专利名称：凸点及其形成方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件的制造领域，尤其涉及凸点及其形成方法。
背景技术：
随着集成电路技术的不断发展，电子产品越来越向小型化、智能化、高性能以及高可靠性方向发展。而集成电路封装不仅直接影响着集成电路、电子模块乃至整机的性能，而且还制约着整个电子系统的小型化、低成本和可靠性。在集成电路晶片尺寸逐步缩小，集成度不断提高的情况下，电子工业对集成电路封装技术提出了越来越高的要求。倒装芯片(flip chip)技术是通过在芯片表面形成的焊球，使芯片翻转与底板形成连接，从而减小封装尺寸，满足电子产品的高性能(如高速、高频、更小的引脚)、小外形的要求，使产品具有很好的电学性能和传热性能。凸点(bump)制作技术是倒装芯片中的一个关键技术。现有技术中的凸点通常是焊料通过一定工艺沉积在芯片金属垫层上，经过一定温度回流形成的金属焊球，申请号为 200510025198. X的中国专利申请文件提供了这种工艺。现有技术还可以采用金属线焊接 (wire bond)的方式形成凸点，具体工艺如图1所示，在半导体衬底100上形成第一金属层，所述第一金属层为Al、Cu或者它们的合金构成，所述第一金属层为采用物理气相沉积 (PVD)方法制备，然后采用现有光刻和蚀刻技术图形化第一金属层，形成金属垫层104。接着，在半导体衬底100和金属垫层204上形成钝化层102，所述钝化层202可以为氧化硅、氮化硅或苯并环丁烯(BCB)、聚四氟乙烯、聚酰亚胺等高分子聚合物；然后采用现有的光刻和显影技术，在钝化层102上形成开口，所述开口暴露出金属垫层104。参照图2，采用金属线焊接工艺向金属垫层104上打上金属导线106 ；回流含锡金属导线106，形成凸点。然而采用金属线焊接工艺形成金属导线106的过程中会产生如图3所示的情况， 由于打线时的偏差使金属导线106未能完全置于金属垫层104上，会多部分处于金属垫层 104上，而少部分则偏移至钝化层102上。在打线过程中，会有压制的过程，导致金属垫层 104上的钝化层102会被压裂，进而后续工作时发生短路现象，影响半导体器件的电性能。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种凸点及其形成方法，防止钝化层被压裂，产生短路现象。为解决上述问题，本发明一种凸点的形成方法，包括提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成有金属垫层和钝化层，所述金属垫层镶嵌于钝化层中；平坦化钝化层至露出金属垫层，所述钝化层与金属垫层表面齐平；采用金属线焊接工艺向金属垫层上形成金属导线；回流金属导线，形成凸点。可选的，所述平坦化钝化层的工艺为化学机械研磨法或机械研磨法。可选的，所述含锡金属导线的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金，锡银合金或锡银铜合金。可选的，回流含锡金属导线的温度为220°C 350°C。可选的，在所述金属垫层上形成金属导线之前还包括在金属垫层上形成籽晶层。可选的，所述籽晶层的材料为铜。可选的，所述半导体衬底上依次形成有至少一层钝化层和至少一层金属垫层，所述各层钝化层与相应层的金属垫层的表面齐平。本发明还提供一种凸点，包括半导体衬底；位于半导体衬底上的金属垫层和钝化层，所述金属垫层与钝化层表面齐平；位于金属垫层上的凸点。可选的，所述含锡金属导线的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金，锡银合金或锡银铜合金。可选的，所述金属垫层与凸点之间还包括有籽晶层。可选的，所述籽晶层的材料为铜。与现有技术相比，本发明具有以下优点将钝化层平坦化至与金属垫层的表面齐平。避免了由于钝化层部分位于金属垫层上的的情形，在后续采用金属线焊接工艺向金属垫层上打上金属导线时，钝化层不会被压裂，有效防止了后续工作时发生短路现象，提高了半导体器件的电性能。进一步采用化学机械研磨法平坦化钝化层，能将钝化层坦化至与金属垫层表面齐平，当用金属线焊接工艺向金属垫层上打上金属导线时，产生偏移，使金属导线部分落在钝化层上，也不会将钝化层压裂，避免了短路现象的产生，提高了半导体器件的电性能及可靠性。
图1至图2是现有工艺制作凸点的示意图；图3的现有工艺制作的凸点产生缺陷的效果图；图4是本发明制作凸点的具体实施方式
流程图；图5、图6、图7a、图7b、图8a、图8b是本发明制作凸点的第一实施例示意图；图9 图13是本发明制作凸点的第二实施例示意图。
具体实施例方式发明人发现由于现有技术通常是用刻蚀方式刻蚀钝化层，使之露出金属垫层，如果要将刻蚀钝化层至表面与金属垫层完全齐平的话，会由于刻蚀参数的难以掌握而使钝化层与金属垫层之间留有空隙，会使后续形成凸点时金属材料通过空隙流至下面膜层，产生短路现象；因此，采用刻蚀工艺刻蚀钝化层的话，会在刻蚀过后于金属垫层的边角留下部分钝化层，用以保护金属垫层。但是，采用金属线焊接工艺形成凸点时，如果打线时产生偏差使金属导线未能完全置于金属垫层上，其中多部分处于金属垫层上，而少部分则偏移至钝化层上；由于在金属线焊接工艺在打线时，会有压制的过程，导致金属垫层上的钝化层会被压裂，进而后续工作时发生短路现象，影响半导体器件的电性能。本发明针对上述问题，发明人经过研究，给出了下述制作凸点的方法，具体流程如图4所示，执行步骤Sll，提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成有金属垫层和钝化层，所
4述金属垫层镶嵌于钝化层中；执行步骤S12，平坦化钝化层至露出金属垫层，所述钝化层与金属垫层表面齐平；执行步骤S13，采用金属线焊接工艺向金属垫层上形成金属导线；执行步骤S14，回流金属导线，形成凸点。基于上述实施方式形成的凸点，包括半导体衬底；位于半导体衬底上的金属垫层和钝化层，所述金属屏蔽层与钝化层表面齐平；位于金属屏蔽层上的凸点。本发明将钝化层平坦化至与金属垫层的表面齐平。避免了由于钝化层部分位于金属垫层上的情形，在后续采用金属线焊接工艺向金属垫层上打上金属导线时，钝化层不会被压裂，有效防止了后续工作时发生短路现象，提高了半导体器件的电性能。下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。第一实施例图5、图6、图7a、图7b、图8a、图8b是本发明制作凸点的第一实施例示意图。参照图5所示，提供半导体衬底200，所述半导体衬底200为带有半导体器件的半导体衬底，为了简化示图，此处仅以空白半导体衬底示意。在半导体衬底200上形成金属垫层204，具体形成工艺如下首先在半导体衬底200上形成第一金属层，所述第一金属层为Al、Cu或者它们的合金构成，所述第一金属层的厚度范围为400nm 800nm，所述第一金属层为采用物理气相沉积(PVD)方法制备，然后采用现有光刻和蚀刻技术图形化第一金属层，形成金属垫层 204。接着，在半导体衬底200上形成覆盖金属垫层204的钝化层202。本实施例中，形成所述钝化层202的方法为化学气相沉积法。所述钝化层202可以为氧化硅、氮化硅或苯并环丁烯(BCB)、聚四氟乙烯、聚酰亚胺等高分子聚合物。所述钝化层202位于金属垫层204两侧的厚度大于等于金属垫层204的厚度。如图6所示，对所述钝化层202进行平坦化工艺，直至露出金属垫层204，使金属垫层204的表面与研磨后的钝化层202的表面齐平，金属垫层204镶嵌于钝化层202之间。本实施例中，所述平坦化工艺为化学机械研磨法或机械研磨法。在平坦化钝化层后，作为一个实例，如图7a所示，采用金属线焊接(wirebond)法在金属垫层204上形成金属导线206，所述金属导线206可以是一个，也可以是两个、三
个......N个(N为自然数)，具体数量根据金属导线206的厚度、后续形成的凸点的大小及
凸点间的间距决定。以直径为30微米的金属导线为例，金属线焊接法形成金属导线206的直径约为60 μ m 75 μ m，高度为50 μ m 60 μ m。两个含锡金属导线206的体积则增加一倍。三个含锡金属导线206叠加，体积则变成三倍。本实施例中，金属导线206的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金，锡银合金或锡银铜合金等。参考图8a，在金属导线206上涂布助焊剂；然后，将半导体衬底200放入回流炉内，对金属垫层204上的金属导线206进行保温回流，形成凸点216a。本实施例中，回流温度为220°C 350°C。作为另一个实例，如图7b所示，用旋涂法在金属垫层204上形成光刻胶层(未示出)；对光刻胶层进行曝光、显影工艺后，在光刻胶层上形成开口，所述开口的位置与金属垫层204的位置对应。以光刻胶层为掩模，用电镀法在开口内的金属垫层204上形成籽晶层 205，所述籽晶层205为Cu、Ni或其组合构成，所述籽晶层205的厚度范围为1 μ m 8 μ m。 然后，去除光刻胶层，采用金属线焊接(wire bond)法在籽晶层205上形成金属导线206。
除上述情况外，在形成籽晶层205之前，还可以在金属垫层204和钝化层202上形成金属屏蔽层，所述金属屏蔽层为耐热金属层与金属铜层的组合，其中耐热金属层的材料为钛、钛化钨或铬；所述金属屏蔽层的作用在于同金属垫层204保持良好粘附性，并且有效阻止后续的凸点材料同金属垫层204的相互扩散。而在形成籽晶层205之后，形成凸点之前，用电镀法在光刻胶开口内的籽晶层205 上形成厚度为2μπι 40μπι的凸点下金属层；所述凸点下金属层的材料为铜或铜与镍组
I=I O参考图8b，在金属导线206上涂布助焊剂；然后，将半导体衬底200放入回流炉内，对金属垫层204上的金属导线206进行保温回流，形成凸点206a。本实施例中，将钝化层202平坦化至与金属垫层204的表面齐平。避免了由于钝化层204部分位于金属垫层202上的情况，在后续采用金属线焊接工艺向金属垫层204或籽晶层205上打上金属导线时，钝化层202不会被压裂，有效防止了后续工作时发生短路现象，提高了半导体器件的电性能。基于上述实施例形成的凸点，包括半导体衬底200 ；位于半导体衬底200上的金属垫层204和钝化层202，所述金属垫层204镶嵌于钝化层202中，且金属垫层204和钝化层202表面齐平；凸点206a，位于金属垫层204上。除上述实施例外，所述形成的凸点还包括金属屏蔽层，位于金属垫层204和钝化层202上；籽晶层205，位于金属垫层204对应位置的金属屏蔽层上；凸点下金属层，位于籽晶层205与凸点206a之间。第二实施例图9 图13是本发明制作凸点的第二实施例示意图。如图9所示，提供半导体衬底300，所述半导体衬底300为带有半导体器件的半导体衬底，为了简化示图，此处仅以空白半导体衬底示意。在半导体衬底300上形成第一金属垫层304，具体形成工艺如下首先采用物理气相沉积(PVD)方法在半导体衬底300上形成第一金属层；然后采用现有光刻和蚀刻技术图形化第一金属层，形成第一金属垫层304。继续参考图9，接着，用化学气相沉积法在半导体衬底300上形成覆盖第一金属垫层304的第一钝化层302。如图10所示，用化学机械研磨法或机械研磨法平但化第一钝化层302至露出第一金属垫层304，使第一金属垫层304的表面与研磨后的第一钝化层302的表面齐平。再参考图10，在第一金属垫层304上形成第二金属垫层306，所述形成第二金属垫层306的方法同第一金属垫层304，在此不再赘述。接着，用化学气相沉积法在半导体衬底 300上形成覆盖第二金属垫层306的第二钝化层308。如图11所示，用化学机械研磨法或机械研磨法平但化第二钝化层308至露出第二金属垫层306，使第二金属垫层306的表面与研磨后的第二钝化层308的表面齐平，第二金属垫层306镶嵌于第二钝化层308之间。按照上述方法，还可以在第二钝化层308及第二金属垫层306上分别形成第三钝化层和第三金属垫层，以此类推，根据工艺需要可以制造适当数量的金属垫层和钝化层。多层金属垫与饨化层可以增加凸点基层的支撑与整体结构的力学强度，提升凸点结构的可靠性。
本实施例中，所述钝化层可以为氧化硅、氮化硅或苯并环丁烯(BCB)、聚四氟乙烯、 聚酰亚胺等高分子聚合物。所述金属垫层的材料为Al、Cu或者它们的合金构成。如图12所示，采用金属线焊接(wire bond)法在第二金属垫层306上形成金属导线 310。本实施例中，金属导线310的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金，锡银合金或锡银铜合金等。参考图13，在金属导线310上涂布助焊剂；然后，将半导体衬底300放入回流炉内，对第二金属垫层306上的金属导线310进行保温回流，形成凸点310a。本实施例中，回流温度为220°C 350°C。作为一个实例，在形成金属导线310之前，还可以在第二金属垫层306和第二钝化层308上形成金属屏蔽层(未示出)，所述金属屏蔽层为耐热金属层与金属铜层的组合，其作用在于同第二金属垫层306保持良好粘附性，并且有效阻止后续的凸点材料同第二金属垫层306的相互扩散。然后，在金属屏蔽层上形成以Cu、Ni或其组合构成的籽晶层，所述籽晶层位置与第二金属垫306对应；接着，为了加强后续凸点310a的粘附性，在籽晶层上再形成铜或铜与镍组合的凸点下金属层。基于上述实施例形成的凸点，包括半导体衬底300 ；位于半导体衬底300上的第一金属垫层304和第一钝化层302，所述第一金属垫层304镶嵌于第一钝化层302中，且第一金属垫层304和第一钝化层302表面齐平；位于第一金属垫层304上的第二金属垫层 306，位于第一钝化层302上的第二钝化层308，所述第二金属垫层306镶嵌于第二钝化层 308中，且第二金属垫层306和第二钝化层308表面齐平；凸点310a，位于第二金属垫层306 上。除上述实施例外，所述形成的凸点还包括金属屏蔽层，位于第二金属垫层306和第二钝化层308上；籽晶层，位于第二金属垫层306对应位置的金属屏蔽层上；凸点下金属层，位于籽晶层与凸点310a之间。虽然本发明己以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
1.一种凸点的形成方法，其特征在于，包括提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成有金属垫层和钝化层，所述金属垫层镶嵌于钝化层中；平坦化钝化层至露出金属垫层，所述钝化层与金属垫层表面齐平； 采用金属线焊接工艺向金属垫层上形成金属导线； 回流金属导线，形成凸点。
2.根据权利要求1所述的凸点的形成方法，其特征在于所述平坦化钝化层的工艺为化学机械研磨法或机械研磨法。
3.根据权利要求1所述的凸点的形成方法，其特征在于所述含锡金属导线的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金，锡银合金或锡银铜合金。
4.根据权利要求1所述的凸点的形成方法，其特征在于回流含锡金属导线的温度为 220 350O。
5.根据权利要求1所述的凸点的形成方法，其特征在于在所述金属垫层上形成金属导线之前还包括在金属垫层上形成籽晶层。
6.根据权利要求5所述的凸点的形成方法，其特征在于所述籽晶层的材料为铜。
7.根据权利要求1所述的凸点的形成方法，其特征在于所述半导体衬底上依次形成有至少一层钝化层和至少一层金属垫层，所述各层钝化层与相应层的金属垫层的表面齐平。
8.一种采用权利要求1的方法形成的凸点，包括半导体衬底；位于半导体衬底上的金属垫层和钝化层；位于金属垫层上的凸点；其特征在于，所述金属垫层与钝化层表面齐平。
9.根据权利要求8所述的凸点，其特征在于所述含锡金属导线的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金，锡银合金或锡银铜合金。
10.根据权利要求8所述的凸点，其特征在于所述金属垫层与凸点之间还包括有籽晶层。
11.根据权利要求10所述的凸点，其特征在于所述籽晶层的材料为铜。
12.根据权利要求8所述的凸点，其特征在于包括至少一层钝化层和至少一层金属垫层，所述各层钝化层与相应层的金属垫层的表面齐平。
全文摘要
一种凸点及其形成方法。其中凸点的形成方法，包括提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成有金属垫层和钝化层，所述金属垫层镶嵌于钝化层中；平坦化钝化层至露出金属垫层，所述钝化层与金属垫层表面齐平；采用金属线焊接工艺向金属垫层上形成金属导线；回流金属导线，形成凸点。本发明有效防止了后续工作时发生短路现象，提高了半导体器件的电性能。
文档编号H01L23/00GK102487023SQ20101056943
公开日2012年6月6日 申请日期2010年12月1日 优先权日2010年12月1日
发明者王津洲 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司