太阳电池用的复合膜的形成方法及用该方法形成的复合膜的制作方法

专利名称：太阳电池用的复合膜的形成方法及用该方法形成的复合膜的制作方法
技术领域：
本发明涉及形成设置在太阳电池的光电变换层上的由透明导电膜和导电性反射膜构成的太阳电池用的复合膜的方法以及通过该方法形成的复合膜。更详细地说，涉及使光电变换层和透明导电膜之间、透明导电膜和导电性反射膜之间的接触电阻下降，使发电时的太阳电池中的串联电阻降低，从而能够提高发电效率的太阳电池用的复合膜的形成方法以及通过该方法形成的复合膜。
背景技术：
目前，从保护环境的角度出发，清洁能源的研究开发不断发展。其中，太阳电池由于其资源即太阳光无限且无公害等而引起人们关注。以往，在利用太阳电池的太阳光发电中，使用块(bulk)太阳电池，S卩，制造单晶硅或多晶硅的块状结晶，对其进行薄片加工，用作厚的板状的半导体。但是，关于在块太阳电池中使用的上述硅结晶，在结晶的生长中需要多的能量和时间，且在紧接着的制造工序中也需要复杂的工序，所以，难以提高批量生产效率，从而难以提供价格低的太阳电池。另一方面，对于使用厚度为数微米以下的非晶硅等半导体的薄膜半导体太阳电池 (以下称为薄膜太阳电池)来说，仅需要在玻璃或不锈钢等廉价的基板上形成光电变换层即半导体层即可。因此，该薄膜太阳电池由于薄型、轻量、制造成本低、容易大面积化等，而成为今后的太阳电池的主流。关于薄膜太阳电池，正在研究通过取得例如按透明电极、非晶硅、多晶硅、背面电极的顺序形成的结构来提高发电效率(例如，参照非专利文献1)。在该非专利文献1所示的结构中，非晶硅或多晶硅构成光电变换层。特别是，在光电变换层利用硅类材料构成太阳电池的情况下，由于由上述材料形成的光电变换层的吸光系数比较小，所以，在光电变换层为数微米级的膜厚中，入射光的一部分透过光电变换层，透过的光无助于发电。因此，通常如下来进行，即，将背面电极作为反射膜或者在背面电极上形成反射膜，利用反射膜反射未吸收完而透过光电变换层的光，使其再次回到光电变换层，由此，提高发电效率。以往，在制造这样的薄膜太阳电池时，利用溅射法等真空成膜法来形成各层。但是，通常，由于在大型的真空成膜装置的维持以及运转中需要高成本，所以正在开发如下方法，即，尽可能通过将溅射法等真空成膜法置换成湿式成膜法，从而更廉价地制造薄膜太阳电池(例如，参照专利文献1)。在该专利文献1所示的方法中，公开了将位于基材侧的透明导电膜即图1所示的表面电极12的形成置换成湿式成膜法的方法。专利文献1 日本特开平10-12059号公报(段落
、段落
)。非专利文献1 柳田祥三等著、「薄膜太陽電池O開発最前線 高効率化量産化普及促進(二向《" 」、株式会社工3 r ^ - 工7、2005年3月、P. 113图1 (a)。但是，在薄膜太阳电池中，为了提高发电效率，谋求降低构成各电极的层或膜自身所具有的电阻、实现光电变换层和电极之间或电极彼此之间的良好的接触性或导通性。本发明人对将位于背面侧的电极的形成置换为湿式成膜法的方法进行研究，至此提出如下方法等在使用了湿式涂敷法的透明导电膜的形成中，在光电变换层上用含有透明导电性氧化物微粒子以及粘结剂成分的液体进行涂敷，并对其烧结的方法；首先，将透明导电性氧化物微粒子涂敷在光电变换层上，接着将其用粘结剂成分固定后进行烧结的方法。但是，作为透明导电性氧化物微粒子，使用一般的球状的微粒子，在通过湿式涂敷法形成透明导电膜的情况下，由于在光电变换层和透明导电膜间存在粘结剂成分，从而产生阻碍膜在纵向上的导电等问题，特别是，在光电变换层的载流子密度低的情况下，容易受到这种导电阻碍效果的影响，判明这成为提高发电效率的障碍。例如，当光电变换层13和透明导电膜14a的导电性恶化时，发电时的光电变换层13和透明导电膜1 之间的接触电阻上升，这成为使发电时的太阳电池中的串联电阻上升，结果妨碍提高发电效率的原因。

发明内容
本发明的目的在于提供使光电变换层和透明导电膜之间、透明导电膜和导电性反射膜之间的接触电阻下降，使发电时的太阳电池中的串联电阻下降，由此提高太阳电池的发电效率的太阳电池用的复合膜的形成方法以及通过该方法形成的复合膜。本发明的第一观点，如图1所示，在经由表面电极12层叠在基材11上上的太阳电池的光电变换层13上，利用湿式涂敷法涂敷含有导电性氧化物微粒子的分散液和含有粘结剂成分的分散液或者含有导电性氧化物微粒子和粘结剂成分这两者的透明导电膜形成用组成物，形成透明导电涂敷膜，通过湿式涂敷法在透明导电涂敷膜上涂敷导电性反射膜用组成物，形成导电性反射涂敷膜，然后，对具有透明导电涂敷膜以及导电性反射涂敷膜的基材11进行烧结，从而形成由透明导电膜Ha和导电性反射膜14b构成的太阳电池用的复合膜14，其特征在于，导电性氧化物微粒子包括具有非球形的各向异性形状的粒子、或者多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体中的任一种。本发明的第二观点是基于第一观点的发明，其特征在于，进而，各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体的纵横比为3以上。本发明的第三观点是基于第一观点的发明，其特征在于，进而，在各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体为板状时，板状的粒子或者凝聚体的厚度为50 1500nm，宽度厚度比为2 100。本发明的第四观点是基于第一至第三观点的发明，其特征在于，进而，湿式涂敷法是喷涂法、分配器涂敷法、旋涂法、刮板涂敷法、狭缝涂敷法、喷墨涂敷法、丝网印刷法、胶版印刷法或者塑模涂敷法中的任一种。本发明的第五观点为一种透明导电膜形成用组成物，用于通过湿式涂敷法进行涂敷并烧结来形成构成太阳电池用复合膜的透明导电膜，其特征在于，上述组成物由不包含粘结剂成分的导电性氧化物微粒子的分散液和不包含导电性氧化物微粒子的粘结剂成分的分散液构成、或者由包含导电性氧化物微粒子和粘结剂成分这两者的分散液构成，导电性氧化物微粒子包括具有非球形的各向异性形状的粒子、或者多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体中的任一种。本发明的第六观点是基于第五观点的发明，其特征在于，进而，各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体的纵横比为3以上。本发明的第七观点是基于第五观点的发明，其特征在于，进而，在各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体为板状时，板状的粒子或者凝聚体的厚度为50 1500nm，宽度厚度比为2 100。本发明的第八观点是由通过基于第一至第四观点的方法形成的透明导电膜和导电性反射膜构成的太阳电池用的复合膜。本发明的第九 观点是具有基于第八观点的太阳电池用的复合膜的太阳电池。在本发明的第一观点的形成方法是形成在太阳电池的光电变换层上形成的由透明导电膜和导电性反射膜构成的太阳电池用的复合膜的方法，作为在上述透明导电膜的形成中所使用的导电性微粒子分散液或透明导电膜形成用组成物的导电性氧化物微粒子，使用包含具有非球形的各向异性形状的粒子、或者多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体中的任一种的粒子。该各向异性形状粒子或各向异性结构凝聚体与以往的使用球状的导电性氧化物微粒子的情况相比，能够增大粒子间的接触面积，能够提高导电性。由此，使发电时的光电变换层和透明导电膜之间、透明导电膜和导电性反射膜之间的接触电阻下降，使发电时的太阳电池中的串联电阻下降，从而能够提高太阳电池的发电效率。另外，由于通过湿式涂敷法形成，所以不需要如真空蒸镀法或溅射法等那样的真空工艺，能够更低价地制造。本发明的第五观点的透明导电膜形成用组成物是用于通过湿式涂敷法进行涂敷以及烧结形成构成太阳电池用复合膜的透明导电膜的透明导电膜形成用组成物，上述组成物由不包含粘结剂成分的导电性氧化物微粒子的分散液和不包含导电性氧化物微粒子的粘结剂成分的分散液构成、或者由包含导电性氧化物微粒子和粘结剂成分这两者的分散液构成，作为导电性氧化物微粒子，使用包含具有非球形的各向异性形状的粒子、或多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体中的任一种的粒子。该各向异性形状粒子或各向异性结构凝聚体与以往的使用球状的导电性氧化物微粒子的情况相比，能够增大粒子间的接触面积，能够提高导电性。由此，使发电时的光电变换层和透明导电膜之间、透明导电膜和导电性反射膜之间的接触电阻下降，使发电时的太阳电池中的串联电阻下降，从而提高太阳电池的发电效率。本发明的第八观点的太阳电池用复合膜由于通过上述本发明的方法来形成，所以，在构成复合膜的透明导电膜的形成中，作为导电性微粒子分散液的导电性氧化物微粒子，使用具有非球形的各向异性形状的粒子、或多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体，所以，与以往的使用球状的导电性氧化物微粒子的情况相比，能够增大粒子间的接触面积，其结果是，能够形成具有高的导电性的透明导电膜。由此，使发电时的光电变换层和透明导电膜之间、透明导电膜和导电性反射膜之间的接触电阻下降，使发电时的太阳电池中的串联电阻下降，进一步提高太阳电池的发电效率。本发明的第九观点的太阳电池由于具有上述本发明的太阳电池用的复合膜，所以，发电时的太阳电池中的串联电阻小，发电效率非常高。


图1是示意性地表示一般的太阳电池的层叠结构的剖视图。其中，附图标记说明如下 11基材
512表面电极 13光电变换层 14复合膜 14a透明导电膜 14b导电性反射膜。
具体实施例方式接着，基于附图对用于实施本发明的方式进行说明。如图1所示，本发明的太阳电池用的复合膜的制造方法如下，在经由表面电极12 层叠在基材11上的太阳电池的光电变换层13上，利用湿式涂敷法，涂敷含有导电性氧化物微粒子的分散液和含有粘结剂成分的分散液、或者含有导电性氧化物微粒子和粘结剂成分这两者的透明导电膜形成用组成物，形成透明导电涂敷膜，在透明导电涂敷膜上利用湿式涂敷法涂敷导电性反射膜用组成物，形成导电性反射涂敷膜，然后，对具有透明导电涂敷膜以及导电性反射涂敷膜的基材11进行烧结，由此，形成由透明导电膜Ha和导电性反射膜 14b构成的太阳电池用的复合膜14。作为基材11，能够使用由玻璃、陶瓷或高分子材料构成的透光性基板中的任一种或者从由玻璃、陶瓷、高分子材料以及硅构成的组中选择的两种以上的透光性层叠体。作为高分子基板，能够举出由聚酰亚胺或PET (聚对苯二甲酸乙二醇酯)等有机聚合物形成的基板。表面电极12是如下的透明且具有导电性的膜使从基材11侧入射的光向光电变换层13透过，并且，作为电极发挥功能。作为该表面电极12，例如能够举出ITO (Indium Tin Oxide :Sn 掺杂氧化铟)、ATO (Antimony Tin Oxide Jb 掺杂氧化锡)、SnO2 (氧化锡)、 ZnO (氧化锌)、IZ0 (Indium Zinc Oxide : 掺杂氧化铟)等的膜。另外，表面电极12也可以利用从在 ai0Un203、Sn02、Cd0、Ti02、C(Hn204、Cd2SnO4 或 Si2SnO4 中的任一种中掺杂了 Sn、 Sb、F或Al中的任一种而成的金属氧化物的组中所选择的一种或两种以上的金属氧化物构成。例如，能够举出 AZO (Aluminum Zinc Oxide :A1 掺杂氧化锌)、TZO (Tin Zinc Oxide Sn掺杂氧化锌)。上述表面电极12可以通过例如热CVD法、溅射法、真空蒸镀法、湿式涂敷法等以往公知的方法形成，并不特别限定。在利用湿式涂敷法形成表面电极12的情况下， 能够与利用湿式涂敷法形成构成后述的复合膜14的透明导电膜14a的情况同样地进行。此外，上述SiO由于具有高的光透过性、低电阻性、可塑性并且价格低，所以，优选作为表面电极12的材料。在上述表面电极12上形成利用光进行发电的光电变换层13。该光电变换层13由非晶硅或微晶硅中的任一种或这两者构成。在该实施方式中，光电变换层13具有由非晶硅半导体形成的第一光电变换层和由微晶硅半导体形成的第二光电变换层。具体地说，第一光电变换层是从基材11侧依次层叠P型a-Si (非晶硅)、i型a-Si (非晶硅)以及η型a_Si (非晶硅)而成的p-i-n型的非晶硅层。另外，第二光电变换层是从第一光电变换层侧依次层叠P型μ C-Si (微晶硅)、i型μ C-Si (微晶硅)以及η型μ C-Si (微晶硅)而成的p_i_n 型微晶硅层。这样，光电变换层13采用了 i型a-Si (第一光电变换层)和i型μ c_Si (第二光电变换层)的串联(tandem)型太阳电池是层叠了光吸收波长不同的两种半导体的结构，能够有效利用太阳光光谱。在此，在本说明书中，“微晶”是指，不仅包括完全结晶状态，而且包括部分非结晶(amorphous)状态。此外，光电变换层能够取得由非晶硅层或微晶硅层中的任一种构成的单接合型、 或者包括多个非晶硅层或微晶硅层中的任一种或两种的多接合型中的任一种形式。另外， 也能够取得P型a-SiC =H (非晶碳化硅)/i型a-Si/n型μ c-Si这样的结构。这些并不特别限定，但是，能够通过如等离子体CVD法这样的以往公知的方法来形成。进而，当以例如上述串联型结构的例子表示时，也可以在第一光电变换层(非晶硅光电变换单元)和第二光电变换层(微晶硅光电变换单元)之间形成中间层。作为该中间层，优选使用如在表面电极 12或后述的构成复合膜14的透明导电膜14a中使用的材料。在光电变换层13上通过湿式涂敷法形成复合膜14，该复合膜14由形成在光电变换层13上的透明导电膜Ha和形成在透明导电膜Ha上的导电性反射膜14b构成。构成复合膜14的透明导电膜Ha具有抑制光电变换层13和导电性反射膜14b的彼此扩散且提高导电性反射膜14b的反射效率的效果。为了通过湿式涂敷法形成透明导电膜14a，研究了如下方法，S卩，在光电变换层上以含有透明导电性氧化物微粒子以及粘结剂成分的液体进行涂敷并对其进行烧结的方法； 首先，将透明导电性氧化物微粒子涂敷在光电变换层上，接着，用粘结剂成分对其固定后进行烧结的方法等，但是，在采用一般的球状的微粒子作为透明导电性氧化物微粒子的情况下，由于在光电变换层和透明导电膜之间存在粘结剂成分，从而产生阻碍膜在纵向上的导电等的问题。因此，当光电变换层13和透明导电膜14a的导电性恶化时，光电变换层13和透明导电膜Ha之间或者光电变换层13和导电性反射膜14b之间的接触电阻上升，发电时的太阳电池中的串联电阻上升，其结果是，妨碍太阳电池的发电效率的提高。在本发明中，为了提高透明导电膜14a的导电性，作为在透明导电膜的形成中使用的导电性氧化物微粒子，使用包含具有非球形的各向异性形状的粒子、或者多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体的任一种的导电性氧化物微粒子。该各向异性形状粒子或各向异性结构凝聚体与以往的采用球状的导电性氧化物微粒子的情况相比，能够增大粒子间的接触面积，能够提高所形成的透明导电膜的导电性。各向异性形状粒子或各向异性结构凝聚体优选是纵横比为3以上的针状或棒状。 在此，所述的纵横比是指，最长直径的边除以最短径的边时的比例。若纵横比小于3，则与使用以往的球状微粒子而形成的透明导电膜的导电性没有显著差异，并不能充分得到该效果。其中，特别优选的纵横比为3 30。另外，短径的边的长度优选为5 lOOnm。例如，在棒状氧化锡铟的制造方法中，首先，将三氯化铟水溶液(InCl3水溶液)和四氯化锡水溶液(SnCl4水溶液)混合，在该混合液中添加碳酸氢钠等碱性水溶液，将pH调整为5. 0 8. 5，优选将pH调整为6. 0 8. 0，通过在液温为5°C以上、优选液温为10 80°C 使其反应，从而生成沉淀物。沉淀物是由氢氧化铟和氢氧化锡的共沉淀现象产生的沉淀物。 接着，对所生成的沉淀物进行固液分离并回收，以100 200°C加热2 M小时进行干燥， 然后，在大气下以250°C以上、优选以400 800°C加热1 6小时来进行烧结，从而制造出短径为5 50nm、长径为30 150nm、纵横比为3以上的棒状氧化锡铟粉末。此外，粒子形状的评价方法如下进行。首先，利用SEM对粉末进行5视场以上的摄影，对于所摄影的图像中的100个以上的粒子，测量最长的边和最短的边，求取平均值，将这些分别作为长径以及短径。并且，求出该平均的长径与短径之比，作为成为对象的粉状体的纵横比。另外，在各向异性形状粒子或各向异性结构凝聚体为板状时，优选板状的粒子或凝聚体的厚度为50 1500nm，宽度厚度比为2 100。此处所说的宽度厚度比是成为片的最长长度的宽度除以厚度时的比例。若宽度厚度比小于2，则与以往的使用球状微粒子而形成的透明导电膜的导电性没有显著差异，并不能充分得到该效果。另外，若宽度厚度比超过 100，则在粒子的分散状态下产生问题。其中，优选厚度为70 200nm、宽度厚度比为5 30的鳞片形状。例如，鳞片状氧化锡的制造方法中，首先，在用氨对氯化锡水溶液进行中和而得到的凝胶体中加入盐酸，使盐酸解凝的锡胶体溶液冻结，接着，将进行冻结干燥而得到的鳞片状的含水氧化锡以350 900°C进行烧结，从而制造出厚度为1 lOOnm、宽度厚度比为2 100的鳞片状氧化锡粉末，其中，冻结干燥是指一边保持在冻结物未解冻的温度一边进行通常的真空干燥来除去溶剂。此外，在本说明书中，粒子或凝聚体的边、宽度、厚度等的值是通过SEM图像观察 (日立製作所製電子顕微鏡S800)计算或测定的值。利用SEM摄影5个视场以上，对于所摄影的图像中的100个以上的粒子，测量最长的边和最短的边。将其平均值之比作为成为对象的粉状体的纵横比。作为利用湿式涂敷法形成透明导电膜14a的方法，主要举出两种形成方法。第一方法是如下方法在光电变换层13上通过湿式涂敷法涂敷含有导电性氧化物微粒子和粘结剂成分这两者而调制成的透明导电膜用组成物，形成透明导电涂敷膜，然后进行烧结。第二方法是如下方法在光电变换层13上使用湿式涂敷法涂敷不含有粘结剂成分的导电性氧化物微粒子的分散液，形成导电性氧化物微粒子的涂敷膜，然后，使用湿式涂敷法在该导电性氧化物微粒子的涂敷膜上浸渍不含有导电性氧化物微粒子的粘结剂分散液，然后进行
紅纟口 ο第一方法中的透明导电膜用组成物是含有上述导电性氧化物微粒子并且该导电性氧化物微粒子分散在分散介质中的组成物。作为分散介质，除了水之外，能够举出甲醇、 乙醇、异丙醇、丁醇等醇类、丙酮、丁酮、环己酮、异佛乐酮等酮类、甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等碳氢化合物类、N, N- 二甲基甲酰胺、N, N- 二甲基乙酰胺等胺类、二甲亚砜等亚砜类或乙二醇等二醇类、乙二醇乙醚等乙二醇醚类等。另外，优选导电性氧化物微粒子在透明导电膜用组成物所包含的固体成分中所占的含有比例在50 90质量％的范围内。将导电性氧化物微粒子的含有比例设在上述范围内是因为，若小于下限值，则由于导电性下降，所以并不理想，若超过上限值，则由于紧贴性下降，所以并不理想。其中，特别优选在70 90质量％的范围内。透明导电膜用组成物是包括通过加热而硬化的聚合物型粘结剂或非聚合物型粘结剂中的任一种或两者的组成物。作为聚合物型粘结剂，能够举出丙烯树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚甲醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、 纤维素以及硅氧烷聚合物等。另外，作为聚合物型粘结剂，优选包括铝、硅、钛、锆、铬、锰、 铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属络化物或者金属醇盐的水解体。在该金属醇盐的水解体中含有溶胶凝胶。作为非聚合物型粘结剂，能够举出金属皂、金属络化物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、二酮以及烷基酰胺等。另外，金属皂、金属络化物或金属醇盐所含的金属为铝、硅、钛、锆、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或锑。这些聚合物型粘结剂、非聚合物型粘结剂通过加热而硬化，从而能够形成低温下的较低的浊度率(haze rate)以及体积电阻率的透明导电膜14a。对于这些粘结剂的含有比例来说，作为在透明导电膜用组成物中的固体成分中所占的比例，优选在5 50质量％的范围内，更优选在10 30质量％的范围内。优选透明导电膜用组成物根据所使用的其他成分加入偶联剂。这是为了提高导电性氧化物微粒子和粘结剂的结合性以及利用该透明导电膜用组成物形成的透明导电膜14a 与光电变换层13或导电性反射膜14b的紧贴性。作为偶联剂，可举出硅烷偶联剂、铝偶联剂以及钛偶联剂等。作为硅烷偶联剂，能够举出乙烯三乙氧基三甲氧基硅烷、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。另外，作为铝偶联剂，能够举出含有下面的式(1)表示的乙酰烷氧基的铝偶联剂。进而，作为钛偶联剂，能够举出具有下面的式 (2) (4)所示的二烷基酚亚磷酸盐基的钛偶联剂、具有下面的式(5)所示的亚磷酸二烷基酯的钛偶联剂。(化学式1)
权利要求
1.一种太阳电池用的复合膜的形成方法，在经由表面电极层叠在基材上的太阳电池的光电变换层上，利用湿式涂敷法涂敷含有导电性氧化物微粒子的分散液和含有粘结剂成分的分散液或者含有导电性氧化物微粒子与粘结剂成分这两者的透明导电膜形成用组成物，形成透明导电涂敷膜，利用湿式涂敷法在所述透明导电涂敷膜上涂敷导电性反射膜用组成物，形成导电性反射涂敷膜，之后，对具有所述透明导电涂敷膜以及导电性反射涂敷膜的基材进行烧结，由此，形成由透明导电膜和导电性反射膜构成的太阳电池用的复合膜，该方法的特征在于，所述导电性氧化物微粒子包括具有非球形的各向异性形状的粒子、或者多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体的任意一种。
2.如权利要求1所述的太阳电池用的复合膜的形成方法，其特征在于，所述各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体的纵横比为3以上。
3.如权利要求1所述的太阳电池用的复合膜的形成方法，其特征在于，在所述各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体为板状时，所述板状的粒子或者凝聚体的厚度为50 1500nm，宽度厚度比为2 100。
4.如权利要求1 3的任意一项所述的太阳电池用的复合膜的形成方法，其特征在于，所述湿式涂敷法是喷涂法、分配器涂敷法、旋涂法、刮板涂敷法、狭缝涂敷法、喷墨涂敷法、丝网印刷法、胶版印刷法或塑模涂敷法中的任意一种。
5.一种透明导电膜形成用组成物，用于通过湿式涂敷法进行涂敷并烧结来形成构成所述太阳电池用复合膜的所述透明导电膜，其中，所述组成物由不包含粘结剂成分的导电性氧化物微粒子的分散液和不包含所述导电性氧化物微粒子的所述粘结剂成分的分散液构成、或者由包含所述导电性氧化物微粒子和所述粘结剂成分这两者的分散液构成，所述导电性氧化物微粒子包括具有非球形的各向异性形状的粒子、或者多个粒子凝聚而形成的具有各向异性结构的凝聚体的任意一种。
6.如权利要求5所述的透明导电膜形成用组成物，其特征在于，所述各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体的纵横比为3以上。
7.如权利要求5所述的透明导电膜形成用组成物，其特征在于，在所述各向异性形状粒子或者各向异性结构凝聚体为板状时，所述板状的粒子或者凝聚体的厚度为50 1500nm，宽度厚度比为2 100。
8.一种太阳电池用的复合膜，其特征在于，由通过权利要求1至4中的任意一项所述的方法形成的所述透明导电膜和所述导电性反射膜构成。
9.一种太阳电池，其特征在于，具有权利要求8所述的太阳电池用的复合膜。
全文摘要
本发明提供一种太阳电池用的复合膜的形成方法及用该方法形成的复合膜。在经表面电极层叠在基材上的光电变换层上以湿式涂敷法涂敷含有导电性氧化物微粒子的分散液和含有粘结剂成分的分散液或者含有导电性氧化物微粒子和粘结剂成分这两者的透明导电膜形成用组成物，形成透明导电涂敷膜，以湿式涂敷法在该涂敷膜上涂敷导电性反射膜用组成物，形成导电性反射涂敷膜，烧结具有两涂敷膜的基材，形成由透明导电膜和导电性反射膜构成的复合膜，其中导电性氧化物微粒子包括具有非球形的各向异性形状的粒子或多个粒子凝聚形成的各向异性结构的凝聚体的任一种。
文档编号H01L31/0224GK102263158SQ20111013510
公开日2011年11月30日 申请日期2011年5月24日 优先权日2010年5月27日
发明者山崎和彦, 林年治, 白石真也, 马渡芙弓 申请人:三菱综合材料株式会社, 三菱综合材料电子化成株式会社