接座为环状结构。
6.根据权利要求5所述的激光器的防尘扩束装置，其特征在于所述的激光扩束连接 座包括一内环端面，所述的激光扩束镜进光口紧邻于该内环端面。
专利摘要本实用新型涉及激光器应用领域，提供一种激光器的防尘扩束装置，其包括激光扩束镜，该激光扩束镜通过扩束镜连接座连接于激光器上，所述的激光器包括一出光口，激光扩束镜连接于该出光口，该激光扩束镜与激光器出光口之间设置有一密封机构；所述的防尘扩束装置一方面起到防止微细粉尘从激光器出光口进入激光器内腔，污染并损坏激光器，另一方面，由于激光经扩束镜结构扩束成大光斑后，降低了激光光路的光功率密度，降低了在镜片膜层上的激光损伤，从而达到保护该激光器光学元件的作用。
文档编号H01S3/00GK201608420SQ20092026136
公开日2010年10月13日 申请日期2009年12月11日 优先权日2009年12月11日
发明者吕洪杰, 翟学涛, 苏培林, 雷群, 高云峰 申请人:深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司