专利名称：平台的制作方法
技术领域：
本发明涉及XY平台或大型印刷装置中所使用的基板平台，特别是连接导轨的大 型的平台。
背景技术：
花岗石由于确保其平面精度的加工容易，热应变也小，能够得到大的原石材料而 被用作XY平台、大型印刷装置、三维检查装置等的基板平台。
近年来，基板日益向大型化发展，在使基板平台大型化以适应大型基板的情况下， 其大小达到无法进行道路运输的程度。
为此，人们尝试着通过用花岗石的原石材料成形出小面积的台或短的导轨，运输 到设置场所进行组装，从而将大型的基板平台设置在实际使用的场所。
但是，当将辅助载置台安装在主载置台上，将分别制作的导轨彼此连接时，曾发生 这样的问题在导轨的接缝处产生台阶，导轨的水平性无法确保，基板无法进行高速运送。
记载有大型基板平台的技术文献，例如有下述公报。
专利文献1 特开平7-311375号公报
专利文献2 特开2005-114882号公报发明内容
本发明的课题是，提供一种能够确保导轨的水平性与直线性、能够将基板高速运 送的分体式的基板平台。
为了解决上述课题，本发明的平台具有主载置台，面积比前述主载置台小且能够 从前述主载置台上分离的辅助载置台，以及横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进 行配置、端部位于前述辅助载置台上的多个下部导轨，移动板位于前述各下部导轨上，前述 移动板能够在前述下部导轨上行走，多个前述下部导轨的每一根分别由一片板材形成，构 成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进行装拆，在前述辅助载置台上，设置有能 够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下方向调整装置。
此外，本发明的平台中，在前述移动板上，形成有用来插入升降销的多个通孔，在 前述移动板位于前述辅助载置台的既定部位的状态下，能够从前述移动板的背面一侧将前 述升降销插入前述移动板的通孔中。
此外，本发明的平台中，在前述主载置台上，能够装拆地安装有位于前述下部导轨 的上方的上部导轨。
此外，本发明的平台中，在前述上部导轨上，能够移动地安装有喷墨头。
此外，本发明的平台具有主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置 台上分离的辅助载置台，横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于 前述辅助载置台上的多个下部导轨，以及安装成能够沿着前述下部导轨的延伸方向移动的 上部导轨，各前述下部导轨由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进行装拆，在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行 调节的上下方向调整装置，前述上部导轨和前述下部导轨构成为能够进行装拆。
在这种情况下，本发明的平台中，在前述上部导轨上，也能够移动地安装有喷墨 头。
此外，本发明的平台中，前述下部导轨由花岗石构成。
在本发明的平台上，配置有供移动板行走的两根以上根数的下部导轨。供移动板 行走的多个下部导轨之中，各下部导轨分别由一片板材形成。本发明也包括供移动板行走 的多个下部导轨由相同板材形成的场合、由不同板材形成的场合、以及上述场合混合存在 的场合等场合的任一种场合。
根据本发明的平台，一根下部导轨在长度方向上未分体，一根下部导轨由一片板 材形成。因而直线性得到确保，因此，在载置基板的移动板上不发生摇摆，能够高速移动。此 外，喷出液的附着位置精度也得到提高。
由于在下部导轨的端部设置了上下方向调整装置，因此，即使辅助载置台下垂也 能够维持直线性。
图1是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(1)。
图2是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(1)。
图3是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(2)。
图4是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(2)。
图5是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(3)。
图6是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(3)。
图7是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(4)。
图8是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(4)。
图9是用来对本发明的基板平台进行说明的俯视图。
图10是用来对本发明的基板平台进行说明的侧视图。
图11是对本发明的基板平台分解后的辅助载置台与主载置台以及下部导轨进行 展示的俯视图。
附图标记说明
6...下方向调整装置
S1J2...升降销
10...基板平台
11...主载置台
1 12d···辅助载置台
IS1US2...下部导轨
14a 14d、19...通孑L
IS1US2...上部导轨
16. · ·移动板
17...喷墨头具体实施方式
参照图9、图10，本发明的基板平台10具有一台主载置台11，平面形状比主载置 台11小的小型、小面积的多个(此处为4台)辅助载置台1 12d，以及两根下部导轨 131、13二 ο
图9、图10是将本发明的基板平台10在制造场所临时组装状态下的俯视图和侧视图。
主载置台11和辅助载置台1 12d的平面形状为四边形，表面平坦。
主载置台11和辅助载置台12a 12d构成为能够进行装拆，辅助载置台1 12d在主载置台11的相互平行的两个边上各固定有两个。
下部导轨13^1 比主载置台11的长度长，中央部分配置在主载置台11上，一端 配置在主载置台11的一边侧的辅助载置台12a、12c上，另一端配置在另一边侧的辅助载置 台12b、12d上。两根下部导轨13^1 相互平行。
主载置台11配置成其表面成水平，辅助载置台12a 12d以表面比主载置台11 低的状态固定在主载置台11上。
在辅助载置台12a 12d上，设置有多个上下方向调整装置6。在这里，上下方向 调整装置6由螺钉构成，各上下方向调整装置6是从辅助载置台1 12d的底面一侧向 正面一侧各自朝上插入的。
下部导轨13pl32的载放在主载置台11上的部分与主载置台11的表面紧密接触， 而辅助载置台12a 12d上的部分载放在上下方向调整装置6的上端上。
下部导轨U1UIB2用花岗石制造。在下部导轨U1UIB2上设置作为线性移动装置的 引导器。花岗石具有刚性但有可能发生微量的变形，当使上下方向调整装置6旋转而使其 前端上下移动时，下部导轨H1Ul的端部便弯曲，下部导轨13^1 的位于主载置台11上 的部分维持与主载置台11的表面紧密接触的状态，并且能够使得两端部分的高度比位于 主载置台11上的部分的高度高或者低。
下部导轨13^ 132在辅助载置台12a 12d上顺沿于下部导轨13^ 132的长度方向 的多个位置与上下方向调整装置6的前端抵接，通过改变与一根下部导轨132抵接的多 根上下方向调整装置6的前端的高度，既能够使之呈直线状延伸也能够使之向上下方向弯 曲。当使上下方向调整装置6的上端向上移动到接近下部导轨U1UIB2的端部的位置时，能 够使下部导轨H1Ul向上弯曲。
此外，下部导轨13^1 上设置有水平面内调整装置，通过水平面内调整装置能够 对下部导轨13ρ132在水平面内的朝向进行调整。
在下部导轨13pl32上，经由空气轴承等摩擦减低装置21载置有花岗石制造的移 动板16，当使未图示的基板移动机构动作时，移动板16在下部导轨13pl32上行走，从而既 能够位于辅助载置台12a 12d上也能够位于主载置台11上。
在这里，在移动板16上设置摩擦减低装置21，在摩擦减低装置21的平坦的面与下 部导轨132的表面之间设置空气层，能够使下部导轨132与摩擦减低装置21及移动 板16为非接触的状态，并使移动板16载置在下部导轨13pl32上行走。
此外，在这里，是使一台移动板16横跨着载置在相互平行地配置的两根下部导轨H1UIB2上行走的，但也可以使一台移动板横跨着载置在相互平行地配置的三根下部导轨上 行走。
在主载置台11上的两根下部导轨13^1 的外侧立设有支柱22，两根上部导轨 15^1 相互平行且与下部导轨13^1 的延伸方向相垂直地配置在支柱22上。
上部导轨15^1 上安装有能够移动的喷墨头17。上部导轨15^1 比主载置台 11的宽度长，两个端部从主载置台11的外侧突出，当使未图示的头移动机构动作而使得喷 墨头17沿着上部导轨15i、152行走时，喷墨头17既能够位于主载置台11上也能够位于主 载置台11的外侧。上部导轨15ρ152是水平配置的，喷墨头17在水平面内移动。
上部导轨152和喷墨头17位于比下部导轨13^ 132更上方的位置上，在下部导 轨13”132与上部导轨15^1 之间形成间隙。
当使喷墨头17位于主载置台11上并使基板5载置在移动板16上移动时，移动板 16能够穿过下部导轨13pl32与上部导轨15ρ152之间的间隙从喷墨头17的正下方位置通 过。
在辅助载置台12a 12d的下方铅直地配置有升降销S1A215升降销S1A2安装在 升降装置上，能够在上下方向上升降移动。
辅助载置台12a 12d与移动板16上分别形成有通孔14a 14d、19。
在移动板16位于辅助载置台12a、12c或12b、12d上时，移动板16的通孔19位于 辅助载置台1 12d的通孔14a、Hc或14b、14d的正上方，当在该状态下使升降销S1A2 上升时，升降销S1A2便穿过通孔14a、Hc或14b、14d，上端从移动板16的表面上突出。
该基板平台10在制造场所临时组装成移动板16和喷墨头17暂时能够如上所述 地行走，在确认下部导轨H1UIB2等的制造精度后进行分解，从主载置台11上将辅助载置台 1 12d和下部导轨U1UIB2拆卸下来。图11示出从主载置台11上拆卸下来的辅助载 置台12a 12d和下部导轨13”132。
在该状态下，基板平台10为能够进行搬运的大小，将主载置台11和辅助载置台 12a 12d等的分解后的部件装载在车辆中，运输到实际使用的场所。
在使用场所，首先进行主载置台11的安置使其表面水平，将辅助载置台1 12d 安装在主载置台11的侧面上，组装成与运输前相同的状态。
辅助载置台1 12d的一个侧面固定在主载置台11的侧面上，被固定在主载置 台11上的部分得到主载置台11的支撑，相对于此，与之相反一侧的部分未受到支撑，在自 重作用下向下弯曲。
本发明中，通过上下方向调整装置6将下部导轨1 的位于辅助载置台12a 12d上的部分修正成朝上，在辅助载置台1 12d向下弯曲的情况下，能够使下部导轨 13^132的表面为水平面。
当通过水平面内调整装置对下部导轨U1UIB2在水平面内的角度进行调整时，下 部导轨13pl32便在水平面内成一直线延伸，两根下部导轨13pl32在水平面内达到平行。
图1、2示出在使在使用场所组装后的基板平台10的喷墨头17位于主载置台11 的外侧、使移动板16位于辅助载置台12b、12d上、将基板5配置在移动板16上的状态。
连接配置有印刷液的喷出液供给系23与喷墨头17，如图3、4所示，使喷墨头17在 主载置台11上移动、在主载置台11上静止，如图5、6所示，使基板5朝向喷墨头17的下方移动。
喷墨头17的朝下的面上设置有多个喷出孔，当边从喷出液供给系23向喷墨头17 供给印刷液边使设置在喷墨头17上的喷出机构动作时，便能够从各喷出孔喷出印刷液液滴。
喷出孔是沿着基板的宽度方向(与基板5的移动方向垂直的方向)配置的。配置 有喷出孔的区域的长度比基板5的宽度短，当边对喷墨头17与基板5的相对位置进行控制 边从喷墨头17喷出印刷液时，便能够使喷出液附着到基板5表面的(基板长)X (基板宽) 的区域中(基板长)X (配置有喷出孔的区域)内的期望位置上。
喷出液附着到该区域内之后使喷墨头17移动，而在喷墨头17静止的状态下使基 板5移动，当将喷出液朝向基板5的表面的未附着喷出液的区域喷出时，便能够使喷出液附 着到基板5的表面的期望位置上。
由于下部导轨l3l、132通过上下方向调整装置6与水平方向调整装置被调整成一 直线，因而在移动板16行走时不会发生摇摆，能够使基板5高速移动。此外，喷出液的附着 位置精度也提高。
当在主载置台11上将印刷液附着在基板5表面的既定位置上之后，使基板5在辅 助载置台lh、12c上移动，使升降销S1上升时，基板5从移动板16上移载到升降销S1上。 当将搬运机器人的机械手插入基板5与移动板16之间并将基板5移载到机械手上时，便能 够移动到基板平台10的外部。
图7、8示出将基板5移动到基板平台10的外部之后的状态。
在上述例子中，在喷出液喷出时，是在使喷墨头17静止并使基板5移动的情况下 喷出喷出液的，但也可以在使基板5静止并使喷墨头17移动的情况下喷出喷出液。重要的 是，只要基板5与喷墨头17能够相对移动即可，既可以是其中的一方静止也可以是双方均 移动。
也可以替代喷墨头17而将测定装置等其它装置安装在上部导轨15ρ152上。
此外，在上述例子中，上部导轨15^1 是固定在主载置台11上的，但若将上部导 轨15^1 能够移动地安装在下部导轨13pl32上，使得上部导轨15^1 能够在下部导轨132的延伸方向上移动，则能够使喷墨头17在水平面内向相互垂直的两个方向(X-Y)移 动，因而即使使基板5静止也能够使喷出液附着到基板5的整个表面上。
在这种情况下，若替代喷墨头17而预先将能够安装各种装置的安装器具设置在 上部导轨15^1 上，则还能够作为通用的X-Y平台使用。
此外，在上述例子中，是在辅助载置台12a 12d上设置通孔14a 14d，将升降销 S1A2插入并上下移动的，但也可以是在辅助载置台12a 12d之间上下移动。
权利要求
1.一种平台，具有主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置台上分离 的辅助载置台，以及横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于前述 辅助载置台上的多个下部导轨，移动板位于前述各下部导轨上，前述移动板能够在前述下 部导轨上行走，其特征是，多个前述下部导轨的每一根分别由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述 辅助载置台上进行装拆，在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下 方向调整装置。
2.如权利要求1所记载的平台，其特征是，在前述移动板上，形成有用来插入升降销的多个通孔，在前述移动板位于前述辅助载置台的既定部位的状态下，能够从前述移动板的背面一 侧将前述升降销插入前述移动板的通孔中。
3.如权利要求1或2所记载的平台，其特征是，在前述主载置台上，能够装拆地安装有 位于前述下部导轨的上方的上部导轨。
4.如权利要求3所记载的平台，其特征是，在前述上部导轨上，能够移动地安装有喷墨头。
5.一种平台，具有主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置台上分离 的辅助载置台，横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于前述辅助 载置台上的多个下部导轨，以及安装成能够沿着前述下部导轨的延伸方向移动的上部导 轨，其特征是，各前述下部导轨由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进 行装拆，在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下 方向调整装置，前述上部导轨和前述下部导轨构成为能够进行装拆。
6.如权利要求5所记载的平台，其特征是，在前述上部导轨上，能够移动地安装有喷墨头。
7.如权利要求1至6之任一权利要求所记载的平台，其特征是，前述下部导轨由花岗石 构成。
全文摘要
提供一种能够高速运送基板的基板平台。在本发明的基板平台(10)中，将辅助载置台(12a～12d)安装在主载置台(11)上，将下部导轨(131、132)从主载置台(11)上横跨到辅助载置台(12a～12d)上进行配置。若通过上下方向调整装置(6)预先使下部导轨(131、132)的两端向上弯曲，则在辅助载置台(12a～12d)的端部向下弯曲时，下部导轨(131、132)便变得笔直。由于下部导轨(131、132)未分割，因而直线性得到确保，移动板(16)不会发生摇摆，因而能够使基板(5)高速移动。
文档编号H01L21/68GK102037552SQ20098011798
公开日2011年4月27日 申请日期2009年5月13日 优先权日2008年5月19日
发明者井上祐也, 关根邦好, 田中寿人, 谷藤保, 高桥诚 申请人:株式会社爱发科