专利名称：腔门紧锁装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种板类部件的固定装置，尤其涉及一种适用于将腔门紧锁于腔体壁 上且能解除锁接的腔门紧锁装置。
背景技术：
在半导体器件或平板显示器件的制造工艺中，为了保证较高的清洁度，常常需要 在真空设备中完成各种工艺，因此用于制造半导体器件或平板显示器件的设备，一般被设 计成将基板输送到真空设备中并利用等离子体对基板执行所需的工艺，以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的真空蒸镀为例，将加工好的基板传输至密封的 真空工艺室内，在真空条件下，将真空工艺室内的固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分 子自由地吸附在基板上逐渐形成薄膜，进而形成OLED的各个材料层。现有的真空加工设备通常包括三种真空腔室，即负载室、传送室及工艺室，负载室 用于从外部站台接收将要在设备中进行加工的基板以便装载基板，或用来输出设备中加工 完成的基板以便卸载基板；传送室用于在各个腔室之间传送基板；工艺室用来在真空环境 下利用等离子体或热能对基板执行所需的工艺，如真空蒸镀或蚀刻工艺等。由于工艺室利 用各种加工气体或等离子气体来重复大量工艺，因此，工艺室内的设备易于受损或受污染， 从而需要定期更换或维修。因此，工艺室一般设计成由中空结构的腔体和可启闭的腔门密 封构成，腔门可以打开以便对工艺室内部进行维护或更换，而在执行工艺步骤时腔门关闭 且要能保证工艺室内部的密封性，因此常常在腔门内侧安装密封圈，当腔门关闭时保证腔 门与腔体密封，腔门关闭后还需要一固定装置将腔门与腔体进行固定连接，以进一步加强 真空工艺室的密封性并保证操作的安全性。现有的用于将腔门固定于腔体壁上的装置，一般采用头部具有螺纹的旋钮，旋钮 的中部具有压纹，在腔门上贯穿开设有与旋钮相对应的安装孔，腔体壁上开设有与安装孔 相对应的螺纹孔，用于与旋钮配合连接，腔门关闭时，将旋钮的头部旋入腔体壁上的螺纹孔 内使腔门与腔体壁固定，腔门与腔体壁压紧实现真空工艺室的密封；然而，为了保持真空 工艺室的密封需要最大限度的旋进压纹旋钮，这样所有的压力都需要由腔门上的密封圈承 担，导致密封圈压迫量过大而影响密封效果，同时也缩短了密封圈的使用寿命；需要开启腔 门时，需要将旋钮旋出腔体壁上的螺纹孔，这样在腔门开启过程中旋钮在重力的作用下容 易脱离腔门上的安装孔，为使用带来诸多不便。因此，急需一种能分担密封圈压迫量，在腔门开启时能防止脱落且操作简便的锁 紧装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能分担密封圈压迫量，在腔门开启时能防止脱落且操 作简便的固定装置。为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种腔门紧锁装置，适用于将腔门紧锁于腔体壁上且能解除锁接，其包括手柄及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环绕所述连 接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，所述弹簧 的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述安装孔内开设有内螺纹， 所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆的螺纹部与所述安装 孔螺纹连接，所述凸台与所述腔门的外表面分离地接触。较佳地，所述腔门的外表面上具有与所述第一环槽相对应的第二环槽，所述第二 环槽用于容纳所述弹簧伸出第一环槽的一端，手柄的螺纹部旋入腔体壁上的安装孔内而与 腔体壁连接时，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，弹簧伸出第一环槽的一端容置于 腔门上的第二环槽内并被压缩，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压力，使腔 门与腔体壁保持适合的距离，分担腔门与腔体壁之间的密封圈的压迫量，即保持腔门与腔 体壁之间的密封圈具有适合的压迫量，保证腔门与腔体壁之间良好的密封效果，且增长密 封圈的使用寿命。较佳地，所述腔体壁上安装有密封圈，腔门与腔体壁压合时，对密封圈施加压力， 使腔门与腔体壁之间保持良好的密封性，保持工艺腔室内部具有良好的真空性。与现有技术相比，由于本发明腔门紧锁装置包括手柄及弹簧，所述手柄向外凸伸 出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸 台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第 一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述安 装孔内开设有内螺纹，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接 杆的螺纹部与所述安装孔螺纹连接，所述凸台与所述腔门的外表面分离地接触；腔门关闭 时，旋转手柄使螺纹部伸出腔门上的安装孔，并将螺纹部旋进腔体壁上的螺纹孔内，使螺纹 部与腔体壁螺纹连接，将腔门固定于腔体壁上，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，凸 台上安装的弹簧与腔门相抵触并被压缩，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压 力，使腔门与腔体壁保持适合的距离，使腔门与腔体壁之间的密封圈保持有适合的压迫量， 进而保证腔门与腔体壁的密封效果，同时延长密封圈的使用寿命；开启腔门时，旋转手柄使 螺纹部退出腔体壁的螺纹孔，并使螺纹部与腔门上的安装孔螺纹连接，手柄的凸台与腔门 的外表面相分离，腔门开启的过程中，腔门紧锁装置不会脱离腔门，方便腔门的频繁开启， 同时该腔门紧锁装置结构简单，操作简便省力。
图1是本发明腔门紧锁装置的截面示意图。图2是图1所示腔门紧锁装置的分解截面示意图。图3是图1所示腔门紧锁装置的使用状态的截面示意图。
具体实施例方式现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如图1、图2所示，本发明腔门紧锁装置300用于将闭合于腔体壁100上的腔门200 锁紧，且能拆除所接使腔门200打开，腔门紧锁装置300包括手柄310及弹簧320，手柄310向外凸伸出凸台311，凸台311向外凸伸出连接杆312，连接杆312的末端开设有螺纹并形成螺纹部313，凸台311上开设有环绕连接杆312的第一环槽314，弹簧320穿设于连接杆 312上且一端安装于第一环槽314内，弹簧320的另一端凸伸出第一环槽314 ；腔门200具 有内表面201及外表面202，内表面201与腔体壁100配合连接，在腔门200上贯穿开设有 与手柄310相对应的安装孔203，安装孔203内开设有与螺纹部313相对应的内螺纹；腔体 壁100上正对安装孔203开设有具有内螺纹的螺纹孔101，螺纹孔101用于与连接杆312末 端的螺纹部313螺纹连接；手柄310末端的螺纹部313由腔门外表面202伸入腔门200上 的安装孔203内并与安装孔203螺纹连接，凸台311与腔门200的外表面202分离地抵触； 在腔门200的外表面202上还设置有与第一环槽314相对应的第二环槽204，第二环槽204 用于容纳弹簧320伸出第一环槽314的一端。安装时，将弹簧320穿设于连接杆312上并 将其一端装入凸台311上的第一环槽314内，弹簧320的另一端伸出第一环槽314，安装好 弹簧320后，将连接杆312末端的螺纹部313由腔门200的外表面202伸入安装孔203内 并使螺纹部313与安装孔203螺纹连接，凸台311与腔门200的外表面202分离地抵触；腔 体壁100上还安装有密封圈102。如图3所示，使用时，腔门200闭合于腔体壁100上且两者之间通过安装于腔体壁 100上的密封圈102达到密封，腔门紧锁装置300用于将闭合于腔体壁100上的腔门200固 定，当腔门200关闭时，旋转手柄310，使连接杆312末端的螺纹部313穿过安装孔203并 旋入腔体壁100上的螺纹孔101内，手柄310与腔体壁100螺纹连接，使腔门200与腔体壁 100固定连接，腔体壁100上安装的密封圈102受到腔门200的压力使腔体壁100与腔门 200很好地密封，手柄310的螺纹部313旋入腔体壁100上的螺纹孔101后，弹簧320伸出 第一环槽314的一端容纳于腔门200上的第二环槽204内，凸台311与腔门200外表面202 相接触，弹簧320被压缩，弹簧320产生的弹力减小凸台311对腔门200施加的压力，使腔 门200与腔体壁100之间保持适合的距离，进而缓解安装于腔体壁100上的密封圈102的压 力，改善密封圈102的压迫量，使腔门200与腔体壁100之间的密封效果更好，并提高密封 圈102的使用寿命；当需要打开腔门200时，旋转手柄310使连接杆312末端的螺纹部313 退出腔体壁100上的螺纹孔101，并使螺纹部313与腔门200上的安装孔203螺纹连接，凸 台311与腔门200外表面202相分离，在腔门200开启后，由于手柄310的螺纹部与与腔门 200上的安装孔203螺纹连接，手柄310不会脱离腔门200，方便腔门200的频繁开启，且方 便装配和更换，操作简便省力。由于本发明腔门紧锁装置300包括手柄310及弹簧320，手柄310向外凸伸出凸 台311，凸台311向外凸伸出连接杆312，连接杆312的末端开设有螺纹并形成螺纹部313， 凸台311上开设有环绕连接杆312的第一环槽314，弹簧320穿设于连接杆312上且一端 安装于第一环槽314内，弹簧320的另一端凸伸出第一环槽314，腔门200贯穿开设有安装 孔203，安装孔203内开设有与螺纹部313相对应的内螺纹，腔体壁100正对安装孔203开 设有具有内螺纹的螺纹孔101，连接杆312的螺纹部313与安装孔203螺纹连接，凸台311 与腔门200的外表面202分离地接触；腔门200关闭时，旋转连接杆312使其前端的螺纹部 313伸出安装孔203，并将螺纹部313旋进腔体壁100上的螺纹孔101内，使螺纹部313与 腔体壁100螺纹连接，将腔门200固定于腔体壁100上，手柄310的凸台311与腔门200的 外表面202相抵触，凸台311上安装的弹簧320与腔门100相抵触并被压缩，弹簧320产生的弹力减小凸台311对腔门200施加的压力，使腔门200与腔体壁100保持适合的距离，使 安装于腔体壁100上的密封圈102保持有适合的压迫量，进而保证腔门200与腔体壁100 的密封效果，同时延长密封圈102的使用寿命；开启腔门200时，旋转手柄310使螺纹部313 退出腔体壁100的螺纹孔101，并使螺纹部313与腔门200上的安装孔203螺纹连接，手柄 310的凸台311与腔门200的外表面202相分离，腔门200开启的过程中，手柄310不会脱 离腔门200，方便腔门200的频繁开启，且方便装配和更换，操作简便省力。本发明腔门紧锁装置300并不限于将闭合于腔体壁100上的腔门200固定，还可根据实际需要，用于相类似的板类部件的固定。本发明中腔门200与腔体壁100的安装方式、密封圈102的安装方式等均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种腔门紧锁装置，适用于将腔门紧锁于腔体壁上且能解除锁接，其特征在于所述腔门紧锁装置包括手柄及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述安装孔内开设有内螺纹，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆的螺纹部与所述安装孔螺纹连接，所述凸台与所述腔门的外表面分离地接触。
2.如权利要求1所述的腔门紧锁装置，其特征在于所述腔门的外表面上具有与所述 第一环槽相对应的第二环槽。
3.如权利要求1所述的腔门紧锁装置，其特征在于所述腔体壁上安装有密封圈。
全文摘要
本发明公开了一种腔门紧锁装置，适用于将腔门紧锁于腔体壁上且能解除锁接，其包括手柄、阻挡件及弹簧，手柄向外凸伸出凸台，凸台向外凸伸出连接杆，连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，凸台开设有环绕连接杆的第一环槽，弹簧穿设于连接杆上且一端安装于第一环槽内，弹簧的另一端凸伸出第一环槽，腔门贯穿开设有安装孔，所述安装孔内开设有内螺纹，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆的螺纹部与所述安装孔螺纹连接，所述凸台与所述腔门的外表面分离地接触；本发明腔门紧锁装置能分担腔门上密封圈的压迫量，在腔门开启时不会脱落，且结构简单，操作简便省力。
文档编号H01L21/00GK101834117SQ20101010754
公开日2010年9月15日 申请日期2010年1月29日 优先权日2010年1月29日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司