超直型太阳能电池用复合膜及其制造方法、以及亚直型太阳能电池用复合膜及其制造方法

专利名称：：超直型太阳能电池用复合膜及其制造方法、以及亚直型太阳能电池用复合膜及其制造方法
技术领域：
：本发明涉及具有透明导电膜和导电性反射膜这2层的复合膜及其制造方法，更详细地说，涉及适用于超直(SuperStraight)型薄膜太阳能电池或亚直(Substraight)型太阳能电池的复合膜及其制造方法。本申请针对2007年9月12日申请的日本国专利申请第2007-236546号、2008年8月8日申请的日本国专利申请第2008-205849号、2008年8月8日申请的日本国专利申请第2008-205862号、2008年8月8日申请的日本国专利申请第2008-205867号、2008年8月8日申请的日本国专利申请第2008-205870号、2008年9月2日申请的日本国专利申请第2008-224497号、2008年9月2日申请的日本国专利申请第2008-224499号、2008年9月2日申请的日本国专利申请第2008-224508号、2008年9月2日申请的日本国专利申请第2008-224513号、以及2008年9月2日申请的日本国专利申请第2008-224515号主张优先权，在这里援引其中的内容。
背景技术：
：目前，从环境保护的立场出发，清洁能源的研究开发正在向前推进。其中，太阳能电池由于其资源太阳光可无限拥有、无公害等原因而受到人们的瞩目。以往，为了利用太阳能电池进行太阳光发电，一直以来使用的都是制造出单晶硅或者多晶硅的块状结晶，将其切片加工，作为厚板状的半导体来利用的块状太阳能电池。但是，对于在块状太阳能电池中使用的上述硅结晶，结晶生长需要很多能量和时间，并且在后续的制造工序中也需要复杂的工序，因此大批量生产的效率难以提高，难以提供低价的太阳能电池。而使用了厚度为数微米以下的非晶硅等半导体的薄膜半导体太阳能电池(以下称之为薄膜太阳能电池)，则是在玻璃或不锈钢等廉价基板上，仅需形成作为光电转换层的半导体层即可。因此，这种薄膜太阳能电池，由于其薄型、重量轻、制造成本低、以及容易大面积化等原因，估计会成为今后太阳能电池的主流。薄膜太阳能电池根据其结构，有超直型和亚直型，在使得光线从透光性基板侧入射的超直型太阳能电池中，通常采用按照基板-透明电极-光电转换层-背面电极的顺序形成的结构。而在亚直型太阳能电池中，则采用按照基材-背面电极-光电转换层-透明电极的顺序形成的结构。在光电转换层由硅系材料形成的超直型太阳能电池中，有人正在研究通过采用按照透明电极、非晶硅、多晶硅、背面电极的顺序形成的结构，以提高发电效率(例如，参照非专利文献1)。在该非专利文献1所示的结构中，非晶硅或多晶硅构成光电转换层。尤其是当光电转换层由硅系材料构成时，由于光电转换层的吸光系数比较小，因此光电转换层在数微米级的膜厚下，入射光的一部分透过光电转换层，透过的光对发电没有贡献。因此，通常会将背面电极作为反射膜，或者在背面电极上形成反射膜，将吸收不了而透过光电转换层的光通过反射膜反射，使其再返回到光电转换层，从而提高发电效率。在关于薄膜太阳能电池的迄今为止的开发中，电极或反射膜都是通过溅射法等真空成膜法形成的。但是，通常来说，大型真空成膜装置的保养及运转需要很高成本，因此期待开发出一种通过将其替换为湿式成膜法从而更为廉价的制造方法。作为利用湿式成膜法形成的导电性反射膜的例子，公开了使用化学电镀法来形成在光电转换元件的背面侧形成的反射膜的技术(例如，参照专利文献1)。此外，作为更加简便的方法，正在研究将银等反射率高的金属制成纳米粒子，涂布其的方法(例如，参照专利文献2)。另外，作为在基材表面形成呈现出强烈电镀风格的金属光泽的金属涂膜的方法，可以例举涂布金属纳米粒子的方法(例如，参照专利文献3)。进而，在超直型太阳能电池中，对于采用基板-透明电极-光电转换层-透明电极_背面反射电极这一结构的超直型太阳能电池的透明电极，可以例举涂布使导电性氧化物微粒分散在分散介质中而形成的涂布液后，利用加热法进行干燥使其固化，从而形成位于基板侧的透明电极的方法(例如，参照专利文献4)。但是，上述专利文献1中所述的化学电镀法，采用了在表面侧形成电镀保护膜后，利用氢氟酸溶液对电镀处理侧进行处理，然后浸渍在化学电镀液中等工序，因此不仅工序复杂而且估计会产生废液。在上述专利文献2、3所述的涂布金属纳米粒子的方法中，从涂布在基材表面的反射膜的基材侧进行评价时的反射率(以下称之为背面反射率)，与相当于相反侧的露出面侧的反射率(以下称之为表面反射率)相比，有降低的倾向。推测这是因为在反射膜和基材之间产生了空孔，光在该空孔内部反复反射，因此导致反射率降低。此外，推测通过空孔的反射光以比临界角大的入射角向基材入射时，该反射光在空孔与基材的界面进行全反射，进行该全反射的反射光增加，因此反射率降低。另外，上述专利文献2、3所述的涂布金属纳米粒子的方法，是利用涂布模具仅对导电性反射膜进行，而不是利用涂布模具形成导电性反射膜及透明导电膜这两者。在上述专利文献4中，仅仅是位于超直型太阳能电池中的基材侧的透明导电膜采用湿式成膜法，对于位于背面反射电极侧的透明导电膜，使用以往一直都采用的真空方法，即溅射法来形成。非专利文献1柳田祥三等著，《薄膜太阳能电池的开发最前线_向着高效率化、量产化、促进普及迈进》(薄膜太陽電池O開発最前線高効率化·量産化·普及促進1二向汁工)，株式会社NTS，2005年3月，第113页图1(a)专利文献1特开平05-95127号公报(权利要求0015段)专利文献2特开平09-246577号公报(0035段)专利文献3特开2000-239853号公报(权利要求3，0009段)专利文献4特开平10-12059号公报(0028段，0029段)
发明内容本发明的第1目的在于提供在不降低背面反射率的情况下，具有采用湿式涂布法形成的透明导电膜及导电性反射膜的超直型薄膜太阳能电池用复合膜。本发明的第2目的在于提供具有高反射率、并且具有采用湿式涂布法形成的透明导电膜及导电性反射膜的亚直型太阳能电池用复合膜。本发明的第3目的在于提供尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，利用湿式涂布法，从而能够更为廉价地制造超直型太阳能电池用复合膜或亚直型太阳能电池用复合膜的方法。本发明第1方式的超直型薄膜太阳能电池用复合膜，具有在超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜和、在透明导电膜上形成的导电性反射膜这2层，透明导电膜通过利用湿式涂布法涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成，导电性反射膜通过利用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成，出现在导电性反射膜的基材侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。在本发明第1方式的超直型薄膜太阳能电池用复合膜中，透明导电膜用组合物可以含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或非聚合物型粘合剂中的任一或两者。透明导电膜用组合物中所包含的聚合物型粘合剂，可以是从丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物中选出的1种或2种以上。透明导电膜用组合物中所包含的聚合物型粘合剂，可以含有1种或者2种以上的铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。透明导电膜用组合物中所包含的非聚合物型粘合剂，可以是从金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯中选出的1种或2种以上。作为非聚合物型粘合剂的金属皂、金属配位化合物或金属醇盐所包含的金属可以是铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或锑。透明导电膜用组合物可以包含从硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂中选出的1种或2种以上。导电性反射膜可以包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。导电性反射膜的膜中所包含的金属元素中的银的比例可以是75质量％以上。导电性反射膜的厚度可以为0.05-2.0μm的范围内。关于导电性反射膜的膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围内的粒子，按照数均计可以是70%以上。导电性反射膜用组合物含有75质量％以上的银纳米粒子作为金属纳米粒子，金属纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性，金属纳米粒子按照数均计，可以含有70%以上一次粒径在IO-IOOnm范围内的金属纳米粒子。导电性反射膜用组合物可以含有如下金属纳米粒子0.02质量％以上且不到25质量％，该金属纳米粒子包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成。导电性反射膜用组合物可以含有1质量％以上的水和2质量％以上的醇类作为分散介质。导电性反射膜用组合物可以含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的1种或2种以上的添加物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机高分子，可以是从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氢氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机金属化合物，可以是从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼及锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。本发明第1方式的超直型薄膜太阳能电池用复合膜的制造方法，通过湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上，涂布透明导电膜用组合物，从而形成透明导电涂膜，通过湿式涂布法，在透明导电涂膜上涂布导电性反射膜用组合物，从而形成导电性反射涂膜后，通过在130-400°c下烧结具有透明导电涂膜及导电性反射涂膜的基材，形成包含具有0.03-0.5μm厚度的第2透明导电膜、和具有0.05-2.0μm厚度的导电性反射膜的2层。在本发明第1方式的超直型薄膜太阳能电池用复合膜的制造方法中，湿式涂布法可以是喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。本发明第2方式的超直型太阳能电池用复合膜，具有在超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜和、在透明导电膜上形成的导电性反射膜，透明导电膜通过利用湿式涂布法，在光电转换层上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，在导电性氧化物微粒的涂膜上利用湿式涂布法使粘合剂分散液浸渍、烧结，由此而形成，透明导电膜在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下，具有0.01-0.5μπι的厚度，导电性反射膜通过利用湿式涂布法，将包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物涂布于透明导电膜上、进行烧结而形成，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，出现在导电性反射膜的光电转换层侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μπ以下。在本发明第2方式的超直型太阳能电池用复合膜中，粘合剂分散液可以含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者。粘合剂分散液中所包含的聚合物型粘合剂，可以是从丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物中选出的1种或2种以上。粘合剂分散液中所包含的聚合物型粘合剂，可以含有1种或者2种以上的铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。粘合剂分散液中所包含的非聚合物型粘合剂，可以是从烷氧基硅烷、卤代硅烷类、2_烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯中选出的1种或2种以上。导电性氧化物微粒的分散液可以包含从硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂中选出的1种或2种以上。导电性反射膜可以包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。导电性反射膜的膜中所包含的金属元素中的银的比例可以是75质量％以上。导电性反射膜的厚度可以为0.05-2.0μm的范围内。关于导电性反射膜的膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围内的粒子，按照数均计可以是70%以上。导电性反射膜由导电性反射膜用组合物形成，所述导电性反射膜用组合物含有75质量％以上的银纳米粒子作为金属纳米粒子，金属纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性，金属纳米粒子按照数均计，可以含有70%以上一次粒径在IO-IOOnm范围内的金属纳米粒子。导电性反射膜可以由含有如下金属纳米粒子0.02质量％以上且不到25质量％的导电性反射膜用组合物形成，该金属纳米粒子包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成。导电性反射膜可以由含有1质量％以上的水和2质量％以上的醇类作为分散介质的导电性反射膜用组合物形成。导电性反射膜可以由含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的1种或2种以上的添加物的导电性反射膜用组合物形成。导电性反射膜用组合物中所包含的有机高分子，可以是从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氢氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机金属化合物，可以是从硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼及锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。本发明第2方式的超直型太阳能电池用复合膜的制造方法，通过湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型太阳能电池的光电转换层上，涂布导电性氧化物微粒的分散液和粘合剂分散液，形成透明导电涂膜，通过湿式涂布法，在透明导电涂膜上涂布导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜后，通过在130-400°C下烧结具有透明导电涂膜及导电性反射涂膜的基材，形成具有第2透明导电膜和导电性反射膜的复合膜，其中第2透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，透明导电涂膜通过涂布导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜之后，通过湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍而形成，第2透明导电膜具有烧结导电性氧化物微粒的涂膜而成的导电性氧化物微粒层、以及对被覆导电性氧化物微粒层整个表面的上述粘合剂分散液的涂膜进行烧结而成的粘合剂层。在本发明第2方式的超直型太阳能电池用复合膜的制造方法中，湿式涂布法可以是喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。本发明第3方式的亚直型太阳能电池用复合膜是具有如下特征的亚直型太阳能电池用复合膜，其具有在基材上形成的导电性反射膜和、在所述导电性反射膜上形成的透明导电膜这2层，导电性反射膜，通过利用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成，透明导电膜通过利用湿式涂布法涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成，出现在导电性反射膜的透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。在本发明第3方式的亚直型太阳能电池用复合膜中，透明导电膜用组合物可以含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者。透明导电膜用组合物中所包含的聚合物型粘合剂，可以是从丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物中选出的1种或2种以上。透明导电膜用组合物中所包含的聚合物型粘合剂，可以含有1种或者2种以上的铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。透明导电膜用组合物中所包含的非聚合物型粘合剂，可以是从金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯中选出的1种或2种以上。作为非聚合物型粘合剂的金属皂、金属配位化合物或金属醇盐所包含的金属可以是铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或锑。透明导电膜用组合物可以包含从硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂中选出的1种或2种以上。导电性反射膜可以包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。导电性反射膜的膜中所包含的金属元素中的银的比例可以是75质量％以上。导电性反射膜的厚度可以为0.05-2.0μm的范围内。关于导电性反射膜的膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围内的粒子，按照数均计可以是70%以上。导电性反射膜用组合物含有75质量％以上的银纳米粒子作为金属纳米粒子，金属纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性，金属纳米粒子按照数均计，可以含有70%以上一次粒径在IO-IOOnm范围内的金属纳米粒子。导电性反射膜用组合物可以含有如下金属纳米粒子0.02质量％以上且不到25质量％，该金属纳米粒子包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成。导电性反射膜用组合物可以含有1质量％以上的水和2质量％以上的醇类作为分散介质。导电性反射膜用组合物可以含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的1种或2种以上的添加物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机高分子，可以是从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氢氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机金属化合物，可以是从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼及锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。本发明第3方式的亚直型太阳能电池用复合膜的制造方法，通过湿式涂布法，在基材上涂布导电性反射膜用组合物，从而形成导电性反射涂膜后，在130-400°C下烧结具有导电性反射涂膜的基材，形成导电性反射膜，利用湿式涂布法在导电性反射膜上涂布透明导电膜用组合物，形成透明导电涂膜后，在130-400°C下烧结具有透明导电涂膜的基材，形成透明导电膜，由此形成包含导电性反射膜和透明导电膜的2层，其中导电性反射膜具有0.05-2.Oym的厚度，透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度。在本发明第3方式的亚直型太阳能电池用复合膜的制造方法中，湿式涂布法可以是喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。本发明第4方式的亚直型太阳能电池用复合膜具有在基材上形成的导电性反射膜和、在导电性反射膜上形成的透明导电膜，导电性反射膜通过利用湿式涂布法，在基材上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物形成导电性反射涂膜，烧结导电性反射涂膜而形成，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，透明导电膜通过利用湿式涂布法在导电性反射涂膜上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，利用湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结而形成，透明导电膜在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下，具有0.01-0.5μπι的厚度，出现在导电性反射膜的透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。在本发明第4方式的亚直型太阳能电池用复合膜中，粘合剂分散液可以含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者。粘合剂分散液中所包含的聚合物型粘合剂，可以是从丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物中选出的1种或2种以上。粘合剂分散液中所包含的聚合物型粘合剂，可以含有1种或者2种以上的铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。粘合剂分散液中所包含的非聚合物型粘合剂，可以是从烷氧基硅烷、卤代硅烷类、2_烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯中选出的1种或2种以上。导电性氧化物微粒的分散液可以包含从硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂中选出的1种或2种以上。导电性反射膜可以包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。导电性反射膜的膜中所包含的金属元素中的银的比例可以是75质量％以上。导电性反射膜的厚度可以为0.05-2.0μm的范围内。关于导电性反射膜的膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围内的粒子，按照数均计可以是70%以上。导电性反射膜由导电性反射膜用组合物形成，所述导电性反射膜用组合物含有75质量％以上的银纳米粒子作为金属纳米粒子，金属纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性，金属纳米粒子按照数均计，可以含有70%以上一次粒径在IO-IOOnm范围内的金属纳米粒子。导电性反射膜可以由含有如下金属纳米粒子0.02质量％以上且不到25质量％的导电性反射膜用组合物形成，该金属纳米粒子包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成。导电性反射膜可以由含有1质量％以上的水和2质量％以上的醇类作为分散介质的导电性反射膜用组合物形成。导电性反射膜可以由含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的1种或2种以上的添加物的导电性反射膜用组合物形成。导电性反射膜用组合物中所包含的有机高分子，可以是从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氢氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机金属化合物，可以是从硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼及锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。本发明第4方式的亚直型太阳能电池用复合膜的制造方法，通过湿式涂布法，在基材上涂布导电性反射膜用组合物形成导电性反射涂膜后，在130-400°C下烧结具有导电性反射涂膜的基材，形成导电性反射膜，通过湿式涂布法，在导电性反射涂膜上涂布导电性氧化物微粒的分散液和粘合剂分散液，形成透明导电涂膜后，在130-400°C下烧结具有透明导电涂膜的基材，形成透明导电膜，由此制造具有透明导电膜和导电性反射膜的复合膜，其中透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，透明导电涂膜通过涂布导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜之后，通过湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍而形成，透明导电膜具有烧结导电性氧化物微粒的涂膜而成的导电性氧化物微粒层、以及对被覆导电性氧化物微粒层的整个表面的粘合剂分散液的涂膜进行烧结而成的粘合剂层。在本发明第4方式的亚直型太阳能电池用复合膜的制造方法中，湿式涂布法可以是喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。本发明第5方式的超直型太阳能电池用复合膜，具有在超直型太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜和、在透明导电膜上形成的导电性反射膜，透明导电膜通过利用湿式涂布法在光电转换层上涂布导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜，利用湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结而形成，透明导电膜具有光电转换层上的包含粘合剂成分的第1层、以及该第1层的体积的1-30%从所述第1层露出的不包含粘合剂成分的第2层，导电性反射膜通过利用湿式涂布法在透明导电膜上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物、进行烧结而形成，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，出现在导电性反射膜的光电转换层侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。在本发明第5方式的超直型太阳能电池用复合膜中，粘合剂分散液可以含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者。粘合剂分散液中所包含的聚合物型粘合剂，可以是从丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物中选出的1种或2种以上。粘合剂分散液中所包含的聚合物型粘合剂，可以含有1种或者2种以上的铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。粘合剂分散液中所包含的非聚合物型粘合剂，可以是从烷氧基硅烷、卤代硅烷类、2_烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯中选出的1种或2种以上。导电性氧化物微粒的分散液可以包含从硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂中选出的1种或2种以上。导电性反射膜可以包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。导电性反射膜的膜中所包含的金属元素中的银的比例可以是75质量％以上。导电性反射膜的厚度可以为0.05-2.Oym的范围内。关于导电性反射膜的膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围内的粒子，按照数均计可以是70%以上。导电性反射膜由导电性反射膜用组合物形成，所述导电性反射膜用组合物含有75质量％以上的银纳米粒子作为金属纳米粒子，金属纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性，金属纳米粒子按照数均计，可以含有70%以上一次粒径在IO-IOOnm范围内的金属纳米粒子。导电性反射膜可以由含有如下金属纳米粒子0.02质量％以上且不到25质量％的导电性反射膜用组合物形成，该金属纳米粒子包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成。导电性反射膜可以由含有1质量％以上的水和2质量％以上的醇类作为分散介质的导电性反射膜用组合物形成。导电性反射膜可以由含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的1种或2种以上的添加物的导电性反射膜用组合物形成。导电性反射膜用组合物中所包含的有机高分子，可以是从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的金属氢氧化物，可以是含有从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。导电性反射膜用组合物中所包含的有机金属化合物，可以是从硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼及锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。本发明第5方式的超直型太阳能电池用复合膜的制造方法，利用湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型太阳能电池的光电转换层上，涂布导电性氧化物微粒的分散液和粘合剂分散液，形成透明导电涂膜，通过湿式涂布法，在透明导电涂膜上涂布导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜后，通过在130-400°c下烧结具有透明导电涂膜及导电性反射涂膜的基材，形成具有第2透明导电膜和导电性反射膜的复合膜，其中第2透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，透明导电膜通过涂布导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜之后，通过湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍而形成，第2透明导电膜具有光电转换层上的包含粘合剂成分的第1层、以及该第1层的体积的1-30%从第1层露出的不包含粘合剂成分的第2层。在本发明第5方式的超直型太阳能电池用复合膜的制造方法中，湿式涂布法可以是喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。根据本发明第1方式的超直型薄膜太阳能电池用复合膜，其具有在超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜和在透明导电膜上形成的导电性反射膜这2层，透明导电膜通过利用湿式涂布法，涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成，导电性反射膜通过利用湿式涂布法，涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成。因此，与利用溅射法等真空蒸镀法形成的透明导电膜相比，形成低折射率的透明导电膜，由此在导电性反射膜上产生增反射效果，能够得到充分的反射率。另外，出现在导电性反射膜的基材侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。因此，在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，能够实现理论反射率的80%以上的高扩散反射率。此外，由于尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，而是利用湿式涂布法，因此能够廉价地制造复合膜。根据本发明第2方式的超直型太阳能电池用复合膜，其具有在超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜和在所述透明导电膜上形成的导电性反射膜，透明导电膜通过利用湿式涂布法，在光电转换层上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，在导电性氧化物微粒的涂膜上利用湿式涂布法使粘合剂分散液浸渍、烧结而形成，透明导电膜在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下，具有0.01-0.5μm的厚度。因此，在导电性反射膜上产生增反射效果，能够得到充分的反射率。另外，出现在导电性反射膜的光电转换层侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。因此，在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，能够实现理论反射率的80%以上的高扩散反射率。进一步，由于尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，而是利用湿式涂布法，因此能够廉价地制造复合膜。根据本发明第3方式的亚直型太阳能电池用复合膜，其具有在基材上形成的导电性反射膜和、在导电性反射膜上形成的透明导电膜这2层，导电性反射膜通过利用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成，透明导电膜通过利用湿式涂布法涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成。因此，与利用溅射法等真空蒸镀法形成的透明导电膜相比，形成低折射率的透明导电膜，因而在导电性反射膜上产生增反射效果，能够得到充分的反射率。另外，出现在导电性反射膜的透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。因此，在波长500-1200nm的范围内，能够实现理论反射率的80%以上的高扩散反射率。此外，由于尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，而是利用湿式涂布法，因此能够廉价地制造复合膜。根据本发明第4方式的亚直型太阳能电池用复合膜，其具有在基材上形成的导电性反射膜和、在导电性反射膜上形成的透明导电膜，导电性反射膜通过利用湿式涂布法，在基材上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物形成导电性反射涂膜，烧结导电性反射涂膜而形成，导电性反射膜具有0.05-2.Oym的厚度，透明导电膜通过利用湿式涂布法在导电性反射涂膜上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，利用湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结而形成，透明导电膜在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下，具有0.01-0.5μm的厚度。因此，在导电性反射膜上产生增反射效果，能够得到充分的反射率。另外，出现在导电性反射膜的透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。因此，在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，能够实现理论反射率的80%以上的高扩散反射率。进一步，由于尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，而是利用湿式涂布法，因此能够廉价地制造复合膜。根据本发明第5方式的超直型太阳能电池用复合膜，其具有在超直型太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜和、在透明导电膜上形成的导电性反射膜，透明导电膜通过利用湿式涂布法在光电转换层上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，利用湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结而形成，透明导电膜具有光电变换层上的包含粘合剂成分的第1层、以及该第1层的体积的1-30%从所述第1层露出的不包含粘合剂成分的第2层。因此，在导电性反射膜上产生增反射效果，能够得到充分的反射率。另外，出现在导电性反射膜的光电转换层侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/ym2以下。因此，在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，能够实现理论反射率的80%以上的高扩散反射率。进一步，由于尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，而是利用湿式涂布法，因此能够廉价地制造复合膜。图1是本发明实施方式1的超直型薄膜太阳能电池用复合膜的剖面的示意图。图2是本发明实施方式2的超直型太阳能电池用复合膜的剖面的示意图。图3是本发明实施方式2的超直型太阳能电池用复合膜的烧结前剖面的示意图。图4是本发明实施方式3的亚直型太阳能电池用复合膜的剖面的示意图。图5是本发明实施方式4的亚直型太阳能电池用复合膜的剖面的示意图。图6是在制造本发明实施方式4的亚直型太阳能电池用复合膜时所形成的透明导电涂膜的剖面的示意图。图7是本发明实施方式5的超直型太阳能电池用复合膜的剖面的示意图。图8是本发明实施方式5的超直型太阳能电池用复合膜的烧结前剖面的示意图。图9是在实施例E1-E37以及比较例El、E2中形成的薄膜太阳能电池的剖面的示意图。图10是在实施例E1-E37以及比较例E1、E2中形成的薄膜太阳能电池的俯视示意图。附图标记的说明111复合膜，Illa导电性反射膜，Illb第2透明导电膜，112光电转换层，114基材，213光电转换层，214第2透明导电膜，214a导电性氧化物微粒层，214b粘合剂层，215导电性反射膜，311基材，312复合膜，312a导电性反射膜，312b第2透明导电膜，313光电转换层，314第1透明导电膜，411基材，412导电性反射膜，413第2透明导电膜，413a导电性氧化物微粒层，413b粘合剂层，513光电转换层，514第2透明导电膜，514a导电性氧化物微粒层的第1层(第1粒子层)，514b导电性氧化物微粒层的第2层(第2粒子层)，515导电性反射膜。具体实施例方式以下，根据附图，对实施本发明的最佳方式进行说明。(实施方式1)超直型薄膜太阳能电池通常如图1所示，具有在基材114上按照第1透明导电膜(光的入射侧的透明导电膜)113、光电转换层112的顺序叠层而成的层上，进一步形成第2透明导电膜111b，在该第2透明导电膜Illb上形成导电性反射膜Illa的结构。本发明实施方式1涉及包括在光电转换层112上形成的第2透明导电膜111b、以及在该第2透明导电膜Illb上形成的导电性反射膜Illa这2层的超直型薄膜太阳能电池用复合膜111。在本发明实施方式1的复合膜111中，第2透明导电膜Illb是利用湿式涂布法涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成的。当第2透明导电膜Illb通过溅射法等真空成膜法形成时，该第2透明导电膜的膜的折射率，将由靶材料的材质所决定，因此，利用溅射法等真空成膜法形成的第2透明导电膜，难以得到期望的折射率。而利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜111b，由于是通过涂布作为导电性氧化物微粒与其他成分的混合物的透明导电膜用组合物而形成的，因此利用湿式涂布法形成的膜，能够得到期望的低折射率。该第2透明导电膜Illb所具有的折射率为1.5-2。具有低折射率的第2透明导电膜111b，对接合的导电性反射膜Illa赋予光学设计上的增反射效果，因此，与和以往的利用溅射法等真空成膜法形成的高折射率的第2透明导电膜接合的导电性反射膜相比，能够得到高反射率。另外，在本发明实施方式1的复合膜111中，导电性反射膜Illa通过在上述利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜Illb上，采用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成。因此，形成的导电性反射膜Illa能够得到良好的成膜性和高扩散反射率。在玻璃等基材上成膜时，即便是利用溅射法等真空蒸镀法成膜时，也能得到良好的成膜性和高扩散反射率，但是，在利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜Illb上，利用溅射法等真空蒸镀法成膜的话，在第2透明导电膜Illb中残留的溶剂会对成膜得到的导电性反射膜造成不良影响，因此难以成膜成具有高反射率的导电性反射膜。这样，在本发明实施方式1的复合膜111中，通过具有低折射率的第2透明导电膜Illb所赋予的光学设计上的增反射效果、以及导电性反射膜Illa所具有的良好成膜性及高扩散反射率，能够得到高反射率。进一步，由于出现在导电性反射膜Illa的基材114侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下，因此在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，成为可达到理论反射率80%以上的高扩散反射率的导电性反射膜111a。该波长范围500-1200nm，大致囊括了所有将多晶硅作为光电转换层时的可转换波长。之所以将气孔的平均直径设定为IOOnm以下，是因为虽然通常来说反射光谱会显示出在长波长侧反射率高、在短波长侧反射率低，但是气孔的平均直径超过IOOnm的话，反射率开始降低的拐点会更向长波长侧偏移，因此不能得到良好的反射率。此外，之所以将气孔的平均深度设定为IOOnm以下，是因为如果气孔的平均深度超过IOOnm的话，反射光谱的坡度(倾斜度)就会变大，不能得到良好的反射率。之所以将气孔的数密度设定为30个/μm2以下，是因为如果气孔的数密度超过30个/μm2的话，长波长侧的反射率降低，不能得到良好的反射率。气孔的平均直径优选为5nm-100nm，气孔所处的平均深度优选为5nm-100nm，气孔的数密度优选为2-30个/μm2以下。气孔的平均直径、气孔所处的平均深度以及气孔的数密度不到上述下限值的情况下，在烧结时，对银纳米粒子进行化学改性的保护剂的有机分子分解而生成的气体的消除变得不充分，结果，由于残留的有机分子的残渣，导致可能出现导电性反射膜的导电性及反射率降低，因而不优选。另外，构成复合膜的导电性反射膜，由于包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质，因此能够容易地使出现在导电性反射膜的第2透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，平均深度为IOOnm以下，并且使数密度为30个/μm2以下。此外，在构成该复合膜的导电性反射膜中，由于膜中所包含的金属元素中的银的比例为75质量％以上，因此能够得到高反射率。如果不到75质量％的话，使用该组合物形成的导电性反射膜的反射率存在降低的倾向。另夕卜，由于构成复合膜的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0μm,因此能够得到太阳能电池所必需的电极的表面电阻值。进一步，关于构成复合膜的导电性反射膜在膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围的粒子，按照数均计为70%以上，因此能够得到良好的导电性及高反射率。在本发明实施方式1的第2透明导电膜的形成中所使用的透明导电膜用组合物，包含导电性氧化物微粒，是该导电性氧化物微粒分散到分散介质中而成的组合物。作为在透明导电膜用组合物中所包含的导电性氧化物微粒，优选ITO(IndiumTinOxide铟锡氧化物)、AT0(AntimonyTinOxide掺锑氧化锡)的氧化锡粉末、或含有从Al、Co、Fe、In、Sn及Ti中选出的1种或者2种以上金属的氧化锌粉末等，其中，尤其优选ΙΤ0、ΑΤΟ、AZO(AluminumZincOxide掺铝氧化锌)、IZO(IndiumZincOxide掺铟氧化锌)、TZO(TinZincOxide掺锡氧化锌)。另外，导电性氧化物微粒在透明导电膜用组合物所包含的固形成分中所占的含量比例，优选在50-90质量％的范围内。之所以将导电性氧化物微粒的含量比例设定在上述范围内，是因为如果不到下限值的话，导电性会降低，因而不优选，而如果超过上限值的话，密合性会降低，因此也不优选。其中，尤其优选在70-90质量％的范围内。另外，导电性氧化物微粒的平均粒径，为了在分散介质中保持稳定性，优选在IO-IOOnm的范围内，其中尤其优选在20-60nm的范围内。透明导电膜用组合物为包含通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者的组合物。作为聚合物型粘合剂，可以举出丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物等。另外，在聚合物型粘合剂中，优选包含铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。作为非聚合物型粘合剂，可以举出金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯等。另外，金属皂、金属配位化合物或金属醇盐中所包含的金属是铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或者锑。这些聚合物型粘合剂、非聚合物型粘合剂通过加热固化，能够形成在低温下具有低浊度率及体积电阻率的第2透明导电膜。这些粘合剂的含量比例，作为在透明导电膜用组合物中的固形成分中所占的比例，优选在5-50质量％的范围内，尤其优选在10-30质量％的范围内。透明导电膜用组合物，优选根据使用的其他成分加入偶合剂。这是为了提高导电性微粒与粘合剂之间的结合性、以及提高由该透明导电膜用组合物形成的第2透明导电膜与叠层在基材上的层或者导电性反射膜之间的密合性。作为偶合剂，可以举出硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂等。作为硅烷偶合剂，可举出乙烯基三乙氧基硅烷(Ii二义卜U工卜***，>)、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。作为铝偶合剂，可举出下述式(1)所示的含有乙酰烷氧基的铝偶合剂。另外，作为钛偶合剂，可举出下述式(2)-(4)所示的具有焦磷酸二烷基酯基(77·>>A4口*777·4卜基)的钛偶合剂、以及下述式(5)所示的具有磷酸二烷基酯基的钛偶合剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>—-(1)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>--------(2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>.........(3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>.........(4)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>---------(5)偶合剂的含量比例，作为在透明导电膜用组合物中所占的固形成分的比例，优选在0.2-5质量％的范围内，其中尤其优选在0.5-2质量％的范围内。构成透明导电膜用组合物的分散介质，除了水之外，还可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等醇类；丙酮、甲基乙基酮、环己酮、异佛尔酮等酮类；甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等烃类；N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类；二甲基亚砜等亚砜类或乙二醇等二醇类；乙基溶纤剂等二醇醚类等。为了得到良好的成膜性，分散介质的含有比例优选在80-99质量％的范围内。另外，根据使用的成分，优选加入低电阻化剂或水溶性纤维素衍生物等。作为低电阻化剂，优选从钴、铁、铟、镍、铅、锡、钛及锌的无机酸盐以及有机酸盐中选出的1种或2种以上。例如，可以举出乙酸镍与氯化铁的混合物、环烷酸锌、辛酸锡和氯化锑的混合物、硝酸铟和乙酸铅的混合物、乙酰乙酸钛和辛酸钴的混合物等。这些低电阻化剂的含有比例，优选相对于导电性氧化物粉末为0.2-15质量％。水溶性纤维素衍生物虽然是非离子化活性剂，但是与其他表面活性剂相比，即便是少量添加，其使导电性氧化物粉末分散的能力也非常高，并且，通过添加水溶性纤维素衍生物，形成的第2透明导电膜的透明性也得到提高。作为水溶性纤维素衍生物，可举出羟丙基纤维素、羟丙基甲基纤维素等。水溶性纤维素衍生物的添加量，优选在0.2-5质量％的范围内。本发明实施方式1的导电性反射膜的形成中所使用的导电性反射膜用组合物，是金属纳米粒子分散在分散介质中而成的组合物。上述金属纳米粒子含有75质量％以上的银纳米粒子，优选含有80质量％以上的银纳米粒子。之所以将银纳米粒子的含量限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为75质量％以上的范围，是因为如果不到75质量％的话，利用该组合物形成的导电性反射膜的反射率会降低。另外，银纳米粒子，被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性。之所以将化学改性金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数限定为1-3的范围，是因为当碳原子数为4以上时，保护剂难以被烧结时的热消除或分解(分离、燃烧)，在上述膜内残留有很多有机残渣，从而会变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低。银纳米粒子按数均计，含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，优选75%以上。一次粒径在10-50nm范围内的金属纳米粒子的含量，之所以设定为按数均计，相对于全部金属纳米粒子100%为70%以上的范围，是因为如果不到70%的话，金属纳米粒子的比表面积增大，有机物所占的比例变大，即便是通过烧结时的热容易消除或者分解(分离、燃烧)的有机分子，该有机分子所占的比例多，因此膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，从而导致导电性反射膜的导电性及反射率降低，或者金属纳米粒子的粒度分布变宽而导电性反射膜的密度变得容易降低，引起导电性反射膜的导电性及反射率降低。进一步，之所以将上述金属纳米粒子的一次粒径限定在10-50nm的范围内，是因为按照统计学的方法，一次粒径处于10-50nm范围内的金属纳米粒子与经时稳定性(经年稳定性)相关的缘故。另一方面，银纳米粒子以外的金属纳米粒子，是包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成的金属纳米粒子，该银纳米粒子以外的金属纳米粒子，相对于全部金属纳米粒子100质量％，含有0.02质量％以上且不到25质量％，优选含有0.03质量％-20质量％。银纳米粒子以外的金属纳米粒子的含量，之所以限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为0.02质量％以上且不到25质量％的范围，是因为不到0.02质量％的话，虽然没有特别大的问题，但是在0.02-25质量％范围内时，具有耐候性试验(在温度100°C且湿度50%的恒温恒湿槽内保持1000小时的试验)后的导电性反射膜的导电性及反射率，与耐候性试验前相比不会恶化的特征，而在25质量％以上时，刚烧结之后的导电性反射膜的导电性及反射率降低，并且耐候性试验后的导电性反射膜，与耐候性试验前的导电性反射膜相比，导电性及反射率均降低的缘故。本发明实施方式1的导电性反射膜的形成中所使用的导电性反射膜用组合物，含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油选出的1种或2种以上的添加物。由于作为添加物包含在组合物中的金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物或硅油，与第2透明导电膜之间的化学性结合或者锚固效果增大、或者使烧结工序中的金属纳米粒子与第2透明导电膜之间的润湿性得以改善，从而能够在不损害导电性的情况下，提高与第2透明导电膜的密合性。使用不包含上述金属氧化物等的组合物形成导电性反射膜的话，形成的导电性反射膜的表面粗糙度虽然变大，但是对于导电性反射膜表面的凹凸形状存在使光电转换效率最佳的条件，仅仅是表面粗糙度大的话，不能形成光电转换效率优异的导电性反射膜表面。而像本发明实施方式1的组合物那样，通过调整金属氧化物等的种类、浓度等，能够形成具有最佳表面粗糙度的表面。添加物的含量，为构成金属纳米粒子的银纳米粒子的质量的0.1_20%，优选为0.2-10%。添加物的含量不到0.的话，有可能出现平均直径大的气孔，或气孔的密度变高。添加物的含量超过20%的话，会对形成的导电性反射膜的导电性造成不良影响，导致出现体积电阻率超出2Χ10_5Ω·cm的不良情况。作为添加物使用的有机高分子，可以使用从聚乙烯吡咯烷酮(Polyvinylpyrrolidone；以下称之为PVP)、PVP的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。具体来说，作为PVP的共聚物，可举出PVP-甲基丙烯酸酯共聚物、PVP-苯乙烯共聚物、PVP-乙酸乙烯共聚物等。另外，作为水溶性纤维素，可举出羟丙基甲基纤维素、甲基纤维素、羟乙基甲基纤维素等纤维素醚。作为添加物使用的金属氧化物，可以举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。复合氧化物具体为ΙΤ0、ΑΤΟ、IZO等。作为添加物使用的金属氢氧化物，可举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。作为添加物使用的有机金属化合物，可以举出从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼和锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。例如，金属皂可举出乙酸铬、甲酸锰、柠檬酸铁、甲酸钴、乙酸镍、柠檬酸银、乙酸铜、柠檬酸铜、乙酸锡、乙酸锌、草酸锌、乙酸钼等。另外，金属配位化合物，可以举出乙酰丙酮锌配位化合物、乙酰丙酮铬配位化合物、乙酰丙酮镍配位化合物等。另外，金属醇盐可以举出异丙醇钛、硅酸甲酯、、y7“丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷等。作为添加物使用的硅油，可以采用直链硅油及改性硅油两者。改性硅油，可以使用还在聚硅氧烷的侧链的一部分导入了有机基团的物质(侧链型)、在聚硅氧烷的两末端导入了有机基团的物质(两末端型)、在聚硅氧烷的两末端中的任一个中导入了有机基团的物质(单末端型)、以及在聚硅氧烷的侧链的一部分和两末端导入了有机基团的物质(侧链两末端型)。改性硅油有反应性硅油和非反应性硅油，但是这两种均可以作为本发明实施方式1的添加物来使用。此外，所谓反应性硅油，显示出氨基改性、环氧基改性、羧基改性、甲醇改性、巯基改性、以及异种官能基改性(环氧基、氨基、聚醚基)，所谓非反应性硅油，显示出聚醚改性、甲基苯乙烯基改性、烷基改性、高级脂肪酸酯改性、氟改性、以及亲水特殊改性。构成导电性反射膜用组合物的分散介质，优选包含醇类、或者含醇类水溶液。作为分散介质使用的醇类，可以举出从甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、甘油、异冰片己醇及赤藓醇选出的1种或2种以上。含醇水溶液，相对于全部分散介质100质量％，含有1质量％以上、优选为2质量％以上的水、以及2质量％以上、优选为3质量％以上的醇类。例如，当分散介质仅由水和醇类构成的情况下，含有的水为2质量％时，就含有醇类98质量％，当醇类含有2质量％时，水就含有98质量％。水的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为1质量％以上的范围，是因为如果不到1质量％的话，通过湿式涂布法涂布导电性反射膜用组合物得到的膜在低温下难以烧结，并且烧结后的膜的导电性和反射率降低；醇类的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为2质量％以上的范围，是因为如果不到2质量％的话，和上述一样，利用湿式涂布法涂布组合物得到的膜在低温下难以烧结，而且烧结后的电极的导电性和反射率会降低。进一步，分散介质，即对金属纳米粒子表面进行化学改性的保护分子，优选含有羟基(-0H)或羰基(-C=0)中的任一或两者。在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羟基(-0H)的话，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用，在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羰基(-C=0)的话，和上述一样，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用。制造使用的导电性反射膜用组合物的方法如下所述。(a)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时首先，将硝酸银溶解到去离子水等水中，制备金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水等水中，在得到的浓度为10-40%的柠檬酸钠水溶液中，在氮气等惰性气体的气流中直接加入粒状或粉状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在上述惰性气体气流中边搅拌上述还原剂水溶液，边在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。其中，优选使金属盐水溶液的添加量为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过对各溶液的浓度进行调整，即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也保持在30-60°C。另外，上述两水溶液的混合比，调制成作为还原剂加入的亚铁离子的当量为金属离子的当量的3倍，也即满足(金属盐水溶液中的金属离子的摩尔数)X(金属离子的价数)=3X(还原剂水溶液中的亚铁离子)这一关系式。金属盐水溶液的滴加结束后，进一步持续搅拌混合液10-300分钟，配制包含金属胶体的分散液。将该分散液在室温下放置，利用倾析或离心分离法等将沉降的金属纳米离子的凝集物分离之后，在该分离物中加入去离子水等水制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而继续利用醇类进行置换洗涤，使金属(银)的含量为2.5-50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力分离粗粒子，由此配制成银纳米粒子按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，即配制成按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为70%以上。这样，获得化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。接着，对得到的分散体进行调整，使最终的金属含量(银含量)相对于分散体100质量％为2.5-95质量％的范围。另外，分散介质为含醇类水溶液时，优选将溶剂的水及醇类分别调整为以上及2%以上。此外，组合物中进一步含有添加物的话，通过在分散体中按照期望的比例添加从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的一种或者2种以上的添加物而进行。对添加物的含量进行调整，使其相对于得到的组合物100质量％在0.1-20质量％的范围内。由此，得到银纳米粒子分散于分散介质的组合物，其中该银纳米粒子被碳骨架的碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。(b)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为苹果酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2的分散体。(c)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为乙醇酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1的分散体。(d)化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时作为构成银纳米粒子以外金属纳米粒子的金属，可以举出金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰。除了将配制金属盐水溶液时所使用的硝酸银替换为氯金酸、氯钼酸、硝酸钯、三氯化钌、氯化镍、硝酸亚铜、二氯化锡、硝酸铟、氯化锌、硫酸铁、硫酸铬或硫酸锰之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。另外，在化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2时，除了将配制金属盐水溶液时所用的硝酸银替换为上述种类的金属盐外，与上述(b)或者上述(c)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2的分散体。作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的情况下，例如，将包含用上述(a)的方法制造的银纳米粒子的分散体作为第1分散体，将包含用上述(d)的方法制造的银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散体作为第2分散体的话，混和75质量％以上的第1分散体与不到25质量％的第2分散体，使第1分散体和第2分散体的合计含量为100质量％。此外，第1分散体不仅限于包含用上述(a)的方法制造的银纳米粒子的分散体，包含用上述(b)的方法制造的银纳米粒子的分散体或者包含用上述(c)方法制造的银纳米粒子的分散体也可以使用。接着，对本发明实施方式1的复合膜的制造方法进行说明。在本发明实施方式1的复合膜的制造方法中，首先，利用湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型太阳能电池的光电转换层上，涂布上述透明导电膜用组合物。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度为0.03-0.5μm,优选为0.05-0.1μm的厚度。接着，在温度20-120°C、优选为25-60°C下，将该涂膜干燥1_30分钟，优选2_10分钟。这样形成透明导电涂膜。接着，通过湿式涂布法，在透明导电涂膜上涂布上述导电性反射膜用组合物。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度为0.05-2.(^!11，优选为0.1_1.5μπι的厚度。接着，在温度20-120°C、优选为25-60°C下，将该涂膜干燥1_30分钟，优选2_10分钟。这样形成导电性反射涂膜。上述基材，可以使用包含玻璃、陶瓷或高分子材料的透光性基板中的任一种、或者从玻璃、陶瓷、高分子材料以及硅中选出的2种以上的透光性叠层体。作为高分子基板，可以举出由聚酰亚胺或PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)等有机聚合物形成的基板。进而，上述湿式涂布法，尤其优选喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。但是，并不限于这些涂布法，可以使用任何方法。喷涂法是利用压缩空气将分散体雾状化然后涂布到基材上、或者对分散体本身加压使其雾状化然后涂布到基材上的方法；点胶机(dispenser)涂布法是例如将分散体装入到注射器中，推动该注射器的活塞来从注射器前端的微细喷嘴排出分散体从而涂布在基材上的方法；旋涂法是在旋转的基材上滴下分散体，通过其离心力将该滴下的分散体扩散到基材周缘的方法；刮刀涂布法是可水平方向移动地设置与刮刀前端隔开规定缝隙的基材，向比该刮刀上游侧的基材上供给分散体，使基材向下游侧水平移动的方法；狭缝涂布法是使分散体由狭窄的狭缝流出从而在基材上涂布的方法；喷墨涂布法是在市售的喷墨打印机的墨盒中填充分散体，在基材上进行喷墨式打印的方法；网版印刷法是使用纱线作为图案指示材料，通过在其上制成的原版图像，将分散体转移到基材上的方法；胶版印刷法是使附于胶版的分散体不直接附着到基材上，而是从胶版一次性转印到橡胶片材上，再从橡胶片材转移到基材上，利用墨水的疏水性的印刷方法；铸模(die)涂布法是利用歧管将供给到铸模的分散体进行分配，从狭缝推压到薄膜上，然后涂布到移动的基材表面上的方法。铸模涂布法有条缝涂布方式、滑动涂布方式、幕帘涂布方式。最后，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有涂膜的基材在130-40(TC、优选150-350°C的温度下，保持5_60分钟，优选保持15-40分钟进行烧结。其中，之所以涂布透明导电膜用组合物使烧结后的第2透明导电膜的厚度为0.03-0.5μm的范围，是因为如果烧结后的厚度不到0.03μm、或者超过0.5μm的话，就不能得到充分的增反射效果。另外，之所以涂布导电性反射膜用组合物使烧结后的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0μm,是因为如果不到0.05μm的话，表面电阻值变得过高，不能充分得到作为太阳能电池的电极所必需的导电性，而超过2.0μm的话，虽然在特性上没有不良情况发生，但是材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。之所以将具有涂膜的基材的烧结温度限定为130-400°C，是因为不到130°C的话，在复合膜中的第2透明导电膜中，会出现表面电阻值变得过高这一不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。此外，超过400°C的话，就不能利用低温方法这一生产上的长处，即会导致制造成本增大生产性降低。此外，尤其是非晶硅、微晶硅、或者使用它们的混合型硅太阳能电池对热较弱，由于烧结工序，会导致转换效率降低。之所以将具有涂膜的基材的烧结时间限定为5-60分钟，是因为如果烧结时间不到下限值的话，在复合膜的第2透明导电膜中，会发生表面电阻值过高的不良情况。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。烧结时间超过上限值的话，对特性虽然没有影响，但是会导致制造成本比原本需要的增大，生产性降低。进而，会导致太阳能电池单元的转换效率降低这一不良情况。根据以上，能够形成本发明实施方式1的复合膜。如上所述，本发明实施方式1的制造方法，通过使用湿式涂布法，能够尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，因此能够更为廉价地制造复合膜。(实施方式2)超直型薄膜太阳能电池通常具有在基材上按照第1透明导电膜(光的入射侧的透明导电膜)、光电转换层的顺序叠层，进而在光电转换层上形成第2透明导电膜，在该第2透明导电膜上形成导电性反射膜的结构。本发明实施方式2涉及一种超直型太阳能电池用复合膜，其具有在超直型太阳能电池的光电转换层上形成的第2透明导电膜、以及在该第2透明导电膜上形成的导电性反射膜。图2是示意性地表示本发明实施方式2的复合膜的剖面的图。本发明实施方式2的复合膜216的特征性结构如图2所示，(1)使用湿式涂布法，在光电转换层213上涂布导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜，使用湿式涂布法在该导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结，从而形成第2透明导电膜214；以及(2)第2透明导电膜214在导电性氧化物微粒层214a的整个表面被粘合剂层214b被覆的状态下，具有0.01-0.5μπι的厚度。当第2透明导电膜通过溅射法等真空成膜法形成时，该第2透明导电膜的膜的折射率由靶材料的材质所决定，因此，在利用溅射法等真空成膜法形成的第2透明导电膜中，难以得到期望的折射率。而在利用湿式涂布法形成第2透明导电膜时，由于通常是通过涂布导电性氧化物微粒或其他成分混合而成的组合物形成，因此利用湿式涂布法形成的膜，通过调整组合物的成分，能够得到期望的低折射率。该第2透明导电膜所具有的折射率为1.5-2。具有低折射率的第2透明导电膜，对接合的导电性反射膜赋予光学设计上的增反射效果，因此，与利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜接合的导电性反射膜，与和以往利用溅射法等真空成膜法形成的高折射率的第2透明导电膜接合的导电性反射膜相比，能够得到高反射率。对于利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜，可以举出例如将同时含有导电性氧化物微粒和粘合剂成分调制而成的组合物涂布之后，进行烧结而形成的单一的第2透明导电膜。而本发明实施方式2的复合膜中的第2透明导电膜，首先在光电转换膜上形成不含粘合剂成分的导电性氧化物微粒的涂膜，在该导电性氧化物微粒层上涂布不包含导电性氧化物微粒的粘合剂分散液，之后在规定的温度下烧结而形成。即本发明实施方式2的复合膜中的第2透明导电膜214，如图2所示，在上层形成不包含导电性氧化物微粒的粘合剂层214b。此外，在与光电转换层213的界面附近的下层，由其整个表面被粘合剂层214b所被覆、其一部分由于粘合剂分散液的涂布而浸渍的导电性氧化物微粒层214a构成。该导电性氧化物微粒层214a通过烧结，粒子的一部分烧结，确保了高导电性。在本发明实施方式2的复合膜中，由于第2透明导电膜按照如上构成，因此与具有通过一起含有导电性氧化物微粒与粘合剂成分的组合物形成的单一第2透明导电膜的复合膜相比，与作为基底的光电转换层的密合性优异。另外，由于在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下形成，因此经时变化小。第2透明导电膜214的厚度为0.01-0.5μm，另外导电性反射膜215的厚度为0.05-2.0μm。另外，导电性反射膜215，通过在第2透明导电膜214上，利用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成。因此，形成的导电性反射膜具有能得到良好的成膜性及高扩散反射率的特征。在玻璃等基材上成膜时，即便是利用溅射法等真空蒸镀法成膜时，也能得到良好的成膜性和高扩散反射率，但是，在利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜上利用溅射法等真空蒸镀法成膜的话，在第2透明导电膜中残留的溶剂会对成膜后的导电性反射膜造成不良影响，因此难以成膜成具有高反射率的导电性反射膜。这样，在本发明实施方式2的复合膜中，通过利用湿式涂布法形成的具有低折射率的第2透明导电膜所赋予的光学设计上的增反射效果、以及导电性反射膜所具有的良好成膜性及高扩散反射率，能够得到高反射率。另外，具有如下特征，即出现在导电性反射膜215的光电转换层213侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，成为可实现理论反射率80%以上的高扩散反射率的导电性反射膜。该波长范围500-1200nm，大致囊括了所有将多晶硅作为光电转换层时的可转换波长。之所以将气孔的平均直径设定为IOOnm以下，是因为虽然通常来说反射光谱会显示出在长波长侧反射率高、在短波长侧反射率低，但是气孔的平均直径超过IOOnm的话，反射率开始降低的拐点会更向长波长侧偏移，因此不能得到良好的反射率。此外，之所以将气孔的平均深度设定为IOOnm以下，是因为如果气孔的平均深度超过IOOnm的话，反射光谱的坡度(倾斜度)就会变大，不能得到良好的反射率。之所以将气孔的数密度设定为30个/μm2以下，是因为如果气孔的数密度超过30个/μm2的话，长波长侧的反射率降低，不能得到良好的反射率。气孔的平均直径优选为5nm-100nm，气孔所处的平均深度优选为5nm-100nm，气孔的数密度优选为2-30个/μm2以下。气孔的平均直径、气孔所处的平均深度以及气孔的数密度不到上述下限值时，在烧结时，由于对银纳米粒子进行化学改性的保护剂的有机分子分解而生成的气体的消除会变得不充分，结果，由于残留的有机分子的残渣，导致有可能出现导电性反射膜的导电性及反射率降低，因而不优选。另外，构成复合膜的导电性反射膜，由于包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质，因此能够容易地使出现在导电性反射膜的第2透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，平均深度为IOOnm以下，并且数密度为30个/μm2以下。此外，在构成该复合膜的导电性反射膜中，膜中所包含的金属元素中的银的比例为75质量％以上，因此能够得到高反射率。如果不到75质量％的话，使用该组合物形成的导电性反射膜的反射率存在降低的倾向。另外，由于构成复合膜的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0μm，因此能够得到太阳能电池所必需的电极的表面电阻值。进一步，关于构成复合膜的导电性反射膜在膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围的粒子，按照数均计为70%以上，因此能够得到良好的导电性及高反射率。在形成用于构成第2透明导电膜的导电性氧化物微粒层时，优选使用ITOandiumTinOxide铟锡氧化物)、ATO(AntimonyTinOxide掺锑氧化锡)的氧化锡粉末、或含有从Al、C0、Fe、In、Sn及Ti中选出的1种或者2种以上金属的氧化锌粉末等导电性氧化物微粒，其中，尤其优选ITO、ΑΤΟ、AZO(AluminumZincOxide掺铝氧化锌)、IZO(IndiumZincOxide掺铟氧化锌)、TZO(TinZincOxide掺锡氧化锌)。另外，为了得到充分的导电性和良好的成膜性，导电性氧化物微粒的平均粒径优选在2-lOOnm的范围内，其中尤其优选在5-50nm的范围内。导电性氧化物微粒层，对上述导电性氧化物微粒分散到分散介质中而成的分散液进行调整，通过湿式涂布法涂布该分散液。关于该分散介质，除了水之外，还可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等醇类；丙酮、甲基乙基酮、环己酮、异佛尔酮等酮类；甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等烃类；N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类；二甲基亚砜等亚砜类或乙二醇等二醇类；乙基溶纤剂等二醇醚类等。分散液中的分散介质的含量比例，出于得到良好成膜性的目的，优选在50-99.99质量％的范围内。分散液中的导电性氧化物微粒的含量比例，优选在0.01-50质量％的范围内。之所以将导电性氧化物微粒的含量比例限定在上述范围内，是因为不到下限值的话，难以形成均勻的膜，因此不优选；而超过上限值的话，难以形成500nm以下厚度的导电性反射膜，因此不优选。在导电性氧化物微粒的分散液中，优选根据使用的其他成分加入偶合剂。这是为了提高导电性微粒与粘合剂之间的结合性、以及提高第2透明导电膜与光电转换层或导电性反射膜之间的密合性。作为偶合剂，可以举出硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂等。作为硅烷偶合剂，可举出乙烯基三乙氧基硅烷(Ii二义卜U工卜***，>)、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。作为铝偶合剂，可举出下述式(6)所示的具有乙酰烷氧基的铝偶合剂。另外，作为钛偶合剂，可举出下述式(7)-(9)所示的具有焦磷酸二烷基酯基(77·>>A4口*777·4卜基)的钛偶合剂、以及下述式(10)所示的具有磷酸二烷基酯基(77·>>*777·4卜基)的钛偶合剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula>(C8H17O)4Ti[P(OC13H27)2OH]---------(10)粘合剂分散液可以含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者作为粘合剂成分。其中聚合物型粘合剂，可以举出丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物等。另外，在聚合物型粘合剂中，优选含有铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。作为非聚合物型粘合剂，可以举出金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯等。另外，在金属皂、金属配位化合物或金属醇盐中所包含的金属为铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或锑。这些聚合物型粘合剂、非聚合物型粘合剂通过加热固化，能够形成在低温下具有低浊度率及体积电阻率的第2透明导电膜。粘合剂分散液中的这些粘合剂的含量比例，优选在0.01-50质量％的范围内，尤其优选在0.5-20质量％的范围内。在粘合剂分散液的调整中，优选使用与形成导电性氧化物微粒层时所用分散液的制备中所用分散介质同种的分散介质。为了形成均勻的膜，分散介质的含量比例优选在50-99.99质量％的范围内。另外，根据使用的成分，优选加入低电阻化剂或水溶性纤维素衍生物等。作为低电阻化剂，优选从钴、铁、铟、镍、铅、锡、钛及锌的无机酸盐以及有机酸盐中选出的1种或2种以上。例如，可以举出乙酸镍与氯化铁的混合物、环烷酸锌、辛酸锡和氯化锑的混合物、硝酸铟和乙酸铅的混合物、乙酰乙酸钛和辛酸钴的混合物等。这些低电阻化剂的含有比例，优选为0.1-10质量％。另外，通过添加水溶性纤维素衍生物，形成的第2透明导电膜的透明性也得到提高。作为水溶性纤维素衍生物，可举出羟丙基纤维素、羟丙基甲基纤维素等。水溶性纤维素衍生物的添加量，优选在0.1-10质量％的范围内。形成本发明实施方式2的复合膜中的导电性反射膜时所使用的导电性反射膜用组合物，是金属纳米粒子分散在分散介质中而成的组合物。上述金属纳米粒子含有75质量％以上的银纳米粒子，优选含有80质量％以上的银纳米粒子。之所以将银纳米粒子的含量限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为75质量％以上的范围，是因为如果不到75质量％的话，利用该组合物形成的导电性反射膜的反射率会降低。另外，银纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性。之所以将化学改性金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数限定为1-3的范围，是因为当碳原子数为4以上时，保护剂难以被烧结时的热消除或分解(分离、燃烧)，在上述膜内残留有很多有机残渣，从而会变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低。银纳米粒子按数均计，含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，优选含有75%以上。一次粒径在10-50nm范围内的金属纳米粒子的含量，之所以限定为按数均计相对于全部金属纳米粒子100%为70%以上的范围，是因为如果不到70%的话，金属纳米粒子的比表面积增大，从而有机物所占的比例变大，即便是通过烧结时的热容易消除或者分解(分离、燃烧)的有机分子，由于该有机分子所占的比例多，因此膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，从而导致导电性反射膜的导电性及反射率降低，或者金属纳米粒子的粒度分布变宽而导电性反射膜的密度变得容易降低，引起导电性反射膜的导电性及反射率降低。进一步，之所以将上述金属纳米粒子的一次粒径限定在10-50nm的范围内，是因为按照统计学的方法，一次粒径处于10-50nm范围内的金属纳米粒子与经时稳定性(经年稳定性)相关的缘故。另一方面，银纳米粒子以外的金属纳米粒子，是包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成的金属纳米粒子，该银纳米粒子以外的金属纳米粒子，相对于全部金属纳米粒子100质量％，含有0.02质量％以上且不到25质量％，优选含有0.03质量％-20质量％。银纳米粒子以外的金属纳米粒子的含量，之所以限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为0.02质量％以上且不到25质量％，是因为不到0.02质量％的话，虽然没有特别大的问题，但是在0.02-25质量％这一范围内时，具有耐候性试验(在温度100°C且湿度50%的恒温恒湿槽内保持1000小时的试验)后的导电性反射膜的导电性及反射率，与耐候性试验前相比不会发生恶化这一特征，而在25质量％以上时，刚烧结之后的导电性反射膜的导电性及反射率降低，并且耐候性试验后的导电性反射膜，与耐候性试验前的导电性反射膜相比，导电性及反射率均降低的缘故。另外，导电性反射膜用组合物，含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油选出的1种或2种以上的添加物。由于作为添加物包含在组合物中的金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物或硅油，与第2透明导电膜之间的化学性结合或者锚固效果增大、或者使烧结工序中的金属纳米粒子与第2透明导电膜之间的润湿性得以改善，从而能够在不损害导电性的情况下，提高与第2透明导电膜的密合性。使用不包含上述金属氧化物等的组合物形成导电性反射膜的话，形成的导电性反射膜的表面粗糙度虽然变大，但是对于导电性反射膜表面的凹凸形状，存在使光电转换效率最佳的条件，因此仅仅是表面粗糙度大的话，不能形成光电转换效率优异的导电性反射膜表面。而像本发明实施方式2的组合物那样，通过调整金属氧化物等的种类、浓度等，能够形成具有最佳化表面粗糙度的表面。添加物的含量为构成金属纳米粒子的银纳米粒子的质量的0.1_20%，优选为0.2-10%。添加物的含量不到0.的话，有可能出现平均直径大的气孔，或者气孔的密度变高。添加物的含量超过20%的话，会对形成的导电性反射膜的导电性造成不良影响，导致出现体积电阻率超出2Χ10_5Ω·cm的不良情况。作为添加物使用的有机高分子，使用从聚乙烯吡咯烷酮(Polyvinylpyrrolidone；以下称之为PVP)、PVP的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。具体来说，作为PVP的共聚物，可举出PVP-甲基丙烯酸酯共聚物、PVP-苯乙烯共聚物、PVP-乙酸乙烯共聚物等。另外，作为水溶性纤维素，可举出羟丙基甲基纤维素、甲基纤维素、羟乙基甲基纤维素等纤维素醚。作为添加物使用的金属氧化物，可以举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。复合氧化物具体为ΙΤ0、ΑΤΟ、IZO等。作为添加物使用的金属氢氧化物，可举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。作为添加物使用的有机金属化合物，可以举出从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。例如，金属皂可举出乙酸铬、甲酸锰、柠檬酸铁、甲酸钴、乙酸镍、柠檬酸银、乙酸铜、柠檬酸铜、乙酸锡、乙酸锌、草酸锌、乙酸钼等。另外，作为金属配位化合物，可以举出乙酰丙酮锌配位化合物、乙酰丙酮铬配位化合物、乙酰丙酮镍配位化合物等。另外，作为金属醇盐，可以举出异丙醇钛、硅酸甲酯、彳〃7少卜丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷等。作为添加物使用的硅油，可以采用直链硅油及改性硅油两者。改性硅油可以使用还在聚硅氧烷的侧链的一部分导入有机基团的物质(侧链型)、在聚硅氧烷的两末端导入有机基团的物质(两末端型)、在聚硅氧烷的两末端中的任一个中导入有机基团的物质(单末端型)、以及在聚硅氧烷的侧链的一部分和两末端导入有机基团的物质(侧链两末端型)。改性硅油有反应性硅油和非反应性硅油，但是这两种均可以作为本发明实施方式2的添加物来使用。此外，所谓反应性硅油，显示出氨基改性、环氧基改性、羧基改性、甲醇改性、巯基改性、以及异种官能基改性(环氧基、氨基、聚醚基)，所谓非反应性硅油，显示出聚醚改性、甲基苯乙烯基改性、烷基改性、高级脂肪酸酯改性、氟改性、以及亲水特殊改性。构成导电性反射膜用组合物的分散介质，优选包含醇类、或者含醇类水溶液。作为分散介质使用的醇类，可以举出从甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、甘油、异冰片己醇及赤藓醇选出的1种或2种以上。含醇类水溶液，相对于全部分散介质100质量％，含有1质量％以上、优选为2质量％以上的水、以及2质量％以上、优选为3质量％以上的醇类为宜。例如，当分散介质仅由水和醇类构成的情况下，含有的水为2质量％时，就含有醇类98质量％，当醇类含有2质量％时，水就含有98质量％。水的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为1质量％以上的范围，是因为如果不到1质量％的话，通过湿式涂布法涂布导电性反射膜用组合物得到的膜，在低温下难以烧结，并且烧结后的膜的导电性和反射率降低；醇类的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为2质量％以上的范围，是因为如果不到2质量％的话，和上述一样，利用湿式涂布法涂布组合物得到的膜在低温下难以烧结，而且烧结后的电极的导电性和反射率会降低。进一步，分散介质，即在金属纳米粒子表面进行化学改性的保护分子，优选含有羟基(-0H)或羰基(-C=0)中的任一或两者。在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羟基(-0H)的话，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用，在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羰基(-C=0)的话，和上述一样，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用。制备所使用的导电性反射膜用组合物的方法如下所述。(a)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时首先，将硝酸银溶解到去离子水等水中，制备金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水等水中，在得到的浓度为10-40%的柠檬酸钠水溶液中，在氮气等惰性气体的气流中直接加入粒状或粉状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在上述惰性气体气流中边搅拌上述还原剂水溶液，边在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。其中，优选使金属盐水溶液的添加量为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过对各溶液的浓度进行调整，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也保持在30-60°C。另外，上述两水溶液的混合比，配制成作为还原剂加入的亚铁离子的当量为金属离子的当量的3倍，也即满足(金属盐水溶液中的金属离子的摩尔数)X(金属离子的价数)=3X(还原剂水溶液中的亚铁离子)这一关系式。金属盐水溶液的滴加结束后，进一步持续搅拌混合液10-300分钟，配制包含金属胶体的分散液。将该分散液在室温下放置，利用倾析或离心分离法等将沉降的金属纳米离子的凝集物分离之后，在该分离物中加入去离子水等水制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而连续利用醇类进行置换洗涤，使金属(银)的含量为2.5-50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力分离粗粒子，由此调整为银纳米粒子按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，即调整为按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为70%以上。这样，得到化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。接着，对得到的分散体进行调整，使最终的金属含量(银含量)相对于分散体100质量％为2.5-95质量％。另外，当分散介质为含醇类水溶液时，优选将溶剂的水及醇类分别调整为以上及2%以上。此外，如果在组合物中进一步含有添加物的话，通过在分散体中按照期望的比例添加从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的一种或者2种以上的添加物而进行。对添加物的含量进行调整，使其相对于得到的组合物100质量％在0.1-20质量％的范围内。由此，得到银纳米粒子分散于分散介质而成的组合物，其中该银纳米粒子被碳骨架的碳原子数为3的有机分子主链的保护剂化学改性。(b)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为苹果酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2的分散体。(c)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为乙醇酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1的分散体。(d)化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时作为构成银纳米粒子以外金属纳米粒子的金属，可以举出金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰。除了将配制金属盐水溶液时所使用的硝酸银替换为氯金酸、氯钼酸、硝酸钯、三氯化钌、氯化镍、硝酸亚铜、二氯化锡、硝酸铟、氯化锌、硫酸铁、硫酸铬或硫酸锰之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。另外，化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2时，除了将配制金属盐水溶液时所用的硝酸银替换为上述种类的金属盐外，与上述(b)或者上述(C)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2的分散体。作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的情况下，例如，将用上述(a)的方法制造的包含银纳米粒子的分散体作为第1分散体，将用上述(d)的方法制造的包含银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散体作为第2分散体的话，将75质量％以上的第1分散体与不到25质量％的第2分散体混合，使第1分散体和第2分散体的合计含量为100质量％。此外，第1分散体不仅限于用上述(a)的方法制造的包含银纳米粒子的分散体，用上述(b)的方法制造的包含银纳米粒子的分散体或者用上述(c)方法制造的包含银纳米粒子的分散体也可以使用。接着，对本发明实施方式2的复合膜的制造方法进行说明。在本发明实施方式2的复合膜的制造方法中，首先，如图3所示，在通过第1透明导电膜212叠层于基材211上的超直型太阳能电池的光电转换层213上，利用湿式涂布法，涂布将导电性氧化物微粒分散于分散介质中配制而成的上述分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜224a。在温度20-120°C、优选为25_60°C下，干燥该涂膜224a1-30分钟，优选2-10分钟。接着，通过湿式涂布法，在导电性氧化物微粒的涂膜224a上使上述粘合剂分散液浸渍，进行涂布以使导电性氧化物微粒的涂膜224a的整个表面被粘合剂分散液的涂膜224b被覆。另外，这里所说的涂布，优选涂布为涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量，相对于涂布后的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的微粒总质量，为0.5-10的质量比(涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性氧化物微粒的质量)。如果不到下限值的话，难以得到充分的密合性，而超过上限值的话，表面电阻容易增大。其中，尤其优选质量比为0.5-3。在温度20-120°C、优选为25-60°C下，干燥该涂膜1_30分钟，优选2_10分钟。上述导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液的涂布，按照使烧结后形成的第2透明导电膜的厚度为0.01-0.5μm、优选为0.03-0.1μm的方式进行。这样，形成包含导电性氧化物微粒的涂膜224a、以及粘合剂分散液的涂膜224b的透明导电涂膜224。接着，利用湿式涂布法在透明导电涂膜224上涂布上述导电性反射膜用组合物。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度成为0.05-2.0μm的厚度、优选成为0.1-1.5μm的厚度。接着，在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥该涂膜1_30分钟，优选2_10分钟。这样形成导电性反射涂膜225。湿式涂布法尤其优选喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。但是，并不限于这些涂布法，可以使用任何方法。喷涂法是通过压缩空气将分散体雾状化然后涂布到基材上、或者对分散体本身加压使其雾状化然后涂布到基材上的方法；点胶机(dispenser)涂布法是例如将分散体装入到注射器中，通过推动该注射器的活塞来从注射器前端的微细喷嘴中排出分散体从而涂布在基材上的方法；旋涂法是在旋转的基材上滴下分散体，通过其离心力将该滴下的分散体扩散到基材周缘的方法；刮刀涂布法是可水平方向移动地设置与刮刀前端隔开规定缝隙的基材，向比该刮刀上游侧的基材上供给分散体，使基材向着下游侧水平移动的方法；狭缝涂布法是使分散体由狭窄的狭缝流出从而在基材上涂布的方法；喷墨涂布法是在市售的喷墨打印机的墨盒中填充分散体，在基材上进行喷墨式打印的方法。网版印刷法是使用纱线作为图案指示材料，通过在其上制成的原版图像，将分散体转移到基材上的方法；胶版印刷法是使附于胶版的分散体不直接附着到基材上，而是从胶版一次性转印到橡胶片材上，再从橡胶片材转移到基材上，利用墨水的疏水性的印刷方法；铸模(die)涂布法是利用歧管将供给到铸模的分散体进行分配，从狭缝推压到薄膜上，然后涂布到移动的基材表面上的方法。铸模涂布法有条缝涂布方式、滑动涂布方式、幕帘涂布方式。最后，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有涂膜226的基材211在130-400°C、优选150-350°C的温度下，保持5_60分钟，优选保持15-40分钟从而进行烧结。其中，之所以涂布导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液使烧结后的第2透明导电膜的厚度为0.01-0.5μm,是因为如果不到下限值的话，难以形成均勻的膜，而超过上限值的话，材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。之所以涂布导电性反射膜用组合物使烧结后的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0μm,是因为如果不到0.05μm的话，表面电阻值变得过高，从而不能充分地得到作为太阳能电池的电极所需要的导电性，而超过2.Ομπι的话，虽然没有特性上的不良情况，但是材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。之所以将烧结温度限定为130-400°C，是因为不到130°C的话，会出现复合膜中的第2透明导电膜的表面电阻值变得过高这一不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。此外，超过400°C的话，就不能利用低温方法这一生产上的长处，即会导致制造成本增大生产性降低。此外，尤其是非晶硅、微晶硅、或者使用它们的混合型硅太阳能电池对热较弱，由于烧结工序，会导致转换效率降低。之所以将具有涂膜的基材的烧结时间限定为5-60分钟，是因为如果烧结时间不到下限值的话，会出现复合膜中的第2透明导电膜的表面电阻值变得过高这一不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。烧结时间超过上限值的话，对特性虽然没有影响，但是会导致制造成本比原本需要的增大，生产性降低。进而，会导致太阳能电池单元的转换效率降低这一不良情况。根据以上，能够形成本发明实施方式2的复合膜。这样，本发明实施方式2的制造方法，使用湿式涂布法，因而能够尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，能够更为廉价地制造复合膜。(实施方式3)亚直型太阳能电池通常如图4所示，具有如下结构，即，具有在基材311上形成的复合膜312，在该复合膜312上按照光电转换层313、第1透明导电膜(光的入射侧的透明导电膜)314这一顺序叠层而成的结构。复合膜312具有在基材311上形成的导电性反射膜312a、以及在该导电性反射膜312a上形成的第2透明导电膜312b。本发明实施方式3涉及亚直型太阳能电池用复合膜312，其具有在基材311上形成的导电性反射膜312a、以及在该导电性反射膜312a上形成的第2透明导电膜312b这2层。在本发明实施方式3的复合膜312中，导电性反射膜312a是通过利用湿式涂布法，在基材311上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成的。因此，形成的导电性反射膜312a能够得到良好的成膜性和高扩散反射率。另外，在本发明实施方式3的复合膜312中，第2透明导电膜312b是通过利用湿式涂布法，涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成的。当第2透明导电膜通过溅射法等真空成膜法形成时，该透明导电膜的膜的折射率由靶材料的材质决定，因此，在利用溅射法等真空成膜法形成的第2透明导电膜中，难以得到期望的折射率。而在利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜312b中，由于是通过涂布透明导电膜用组合物这一导电性氧化物微粒与其他成分的混合物而形成的，因此利用湿式涂布法形成的膜，能够得到期望的低折射率。该第2透明导电膜312b具有的折射率为1.5-2。具有低折射率的第2透明导电膜312b，对接合的导电性反射膜312a赋予光学设计上的增反射效果，因此，与该第2透明导电膜312b接合的导电性反射膜312a，和与以往利用溅射法等真空成膜法形成的高折射率的第2透明导电膜接合的导电性反射膜相比，能够得到高反射率。这样，在本发明实施方式3的复合膜312中，通过具有低折射率的第2透明导电膜312b所赋予的光学设计上的增反射效果、以及导电性反射膜312a所具有的良好成膜性及高扩散反射率，能够得到高反射率。进一步，由于出现在导电性反射膜312a的第2透明导电膜312b侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下，因此在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，成为可实现理论反射率80%以上的高扩散反射率的导电性反射膜312a。该波长范围500-1200nm，大致囊括了所有将多晶硅作为光电转换层时的可转换波长。之所以将气孔的平均直径设定为IOOnm以下，是因为虽然通常来说反射光谱会显示出在长波长侧反射率高、在短波长侧反射率低，但是气孔的平均直径超过IOOnm的话，反射率开始降低的拐点会更向长波长侧偏移，因此不能得到良好的反射率。此外，之所以将气孔的平均深度设定为IOOnm以下，是因为如果气孔的平均深度超过IOOnm的话，反射光谱的坡度(倾斜度)就会变大，不能得到良好的反射率。之所以将气孔的数密度设定为30个/μπι2以下，是因为如果气孔的数密度超过30个/μm2的话，长波长侧的反射率降低，不能得到良好的反射率。气孔的平均直径优选为5nm-100nm，气孔所处的平均深度优选为5nm-100nm，气孔的数密度优选为2-30个/μm2以下。气孔的平均直径、气孔所处的平均深度以及气孔的数密度不到上述下限值的情况下，在烧结时，对银纳米粒子进行化学改性的保护剂的有机分子分解而生成的气体的消除会变得不充分，结果，由于残留的有机分子的残渣，有可能出现导电性反射膜的导电性及反射率降低，因而不优选。另外，构成复合膜的导电性反射膜，由于包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质，因此能够容易地使出现在导电性反射膜的第2透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，平均深度为IOOnm以下，并且数密度为30个/μm2以下。此外，在构成该复合膜的导电性反射膜中，由于膜中所包含的金属元素中的银的比例为75质量％以上，因此能够得到高反射率。如果不到75质量％的话，使用该组合物形成的导电性反射膜的反射率存在降低的倾向。另外，由于构成复合膜的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0μm,因此能够得到太阳能电池所必需的电极的表面电阻值。进一步，关于构成复合膜的导电性反射膜在膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围的粒子，按照数均计为70%以上，因此能够得到良好的导电性及高反射率。本发明实施方式3的第2透明导电膜的形成中使用的透明导电膜用组合物，包含导电性氧化物微粒，是该导电性氧化物微粒分散到分散介质中而成的组合物。作为在透明导电膜用组合物中所包含的导电性氧化物微粒，优选ITO(IndiumTinOxide铟锡氧化物)、AT0(AntimonyTinOxide掺锑氧化锡)的氧化锡粉末、或含有从Al、Co、Fe、In、Sn及Ti中选出的1种或者2种以上金属的氧化锌粉末等，其中，尤其优选ΙΤ0、ΑΤΟ、AZO(AluminumZincOxide掺铝氧化锌)、IZO(IndiumZincOxide掺铟氧化锌)、TZO(TinZincOxide掺锡氧化锌)。另外，导电性氧化物微粒在透明导电膜用组合物所包含的固形成分中所占的含量比例，优选在50-90质量％的范围内。之所以将导电性氧化物微粒的含量比例设定在上述范围内，是因为如果不到下限值的话，导电性会降低，因而不优选，而如果超过上限值的话，密合性会降低，因此也不优选。其中，尤其优选在70-90质量％的范围内。另外，为了在分散介质中保持稳定性，导电性氧化物微粒的平均粒径优选在IO-IOOnm的范围内，其中尤其优选为20-60nm的范围内。透明导电膜用组合物为包含通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者的组合物。作为聚合物型粘合剂，可以举出丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物等。另外，在聚合物型粘合剂中，优选包含铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。作为非聚合物型粘合剂，可以举出金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯等。另外，金属皂、金属配位化合物或金属醇盐中所包含的金属是铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或者锑。这些聚合物型粘合剂、非聚合物型粘合剂通过加热固化，能够形成在低温下具有低浊度率及体积电阻率的第2透明导电膜。这些粘合剂的含量比例，作为在透明导电膜用组合物中的固形成分中所占的比例，优选在5-50质量％的范围内，尤其优选在10-30质量％的范围内。在透明导电膜用组合物中，优选根据使用的其他成分加入偶合剂。这是为了提高导电性微粒与粘合剂的结合性、以及提高由该透明导电膜用组合物形成的第2透明导电膜与导电性反射膜或者光电转换层之间的密合性。作为偶合剂，可以举出硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂等。作为硅烷偶合剂，可举出乙烯基三乙氧基硅烷(Ii二义卜U工卜***，^)、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。作为铝偶合剂，可举出下述式(11)所示的含有乙酰烷氧基的铝偶合剂。另外，作为钛偶合剂，可举出下述式(12)-(14)所示的具有焦磷酸二烷基酯基(77>>^4口;t、7774卜基)的钛偶合剂、以及下述式(15)所示的具有磷酸二烷基酯基的钛偶合剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>……-(11)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>.........(12)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>.........(13)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>.........(14)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>---------(15)偶合剂的含量比例，作为在透明导电膜用组合物中所占的固形成分的比例，优选在0.2-5质量％的范围内，其中尤其优选在0.5-2质量％的范围内。构成透明导电膜用组合物的分散介质，除了水之外，还可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等醇类；丙酮、甲基乙基酮、环己酮、异佛尔酮等酮类；甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等烃类；N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类；二甲基亚砜等亚砜类或乙二醇等二醇类；乙基溶纤剂等二醇醚类等。为了得到良好的成膜性，分散介质的含有比例优选在80-99质量％的范围内。另外，根据使用的成分，优选加入低电阻化剂或水溶性纤维素衍生物等。作为低电阻化剂，优选从钴、铁、铟、镍、铅、锡、钛及锌的无机酸盐以及有机酸盐中选出的1种或2种以上。例如，可以举出乙酸镍与氯化铁的混合物、环烷酸锌、辛酸锡和氯化锑的混合物、硝酸铟和乙酸铅的混合物、乙酰乙酸钛和辛酸钴的混合物等。这些低电阻化剂的含有比例，优选相对于导电性氧化物粉末为0.2-15质量％。水溶性纤维素衍生物虽然是非离子化活性剂，但是与其他表面活性剂相比，即便是少量添加，其使导电性氧化物粉末分散的能力也非常高，并且，通过添加水溶性纤维素衍生物，形成的第2透明导电膜的透明性也得到提高。作为水溶性纤维素衍生物，可举出羟丙基纤维素、羟丙基甲基纤维素等。水溶性纤维素衍生物的添加量，优选在0.2-5质量％的范围内。形成本发明实施方式3的复合膜中的导电性反射膜时所使用的导电性反射膜用组合物，是金属纳米粒子分散在分散介质中而成的组合物。上述金属纳米粒子含有75质量％以上的银纳米粒子，优选含有80质量％以上的银纳米粒子。之所以将银纳米粒子的含量限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为75质量％以上的范围，是因为如果不到75质量％的话，利用该组合物形成的导电性反射膜的反射率会降低。另外，银纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性。之所以将化学改性金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数限定为1-3的范围，是因为当碳原子数为4以上时，保护剂难以被烧结时的热消除或分解(分离、燃烧)，在上述膜内残留有很多有机残渣，从而会变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低。银纳米粒子按数均计，含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，优选含有75%以上。一次粒径在10-50nm范围内的金属纳米粒子的含量，之所以限定为按数均计，相对于全部金属纳米粒子100%为70%以上的范围，是因为如果不到70%的话，金属纳米粒子的比表面积增大，有机物所占的比例变大，即便是通过烧结时的热容易消除或者分解(分离、燃烧)的有机分子，由于该有机分子所占的比例多，因此膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低，或者金属纳米粒子的粒度分布变宽，导电性反射膜的密度变得容易降低，引起导电性反射膜的导电性及反射率降低。进一步，之所以将上述金属纳米粒子的一次粒径限定在10-50nm的范围内，是因为按照统计学的方法，一次粒径处于10-50nm范围内的金属纳米粒子与经时稳定性(经年稳定性)相关的缘故。另一方面，银纳米粒子以外的金属纳米粒子，是包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成的金属纳米粒子，该银纳米粒子以外的金属纳米粒子，相对于全部金属纳米粒子100质量％，含有0.02质量％以上且不到25质量％，优选含有0.03质量％-20质量％。银纳米粒子以外的金属纳米粒子的含量，之所以限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为0.02质量％以上且不到25质量％，是因为不到0.02质量％的话，虽然没有特别大的问题，但是在0.02-25质量％这一范围内时，具有耐候性试验(在温度100°C且湿度50%的恒温恒湿槽内保持1000小时的试验)后的导电性反射膜的导电性及反射率，与耐候性试验前相比不会发生恶化这一特征，而在25质量％以上时，刚烧结之后的导电性反射膜的导电性及反射率降低，并且耐候性试验后的导电性反射膜，与耐候性试验前的导电性反射膜相比，导电性及反射率均降低的缘故。本发明实施方式3的导电性反射膜的形成中所使用的导电性反射膜用组合物，含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油选出的1种或2种以上的添加物。由于作为添加物包含在组合物中的金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物或硅油，与第2透明导电膜的化学性结合或者锚固效果增大、或者使烧结工序中的金属纳米粒子与第2透明导电膜之间的润湿性得以改善，从而能够在不损害导电性的情况下，提高与第2透明导电膜之间的密合性。使用不包含上述金属氧化物等的组合物形成导电性反射膜的话，形成的导电性反射膜的表面粗糙度虽然变大，但是对于导电性反射膜表面的凹凸形状，存在使光电转换效率最佳的条件，因此仅仅是表面粗糙度大的话，不能形成光电转换效率优异的导电性反射膜表面。而像本发明实施方式3的组合物那样，通过调整金属氧化物等的种类、浓度等，能够形成具有最佳化表面粗糙度的表面。添加物的含量为构成金属纳米粒子的银纳米粒子的质量的0.1_20%，优选为0.2-10%。添加物的含量不到0.的话，有可能出现平均直径大的气孔，或者气孔的密度变高。添加物的含量超过20%的话，会对形成的导电性反射膜的导电性造成不良影响，导致出现体积电阻率超出2Χ10_5Ω·cm的不良情况。作为添加物使用的有机高分子，使用从聚乙烯吡咯烷酮(Polyvinylpyrrolidone；以下称之为PVP)、PVP的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。具体来说，作为PVP的共聚物，可举出PVP-甲基丙烯酸酯共聚物、PVP-苯乙烯共聚物、PVP-乙酸乙烯共聚物等。另外，作为水溶性纤维素，可举出羟丙基甲基纤维素、甲基纤维素、羟乙基甲基纤维素等纤维素醚。作为添加物使用的金属氧化物，可以举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。复合氧化物具体为ΙΤ0、ΑΤΟ、IZO等。作为添加物使用的金属氢氧化物，可举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。作为添加物使用的有机金属化合物，可以举出从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。例如，金属皂可举出乙酸铬、甲酸锰、柠檬酸铁、甲酸钴、乙酸镍、柠檬酸银、乙酸铜、柠檬酸铜、乙酸锡、乙酸锌、草酸锌、乙酸钼等。另外，作为金属配位化合物，可以举出乙酰丙酮锌配位化合物、乙酰丙酮铬配位化合物、乙酰丙酮镍配位化合物等。另外，作为金属醇盐，可以举出异丙醇钛、硅酸甲基酯、“7“丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷等。作为添加物使用的硅油，可以采用直链硅油及改性硅油两者。改性硅油，可以使用还在聚硅氧烷的侧链的一部分导入有机基团的物质(侧链型)、在聚硅氧烷的两末端导入有机基团的物质(两末端型)、在聚硅氧烷的两末端中的任一个中导入有机基团的物质(单末端型)、以及在聚硅氧烷的侧链的一部分和两末端导入有机基团的物质(侧链两末端型)。改性硅油有反应性硅油和非反应性硅油，但是这两种均可以作为本发明实施方式3的添加物来使用。此外，所谓反应性硅油，显示出氨基改性、环氧基改性、羧基改性、甲醇改性、巯基改性、以及异种官能基改性(环氧基、氨基、聚醚基)，所谓非反应性硅油，显示出聚醚改性、甲基苯乙烯基改性、烷基改性、高级脂肪酸酯改性、氟改性、以及亲水特殊改性。构成导电性反射膜用组合物的分散介质，优选包含醇类、或者含醇类水溶液。作为分散介质使用的醇类，可以举出从甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、甘油、异冰片己醇及赤藓醇选出的1种或2种以上。含醇水溶液，相对于全部分散介质100质量％，含有1质量％以上、优选为2质量％以上的水、以及2质量％以上、优选为3质量％以上的醇类为宜。例如，当分散介质仅由水和醇类构成的情况下，含有的水为2质量％时，就含有醇类98质量％，当醇类含有2质量％时，水就含有98质量％。水的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为1质量％以上的范围，是因为如果不到1质量％的话，通过湿式涂布法涂布导电性反射膜用组合物得到的膜在低温下难以烧结，并且烧结后的膜的导电性和反射率降低；醇类的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为2质量％以上的范围，是因为如果不到2质量％的话，和上述一样，利用湿式涂布法涂布组合物得到的膜在低温下难以烧结，而且烧结后的电极的导电性和反射率会降低。进一步，分散介质，即对金属纳米粒子表面化学改性的保护分子，优选含有羟基(-0H)或羰基(-C=O)中的任一或两者。对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羟基(-0H)的话，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用，对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羰基(-c=o)的话，和上述一样，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用。制造本发明实施方式3的导电性反射膜用组合物的方法如下所述。(a)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时首先，将硝酸银溶解到去离子水等水中，制备金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水等水中，在得到的浓度为10-40%的柠檬酸钠水溶液中，在氮气等惰性气体的气流中直接加入粒状或粉状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在上述惰性气体气流中边搅拌上述还原剂水溶液，边在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。其中，优选使金属盐水溶液的添加量为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过对各溶液的浓度进行调整，使即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也保持在30-60°C。另外，上述两水溶液的混合比调整成作为还原剂加入的亚铁离子的当量为金属离子的当量的3倍，即满足(金属盐水溶液中的金属离子的摩尔数)X(金属离子的价数)=3X(还原剂水溶液中的亚铁离子)这一关系式。在金属盐水溶液的滴加结束后，进一步持续搅拌混合液10-300分钟，配制包含金属胶体的分散液。将该分散液在室温下放置，利用倾析或离心分离法等将沉降的金属纳米离子的凝集物分离之后，在该分离物中加入去离子水等水制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而连续利用醇类进行置换洗涤，使金属(银)的含量为2.5-50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力分离粗粒子，由此调整成银纳米粒子按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，即调整成按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为70%以上。这样，获得化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。接着，对得到的分散体进行调整，使最终的金属含量(银含量)相对于分散体100质量％为2.5-95质量％的范围。另外，分散介质为含醇类水溶液时，优选将溶剂的水及醇类分别调整为以上及2%以上。此外，如果在组合物中进一步含有添加物的话，通过在分散体中按照期望的比例添加从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的一种或者2种以上的添加物而进行。对添加物的含量进行调整，使其相对于得到的组合物100质量％在0.1-20质量％的范围内。由此，得到银纳米粒子分散于分散介质而成的组合物，其中该银纳米粒子被碳骨架的碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。(b)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为苹果酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2的分散体。(c)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为乙醇酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1的分散体。(d)化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时作为构成银纳米粒子以外金属纳米粒子的金属，可以举出金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰。除了将配制金属盐水溶液时所使用的硝酸银替换为氯金酸、氯钼酸、硝酸钯、三氯化钌、氯化镍、硝酸亚铜、二氯化锡、硝酸铟、氯化锌、硫酸铁、硫酸铬或硫酸锰之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。另外，化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2时，除了将配制金属盐水溶液时所用的硝酸银替换为上述种类的金属盐外，与上述(b)或者上述(c)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2的分散体。作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外的金属纳米粒子的情况下，例如，将用上述(a)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体作为第1分散体，将用上述(d)的方法制造的含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散体作为第2分散体的话，混和75质量％以上的第1分散体与不到25质量％的第2分散体，使第1分散体和第2分散体的合计含量为100质量％。此外，第1分散体不仅限于用上述(a)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体，用上述(b)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体或者用上述(c)方法制造的含有银纳米粒子的分散体也可以使用。接着，对本发明实施方式3的复合膜的制造方法进行说明。在本发明实施方式3的复合膜的制造方法中，首先，利用湿式涂布法，在基材上涂布上述导电性反射膜用组合物。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度为0.05-2.0μm，优选为0.1-1.5μπι的厚度。接着，在温度20-120°C、优选为25_60°C下，干燥该涂膜1_30分钟，优选2-10分钟。这样形成导电性反射涂膜。接着，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有导电性反射涂膜的基材在130-400°C、优选在150-350°C的温度下保持5-60分钟，优选保持15-40分钟，从而进行烧结，形成导电性反射膜。接着，利用湿式涂布法在该导电性反射膜上涂布透明导电膜用组合物。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度为0.03-0.5μm，优选为0.05-0.Ιμπι的厚度。接着，在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥该涂膜1-30分钟，优选2-10分钟。这样形成透明导电涂膜。接着，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有透明导电涂膜的基材在130-400°C、优选在150-350°C的温度下保持5-60分钟，优选保持15-40分钟，从而进行烧结，形成第2透明导电膜。上述基材可以使用包含玻璃、陶瓷、金属或高分子材料的基板中的任一种、或者从玻璃、陶瓷、高分子材料、金属以及硅中选出的2种以上的透光性叠层体。作为高分子基板，可以举出由聚酰亚胺或PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)等有机聚合物形成的基板。另外，上述湿式涂布法，尤其优选喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。但是，并不限于这些涂布法，可以使用任何方法。喷涂法是通过压缩空气将分散体雾状化然后涂布到基材上、或者对分散体本身加压使其雾状化然后涂布到基材上的方法；点胶机(dispenser)涂布法是例如将分散体装入到注射器中，通过推动该注射器的活塞来从注射器前端的微细喷嘴中排出分散体从而涂布在基材上的方法；旋涂法是在旋转的基材上滴下分散体，通过其离心力将该滴下的分散体扩散到基材周缘的方法；刮刀涂布法是可水平方向移动地设置与刮刀前端隔开规定缝隙的基材，向比该刮刀上游侧的基材上供给分散体，使基材向着下游侧水平移动的方法；狭缝涂布法是使分散体由狭窄的狭缝流出从而在基材上涂布的方法；喷墨涂布法是在市售的喷墨打印机的墨盒中填充分散体，在基材上进行喷墨式打印的方法。网版印刷法是使用纱线作为图案指示材料，通过在其上制成的原版图像，将分散体转移到基材上的方法；胶版印刷法是使附于胶版的分散体不直接附着到基材上，而是从胶版一次性转印到橡胶片材上，再从橡胶片材转移到基材上，利用墨水的疏水性的印刷方法；铸模(die)涂布法是利用歧管将供给到铸模内的分散体进行分配，从狭缝推压到薄膜上，然后涂布到移动的基材表面上的方法。铸模(die)涂布法有条缝涂布方式、滑动涂布方式、幕帘涂布方式。其中，之所以涂布导电性反射膜用组合物使烧结后的导电性反射膜的厚度为0.05-2.Oym,是因为如果不到0.05μm的话，表面电阻值变得过高，从而不能充分地得到作为太阳能电池的电极所需要的导电性，而超过2.Ομπι的话，虽然没有特性上的不良情况，但是材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。另外，之所以涂布透明导电膜用组合物使烧结后的第2透明导电膜的厚度为0.03-0.5μm，是因为烧结后的厚度不到0.03μm或者超过0.5μm的话，不能得到充分的增反射效果。之所以将烧结温度限定为130-400°C，是因为不到130°C的话，在复合膜的第2透明导电膜中，会出现表面电阻值变得过高这一不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。此外，超过400°C的话，就不能利用低温方法这一生产上的长处，即会导致制造成本增大生产性降低。此外，尤其是非晶硅、微晶硅、或者使用它们的混合型硅太阳能电池对热较弱，由于烧结工序，会导致转换效率降低。之所以将具有涂膜的基材的烧结时间限定为5-60分钟，是因为如果烧结时间不到下限值的话，在复合膜的第2透明导电膜中，会发生表面电阻值变得过高的不良情况。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。烧结时间超过上限值的话，对特性虽然没有影响，但是会导致制造成本比原本需要的增大，生产性降低。进而，会导致太阳能电池单元的转换效率降低这一不良情况。根据以上，能够形成本发明实施方式3的复合膜。这样，本发明实施方式3的制造方法，通过使用湿式涂布法，能够尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，因此能够更为廉价地制造复合膜。(实施方式4)亚直型薄膜太阳能电池通常具有如下结构，即具有在基材411上形成的复合膜414，在该复合膜414上按照光电转换层415、第1透明导电膜(光的入射侧的透明导电膜)416的顺序叠层而成的结构。复合膜414具有在基材411上形成的导电性反射膜412、以及在该导电性反射膜412上形成的第2透明导电膜413。本发明实施方式4涉及亚直型太阳能电池用复合膜，其包含在亚直型太阳能电池的基材上形成的导电性反射膜、以及在该导电性反射膜上形成的第2透明导电膜。图5是示意性地表示本发明实施方式4的复合膜的剖面的图。本发明实施方式4的复合膜的特征性结构在于如图5所示，(1)利用湿式涂布法在基材411上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物形成导电性反射涂膜，通过烧结导电性反射涂膜，形成导电性反射膜412；⑵导电性反射膜412具有0.05-2.0um的厚度；(3)利用湿式涂布法，在导电性反射涂膜上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，通过湿式涂布法在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结，形成第2透明导电膜413；以及(4)第2透明导电膜413在导电性氧化物微粒层413a的整个表面被粘合剂层413b被覆的状态下，具有0.01-0.5um的厚度。本发明实施方式4的复合膜414，其导电性反射膜412通过利用湿式涂布法在基材411上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成。因此，形成的导电性反射膜412能够得到良好的成膜性及高扩散反射率。另外，本发明实施方式4的复合膜414，其第2透明导电膜413利用湿式涂布法形成。当第2透明导电膜通过溅射法等真空成膜法形成时，该第2透明导电膜的膜的折射率由靶材料的材质决定，因此，在利用溅射法等真空成膜法而形成的第2透明导电膜中，难以得到期望的折射率。而在利用湿式涂布法形成第2透明导电膜时，由于通常是通过涂布导电性氧化物微粒或其他成分混合而成的组合物形成，因此利用湿式涂布法形成的膜，通过对组合物的成分进行调整，能够得到期望的低折射率。该第2透明导电膜所具有的折射率为1.5-2。具有低折射率的第2透明导电膜，对接合的导电性反射膜赋予光学设计上的增反射效果，因此，与利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜接合的导电性反射膜，和与以往利用溅射法等真空成膜法形成的高折射率的第2透明导电膜接合的导电性反射膜相比，能够得到高反射率。禾IJ用湿式涂布法形成的第2透明导电膜中，可以举出例如将同时含有导电性氧化物微粒和粘合剂成分配制而成的组合物涂布之后，进行烧结而形成的单一的第2透明导电膜。而本发明实施方式4的复合膜中的第2透明导电膜，首先在导电性发射涂膜上形成不含粘合剂成分的导电性氧化物微粒的涂膜，在该导电性氧化物微粒层上涂布不包含导电性氧化物微粒的粘合剂分散液，之后在规定的温度下烧结从而形成。即本发明实施方式4的复合膜中的第2透明导电膜，如图5所示，在上层形成不包含导电性氧化物微粒的粘合剂层413b。此外，在与导电性反射膜412的界面附近的下层，由其整个表面被粘合剂层413b被覆、且其一部分由于粘合剂层分散液的涂布而被浸渍的导电性氧化物微粒层413a构成。该导电性氧化物微粒层413a通过烧结，粒子的一部分烧结，确保了高导电性。在本发明实施方式4的复合膜中，由于第2透明导电膜按照如上构成，因此与具有通过同时含有导电性氧化物微粒与粘合剂成分的组合物形成的单一第2透明导电膜的复合膜相比，与作为基底的导电性反射膜的密合性优异。另外，由于在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下形成，因此经时变化小。这样，在本发明的实施方式4的复合膜中，通过利用湿式涂布法形成的具有低折射率的第2透明导电膜所赋予的光学设计上的增反射效果、以及导电性反射膜所具有的良好成膜性及高扩散反射率，能够得到高反射率。另外，其特征在于，出现在导电性反射膜412的第2透明导电膜413侧的接触面上的气孔的平均直径为lOOnm以下，气孔所处的平均深度为lOOnm以下，气孔的数密度为30个/ym2以下。在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，成为可实现理论反射率80%以上的高扩散反射率的导电性反射膜。该波长范围500-1200nm，大致囊括了所有将多晶硅作为光电转换层时的可转换波长。之所以将气孔的平均直径限定为lOOnm以下，是因为虽然通常来说反射光谱会显示出在长波长侧反射率高、在短波长侧反射率低，但是气孔的平均直径超过lOOnm的话，反射率开始降低的拐点会更向长波长侧偏移，因此不能得到良好的反射率。此外，之所以将气孔的平均深度限定为lOOnm以下，是因为如果气孔的平均深度超过lOOnm的话，反射光谱的坡度(倾斜度)就会变大，不能得到良好的反射率。之所以将气孔的数密度限定为30个/ym2以下，是因为如果气孔的数密度超过30个/ym2的话，长波长侧的反射率降低，不能得到良好的反射率。气孔的平均直径优选为5nm-100nm，气孔所处的平均深度优选为5nm-100nm，气孔的数密度优选为2-30个/ym2以下。气孔的平均直径、气孔所处的平均深度以及气孔的数密度不到上述下限值的情况下，烧结时，由于对银纳米粒子进行化学改性的保护剂的有机分子分解而生成的气体的消除会变得不充分，结果，由于残留的有机分子的残渣，导致有可能出现导电性反射膜的导电性及反射率降低，因而不优选。另外，构成复合膜的导电性反射膜包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质，因此能够容易地使出现在导电性反射膜的第2透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为lOOnm以下，平均深度为lOOnm以下，并且数密度为30个/ym2以下。此外，在构成该复合膜的导电性反射膜中，由于膜中所包含的金属元素中的银的比例为75质量％以上，因此能够得到高反射率。如果不到75质量％的话，使用该组合物形成的导电性反射膜的反射率存在降低的倾向。另外，由于构成复合膜的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0um,因此能够得到太阳能电池所必需的电极的表面电阻值。进一步，关于构成复合膜的导电性反射膜在膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围的粒子按照数均计为70%以上，因此能够得到良好的导电性及高反射率。在形成构成第2透明导电膜的导电性氧化物微粒层时，优选使用IT0(IndiUmTinOxide铟锡氧化物)、ATO(AntimonyTinOxide掺锑氧化锡)的氧化锡粉末、或含有从Al、C0、Fe、In、Sn及Ti中选出的1种或者2种以上金属的氧化锌粉末等的导电性氧化物微粒，其中，尤其优选ITO、ATO、AZO(AluminumZincOxide掺铝氧化锌)、IZO(IndiumZincOxide掺铟氧化锌)、TZO(TinZincOxide掺锡氧化锌)。另外，为了得到充分的导电性和良好的成膜性，导电性氧化物微粒的平均粒径优选在2-lOOnm的范围内，其中尤其优选45在5-50nm的范围内。导电性氧化物微粒层，是对上述导电性氧化物微粒分散到分散介质中而成的分散液进行调整，将该分散液通过湿式涂布法涂布而形成。该分散介质除了水之外，还可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等醇类；丙酮、甲基乙基酮、环己酮、异佛尔酮等酮类；甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等烃类；N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类；二甲基亚砜等亚砜类或乙二醇等二醇类；乙基溶纤剂等二醇醚类等。分散液中的分散介质的含量比例，出于得到良好成膜性的目的，优选在50-99.99质量％的范围内。分散液中的导电性氧化物微粒的含量比例，优选在0.01-50质量％的范围内。之所以将导电性氧化物微粒的含量比例限定在上述范围内，是因为不到下限值的话，难以形成均勻的膜，因此不优选；而超过上限值的话，难以形成lOOnm以下厚度的导电性反射膜，因此不优选。在导电性氧化物微粒的分散液中，优选根据使用的其他成分加入偶合剂。这是为了提高导电性微粒与粘合剂的结合性、以及提高第2透明导电膜与光电转换层或导电性反射膜之间的密合性。作为偶合剂，可以举出硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂等。作为硅烷偶合剂，可举出乙烯基三乙氧基硅烷(If二义卜U工卜*****，>)、环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。作为铝偶合剂，可举出下述式(16)所示的含有乙酰烷氧基的铝偶合剂。另外，作为钛偶合剂，可举出下述式(17)-(19)所示的具有焦磷酸二烷基酯基(77>*>/、°4口*7774卜基)的钛偶合剂、以及下述式(20)所示的具有磷酸二烷基酯基的钛偶合剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>粘合剂分散液含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者作为粘合剂成分。其中聚合物型粘合剂，可以举出丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物等。另外，在聚合物型粘合剂中，优选含有铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。作为非聚合物型粘合剂，可以举出金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、双酮以及乙酸烷基酯等。另外，在金属皂、金属配位化合物或金属醇盐中所包含的金属为铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或锑。这些聚合物型粘合剂、非聚合物型粘合剂通过加热固化，能够形成在低温下具有低浊度率及体积电阻率的第2透明导电膜。粘合剂分散液中的这些粘合剂的含量比例，优选在0.01-50质量％的范围内，尤其优选在0.5-20质量％的范围内。在粘合剂分散液的调整中，优选使用与形成导电性氧化物微粒层所用分散液的配制中使用的分散介质同种的分散介质。为了形成均勻的膜，分散介质的含量比例优选在50-99.99质量％的范围内。另外，根据使用的成分，优选加入低电阻化剂或水溶性纤维素衍生物等。作为低电阻化剂，优选从钴、铁、铟、镍、铅、锡、钛及锌的无机酸盐以及有机酸盐中选出的1种或2种以上。例如，可以举出乙酸镍与氯化铁的混合物、环烷酸锌、辛酸锡和氯化锑的混合物、硝酸铟和乙酸铅的混合物、乙酰乙酸钛和辛酸钴的混合物等。这些低电阻化剂的含有比例，优选为0.1-10质量％。另外，通过添加水溶性纤维素衍生物，形成的第2透明导电膜的透明性也得到提高。作为水溶性纤维素衍生物，可举出羟丙基纤维素、羟丙基甲基纤维素等。水溶性纤维素衍生物的添加量，优选在0.1-10质量％的范围内。形成本发明实施方式4的复合膜中的导电性反射膜时所使用的导电性反射膜用组合物，是金属纳米粒子分散在分散介质中而成的组合物。上述金属纳米粒子含有75质量％以上的银纳米粒子，优选含有80质量％以上的银纳米粒子。之所以将银纳米粒子的含量限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为75质量％以上的范围，是因为如果不到75质量％的话，利用该组合物形成的导电性反射膜的反射率会降低。另外，银纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性。之所以将化学改性金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数限定为1-3的范围，是因为当碳原子数为4以上时，保护剂难以被烧结时的热消除或分解(分离、燃烧)，在上述膜内残留有很多有机残渣，从而会变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低。银纳米粒子按数均计，含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，优选含有75%以上。一次粒径在10-50nm范围内的金属纳米粒子的含量，之所以限定为按数均计相对于所有金属纳米粒子100%为70%以上的范围，是因为如果不到70%的话，金属纳米粒子的比表面积增大，从而有机物所占的比例变大，即便是通过烧结时的热容易消除或者分解(分离、燃烧)的有机分子，由于该有机分子所占的比例多，因此膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低，或者金属纳米粒子的粒度分布变宽，导电性反射膜的密度容易降低，引起导电性反射膜的导电性及反射率降低。进一步，之所以将上述金属纳米粒子的一次粒径限定在10-50nm的范围内，是因为按照统计学的方法，一次粒径处于10-50nm范围内的金属纳米粒子与经时稳定性(经年稳定性)相关的缘故。另一方面，银纳米粒子以外的金属纳米粒子，是包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成的金属纳米粒子，该银纳米粒子以外的金属纳米粒子，相对于全部金属纳米粒子100质量％，含有0.02质量％以上且不到25质量％，优选含有0.03质量％-20质量％。银纳米粒子以外的金属纳米粒子的含量，之所以限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为0.02质量％以上且不到25质量％，是因为不到0.02质量％的话，虽然没有特别大的问题，但是在0.02-25质量％这一范围内时，具有耐候性试验(在温度100°C且湿度50%的恒温恒湿槽内保持1000小时的试验)后的导电性反射膜的导电性及反射率，与耐候性试验前相比不会发生恶化这一特征，而在25质量％以上时，刚烧结之后的导电性反射膜的导电性及反射率降低，并且耐候性试验后的导电性反射膜，与耐候性试验前的导电性反射膜相比，导电性及反射率均降低的缘故。另外，导电性反射膜用组合物含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油选出的1种或2种以上的添加物。由于作为添加物包含在组合物中的金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物或硅油，与第2透明导电膜之间的化学性结合或者锚固效果增大、或者使烧结工序中的金属纳米粒子与第2透明导电膜之间的润湿性得以改善，从而能够在不损害导电性的情况下，提高与第2透明导电膜的密合性。使用不包含上述金属氧化物等的组合物形成导电性反射膜的话，形成的导电性反射膜的表面粗糙度虽然变大，但是由于对于导电性反射膜表面的凹凸形状，存在使光电转换效率最佳的条件，因此仅仅是表面粗糙度大的话，不能形成光电转换效率优异的导电性反射膜表面。而像本发明实施方式4的组合物那样，通过调整金属氧化物等的种类、浓度等，能够形成具有最佳化表面粗糙度的表面。添加物的含量为构成金属纳米粒子的银纳米粒子的质量的0.1_20%，优选为0.2-10%。添加物的含量不到0.的话，有可能出现平均直径大的气孔，或者气孔的密度变高。添加物的含量超过20%的话，会对形成的导电性反射膜的导电性造成不良影响，导致出现体积电阻率超出2Χ10_5Ω·cm的不良情况。作为添加物使用的有机高分子，使用从聚乙烯吡咯烷酮(Polyvinylpyrrolidone；以下称之为PVP)、PVP的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。具体来说，作为PVP的共聚物，可举出PVP-甲基丙烯酸酯共聚物、PVP-苯乙烯共聚物、PVP-乙酸乙烯共聚物等。另外，作为水溶性纤维素，可举出羟丙基甲基纤维素、甲基纤维素、羟乙基甲基纤维素等纤维素醚。作为添加物使用的金属氧化物，可以举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。复合氧化物具体为ΙΤ0、ΑΤΟ、IZO等。作为添加物使用的金属氢氧化物，可举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。作为添加物使用的有机金属化合物，可以举出从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。例如，金属皂可举出乙酸铬、甲酸锰、柠檬酸铁、甲酸钴、乙酸镍、柠檬酸银、乙酸铜、柠檬酸铜、乙酸锡、乙酸锌、草酸锌、乙酸钼等。另外，作为金属配位化合物，可以举出乙酰丙酮锌配位化合物、乙酰丙酮铬配位化合物、乙酰丙酮镍配位化合物等。另外，作为金属醇盐，可以举出异丙醇钛、硅酸甲基酯、彳〃7少卜丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷等。作为添加物使用的硅油，可以采用直链硅油及改性硅油两者。改性硅油，可以使用还在聚硅氧烷的侧链的一部分导入有机基团的物质(侧链型)、在聚硅氧烷的两末端导入有机基团的物质(两末端型)、在聚硅氧烷的两末端中的任一个中导入有机基团的物质(单末端型)、以及在聚硅氧烷的侧链的一部分和两末端导入有机基团的物质(侧链两末端型)。改性硅油有反应性硅油和非反应性硅油，但是这两种均可以作为本发明实施方式4的添加物使用。此外，所谓反应性硅油，显示出氨基改性、环氧基改性、羧基改性、甲醇改性、巯基改性、以及异种官能基改性(环氧基、氨基、聚醚基)，所谓非反应性硅油，显示出聚醚改性、甲基苯乙烯基改性、烷基改性、高级脂肪酸酯改性、氟改性、以及亲水特殊改性。构成导电性反射膜用组合物的分散介质，优选包含醇类、或者含醇类水溶液。作为分散介质使用的醇类，可以举出从甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、甘油、异冰片己醇及赤藓醇选出的1种或2种以上。含醇类水溶液，相对于全部分散介质100质量％，含有1质量％以上、优选为2质量％以上的水、以及2质量％以上、优选为3质量％以上的醇类为宜。例如，当分散介质仅由水和醇类构成的情况下，含有的水为2质量％时，就含有醇类98质量％，当醇类含有2质量％时，水就含有98质量％。水的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为1质量％以上的范围，是因为如果不到1质量％的话，通过湿式涂布法涂布导电性反射膜用组合物得到的膜在低温下难以烧结，并且烧结后的膜的导电性和反射率降低；醇类的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为2质量％以上的范围，是因为如果不到2质量％的话，和上述一样，利用湿式涂布法涂布组合物得到的膜在低温下难以烧结，而且烧结后的电极的导电性和反射率会降低。进一步，分散介质，即对金属纳米粒子表面进行化学改性的保护分子，优选含有羟基(-0H)或羰基(-C=0)中的任一或两者。在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羟基(-0H)的话，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用，在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羰基(-C=0)的话，和上述一样，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用。制备所使用的导电性反射膜用组合物的方法如下所述。(a)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时首先，将硝酸银溶解到去离子水等水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水等水中，在得到的浓度为10-40%的柠檬酸钠水溶液中，在氮气等惰性气体的气流中直接加入粒状或粉状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在上述惰性气体气流中边搅拌上述还原剂水溶液，边在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。其中，优选使金属盐水溶液的添加量为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过对各溶液的浓度进行调整，使即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也保持在30-60°C。另外，上述两水溶液的混合比调制成作为还原剂加入的亚铁离子的当量为金属离子的当量的3倍，也即满足(金属盐水溶液中的金属离子的摩尔数)X(金属离子的价数)=3X(还原剂水溶液中的亚铁离子)这一关系式。在金属盐水溶液的滴加结束后，进一步持续搅拌混合液10-300分钟，配制包含金属胶体的分散液。将该分散液在室温下放置，利用倾析或离心分离法等将沉降的金属纳米离子的凝集物分离之后，在该分离物中加入去离子水等水制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而连续利用醇类进行置换洗涤，使金属(银)的含量为2.5-50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力分离粗粒子，由此调整成银纳米粒子按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，即调整成按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为70%以上。这样，获得化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。接着，对得到的分散体进行调整，使最终的金属含量(银含量)相对于分散体100质量％为2.5-95质量％的范围。另外，分散介质为含醇类水溶液时，优选将溶剂的水及醇类分别调整为以上及2%以上。此外，如果在组合物中进一步含有添加物的话，通过在分散体中按照期望的比例添加从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的一种或者2种以上的添加物而进行。对添加物的含量进行调整，使其相对于得到的组合物100质量％在0.1-20质量％的范围内。由此，得到银纳米粒子分散于分散介质而成的组合物，其中该银纳米粒子被碳骨架的碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。(b)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为苹果酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2的分散体。(c)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为乙醇酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1的分散体。(d)化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时作为构成银纳米粒子以外金属纳米粒子的金属，可以举出金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰。除了将配制金属盐水溶液时所使用的硝酸银替换为氯金酸、氯钼酸、硝酸钯、三氯化钌、氯化镍、硝酸亚铜、二氯化锡、硝酸铟、氯化锌、硫酸铁、硫酸铬或硫酸锰之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。另外，化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2时，除了将配制金属盐水溶液时所用的硝酸银替换为上述种类的金属盐外，与上述(b)或者上述(c)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2的分散体。作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的情况下，例如，将用上述(a)的方法制造的包含银纳米粒子的分散体作为第1分散体，将用上述(d)的方法制造的包含银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散体作为第2分散体的话，混和75质量％以上的第1分散体与不到25质量％的第2分散体，使第1分散体和第2分散体的合计含量为100质量％。此外，第1分散体不仅限于用上述(a)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体，用上述(b)的方法制造的包含银纳米粒子的分散体或者用上述(c)方法制造的包含银纳米粒子的分散体也可以使用。接着，对本发明实施方式4的复合膜的制造方法进行说明。在本发明实施方式4的制造方法中，首先，在基材411上通过湿式涂布法涂布上述导电性反射膜用组合物。这里所说的涂布，是使得烧结后的厚度为0.05-2.0μm、优选为0.1-1.5μπι的厚度。接着，在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥该涂膜1_30分钟，优选2-10分钟。这样形成导电性反射涂膜。接着，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有导电性反射涂膜的基材411在130-400°C、优选150-350°C的温度下，保持5_60分钟，优选保持15-40分钟进行烧结，形成导电性反射膜412。接着，如图6所示，通过湿式涂布法，在该导电性反射膜412上涂布导电性氧化物微粒分散于分散介质中并进行调整而得到的上述分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜423a。在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥该涂膜423a1_30分钟，优选2_10分钟。接着，通过湿式涂布法，在导电性氧化物微粒的涂膜423a上使上述粘合剂分散液浸渍，进行涂布使上述导电性氧化物微粒的涂膜423a的整个表面被粘合剂分散液的涂膜423b被覆。另外，这里所说的涂布，优选使涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量，相对于涂布后的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的微粒的总质量，为0.5-10的质量比(涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性氧化物微粒的质量)。如果不到下限值的话，难以得到充分的密合性，而超过上限值的话，表面电阻容易增大。其中，尤其优选质量比为0.5-3。在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥该涂膜1_30分钟，优选2_10分钟。上述导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液的涂布，是按照使烧结后形成的第2透明导电膜的厚度为0.01-0.5μm、优选为0.03-0.1μm的方式进行的。这样，形成包含导电性氧化物微粒的涂膜423a、以及粘合剂分散液的涂膜423b的透明导电涂膜423。接着，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有透明导电涂膜423的基材411在130-400°C、优选150-350°C的温度下，保持5-60分钟，优选保持15-40分钟，进行烧结，形成第2透明导电膜。湿式涂布法，尤其优选喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。但是，并不限于这些涂布法，可以使用任何方法。喷涂法是通过压缩空气将分散体雾状化然后涂布到基材上、或者对分散体本身加压使其雾状化然后涂布在基材上的方法；点胶机(dispenser)涂布法是例如将分散体装入到注射器中，通过推动该注射器的活塞来从注射器前端的微细喷嘴中排出分散体从而涂布在基材上的方法；旋涂法是在旋转的基材上滴下分散体，通过其离心力将该滴下的分散体扩散到基材周缘的方法；刮刀涂布法是可水平方向移动地设置与刮刀前端隔开规定缝隙的基材，向比该刮刀上游侧的基材上供给分散体，使基材向着下游侧水平移动的方法；狭缝涂布法是使分散体由狭窄的狭缝流出从而在基材上涂布的方法；喷墨涂布法是在市售的喷墨打印机的墨盒中填充分散体，在基材上进行喷墨式打印的方法。网版印刷法是使用纱线作为图案指示材料，通过在其上制成的原版图像，将分散体转移到基材上的方法；胶版印刷法是使附于胶版的分散体不直接附着到基材上，而是从胶版一次性转印到橡胶片材上，再从橡胶片材转移到基材上，利用了墨水的疏水性的印刷方法；铸模(die)涂布法是利用歧管将供给到铸模内的分散体进行分配，从狭缝推压到薄膜上，然后涂布到移动的基材表面上的方法。铸模(die)涂布法有条缝涂布方式、滑动涂布方式、幕帘涂布方式。其中，之所以涂布导电性反射膜用组合物使烧结后的导电性反射膜的厚度为0.05-2.Oym,是因为如果不到0.05μm的话，表面电阻值变得过高，从而不能充分地得到作为太阳能电池的电极所需要的导电性，而超过2.Ομπι的话，虽然没有特性上的不良情况，但是材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。另外，之所以涂布导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液使烧结后的第2透明导电膜的厚度为0.01-0.5μm，是因为如果不到0.01μm的话，难以形成均勻的膜，而超过0.5μm的话，材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。之所以将烧结温度限定为130-400°C，是因为不到130°C的话，会出现复合膜中的第2透明导电膜的表面电阻值变得过高这一不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时由于保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。此外，超过400°C的话，就不能利用低温方法这一生产上的长处，即会导致制造成本增大生产性降低。此外，尤其是非晶硅、微晶硅、或者使用它们的混合型硅太阳能电池对热较弱，由于烧结工序，会导致转换效率降低。之所以将具有涂膜的基材的烧结时间限定为5-60分钟，是因为如果烧结时间不到下限值的话，会出现复合膜的第2透明导电膜的表面电阻值变得过高的不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时由于保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此在烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。烧结时间超过上限值的话，对特性虽然没有影响，但是会导致制造成本比原本需要的增大，生产性降低。进而，会导致太阳能电池单元的转换效率降低这一不良情况。根据以上，能够形成本发明实施方式4的复合膜。这样，本发明实施方式4的制造方法，由于使用湿式涂布法，因而能够尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，能够更为廉价地制造复合膜。(实施方式5)超直型薄膜太阳能电池通常具有在基材上按照第1透明导电膜(光的入射侧的透明导电膜)、光电转换层顺序叠层，进而在光电转换层上形成第2透明导电膜，在该第2透明导电膜上形成导电性反射膜的结构。本发明实施方式5涉及超直型太阳能电池用复合膜，其具有在超直型太阳能电池的光电转换层上形成的第2透明导电膜、以及在该第2透明导电膜上形成的导电性反射膜。图7是示意性地表示本发明实施方式5的复合膜516的剖面的图。本发明实施方式5的复合膜的特征性结构在于如图7所示，(1)在光电转换层513上，通过湿式涂布法涂布导电性氧化物微粒的分散液，从而形成导电性氧化物微粒的涂膜后，利用湿式涂布法，在导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结，由此形成第2透明导电膜514；以及(2)第2透明导电膜514具有光电转换层513上的含有粘合剂成分的第1层514a、以及该第1层514a的体积的1-30%从第1层514a露出的不含粘合剂成分的第2层514b。第2透明导电膜通过溅射法等真空成膜法形成时，该第2透明导电膜的膜的折射率由靶材料的材质决定，因此，利用溅射法等真空成膜法形成的第2透明导电膜中，难以得到期望的折射率。而利用湿式涂布法形成第2透明导电膜时，由于通常是通过涂布导电性氧化物微粒或其他成分混合而成的组合物而形成，因此利用湿式涂布法形成的膜，通过对组合物的成分进行调整，能够得到期望的低折射率。该第2透明导电膜所具有的折射率为1.5-2。具有低折射率的第2透明导电膜，对接合的导电性反射膜赋予光学设计上的增反射效果，因此，与利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜接合的导电性反射膜，和与以往利用溅射法等真空成膜法形成的高折射率的第2透明导电膜接合的导电性反射膜相比，能够得到高反射率。在利用湿式涂布法形成的第2透明导电膜中，可以举出例如将同时含有导电性氧化物微粒和粘合剂成分配制而成的组合物涂布之后，进行烧结而形成的单一的第2透明导电膜。而本发明实施方式5的复合膜中的第2透明导电膜，首先在光电转换层上形成不含粘合剂成分的导电性氧化物微粒的涂膜，在该导电性氧化物微粒的涂膜上涂布、并浸渍不含导电性氧化物微粒的粘合剂分散液，由此在导电性氧化物微粒的涂膜的一部分从涂布后的粘合剂分散液露出的状态下被烧结，从而形成。即本发明实施方式5的复合膜中的第2透明导电膜514，如图7所示，其下层由包含粘合剂成分的导电性氧化物微粒层，即第1层514a构成。另外，其上层由从粘合剂分散液露出而形成的不含粘合剂成分的导电性氧化物微粒层，即第2层514b构成。在本发明实施方式5的复合膜中，由于第2透明导电膜按照如上构成，因此与具有涂布并烧结同时含有导电性氧化物微粒与粘合剂成分的组合物而形成的单一的第2透明导电膜的复合膜相比，在构成太阳能电池单元时，作为决定转换效率的因素之一的填充因子(7^77夕夕一)增大。之所以将第2层514b限定为是第1层514a的体积的1-30%，是为了得到充分的密合性和高填充因子。如果不到下限值的话，填充因子减小，而超过上限值的话，密合性降低。第2透明导电膜514的厚度为0.01-0.5μm，另外导电性反射膜515的厚度为0.05-2.Oμm。第2透明导电膜的厚度不到下限值的话，太阳能电池单元的短幅电流降低，而超过上限值的话，填充因子会显著减小。其中，第2透明导电膜的厚度优选为0.05-0.1μm0导电性反射膜的厚度如果不到下限值的话，太阳能电池单元的短幅电流降低，而超过上限值的话，材料的使用量会比原本需要的多，造成材料的浪费。另外，导电性反射膜515，通过利用湿式涂布法，在第2透明导电膜514上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成。因此，形成的导电性反射膜具有能够得到良好的成膜性及高扩散反射率的特征。在玻璃等基材上成膜的情况下，即便利用溅射法等真空蒸镀法来成膜，也能够得到良好的成膜性及高扩散反射率。但是，利用溅射法等真空蒸镀法，在使用湿式涂布法形成的第2透明导电膜上成膜的话，在第2透明导电膜中残留的溶齐U，会给成膜后的导电性反射膜造成不良影响，因此难以成膜为具有高反射率的导电性反射膜。这样，在本发明实施方式5的复合膜中，通过利用湿式涂布法形成的具有低折射率的第2透明导电膜所赋予的光学设计上的增反射效果、以及导电性反射膜所具有的良好成膜性及高扩散反射率，能够得到高反射率。此外，其特征在于，出现在导电性反射膜515的光电转换层513侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，气孔所处的平均深度为IOOnm以下，气孔的数密度为30个/μm2以下。在使用透过率为98%以上的透光性基材时，在波长500-1200nm的范围内，成为可实现理论反射率80%以上的高扩散反射率的导电性反射膜。该波长范围500-1200nm，大致囊括了所有将多晶硅作为光电转换层时的可转换波长。之所以将气孔的平均直径限定为IOOnm以下，是因为虽然通常来说反射光谱会显示出在长波长侧反射率高、在短波长侧反射率低，但是气孔的平均直径超过IOOnm的话，反射率开始降低的拐点会更向长波长侧偏移，因此不能得到良好的反射率。此外，之所以将气孔的平均深度限定为IOOnm以下，是因为如果气孔的平均深度超过IOOnm的话，反射光谱的坡度(倾斜度)就会变大，不能得到良好的反射率。之所以将气孔的数密度限定为30个/μm2以下，是因为如果气孔的数密度超过30个/μm2的话，长波长侧的反射率降低，不能得到良好的反射率。气孔的平均直径优选为5nm-100nm，气孔所处的平均深度优选为5nm-100nm，气孔的数密度优选为2-30个/μm2以下。气孔的平均直径、气孔所处的平均深度以及气孔的数密度不到上述下限值的情况下，烧结时，由于对银纳米粒子进行化学改性的保护剂的有机分子分解而生成的气体的消除会变得不充分，结果，由于残留的有机分子的残渣，导致有可能出现导电性反射膜的导电性及反射率降低，因而不优选。另外，构成复合膜的导电性反射膜，由于包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质，因此能够容易地使出现在导电性反射膜的第2透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，平均深度为IOOnm以下，并且数密度为30个/μm2以下。此外，在构成该复合膜的导电性反射膜中，由于膜中所包含的金属元素中的银的比例为75质量％以上，因此能够得到高反射率。如果不到75质量％的话，使用该组合物形成的导电性反射膜的反射率存在降低的倾向。另外，由于构成复合膜的导电性反射膜的厚度为0.05-2.0μm,因此能够得到太阳能电池所必需的电极的表面电阻值。进一步，关于构成复合膜的导电性反射膜在膜中所包含的金属纳米粒子，粒径在10-50nm范围的粒子，按照数均计为70%以上，因此能够得到良好的导电性及高反射率。在形成第2透明导电膜时，优选使用ITO(IndiumTinOxide铟锡氧化物)、ATO(AntimonyTinOxide掺锑氧化锡)的氧化锡粉末、或含有从Al、Co、Fe、In、Sn及Ti中选出的1种或者2种以上金属的氧化锌粉末等导电性氧化物微粒，其中，尤其优选ΙΤ0、ΑΤΟ、AZO(AluminumZincOxide掺铝氧化锌)、IZO(IndiumZincOxide掺铟氧化锌)、TZO(TinZincOxide掺锡氧化锌)。导电性氧化物微粒的平均粒径，从得到充分的导电性及良好的成膜性这一目的出发，优选在2-lOOnm的范围内，其中尤其优选在5-50nm的范围内。导电性氧化物微粒的涂膜，是对上述导电性氧化物微粒分散到分散介质中而成的分散液进行调整，利用湿式涂布法涂布该分散液而形成的。对于该分散介质，除了水之外，还可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等醇类；丙酮、甲基乙基酮、环己酮、异佛尔酮等酮类；甲苯、二甲苯、己烷、环己烷等烃类；N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺类；二甲基亚砜等亚砜类或乙二醇等二醇类；乙基溶纤剂等二醇醚类等。为了得到良好的成膜性，分散液中的分散介质的含有比例优选在50-99.99质量％的范围内。分散液中的导电性氧化物微粒的含有比例，优选在0.01-50质量％的范围内。之所以将导电性氧化物微粒的含有比例限定在上述范围内，是因为如果不到下限值的话，难以形成均勻的膜，因此不优选，而超过上限值的话，难以形成厚度为500nm以下的第2透明导电膜，因此也不优选。在导电性氧化物微粒的分散液中，优选根据使用的其他成分加入偶合剂。这是为了提高导电性微粒与粘合剂之间的结合性、以及提高第2透明导电膜与光电转换层或导电性反射膜之间的密合性。作为偶合剂，可以举出硅烷偶合剂、铝偶合剂以及钛偶合剂等。作为硅烷偶合剂，可举出乙烯基三乙氧基硅烷(Ii二义卜U工卜***，^)、Y-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等。作为铝偶合剂，可举出下述式(21)所示的含有乙酰烷氧基的铝偶合剂。另外，作为钛偶合剂，可举出下述式(22)-(24)所示的具有焦磷酸二烷基酯基(77>*>^<口;t、ζ77<卜基)的钛偶合剂、以及下述式(25)所示的具有磷酸二烷基酯基的钛偶合剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage56</formula>粘合剂分散液含有通过加热而固化的聚合物型粘合剂或者非聚合物型粘合剂中的任一或两者作为粘合剂成分。其中聚合物型粘合剂，可以举出丙烯酸树脂、聚碳酸酯、聚酯、醇酸树脂、聚氨酯、丙烯酸聚氨酯、聚苯乙烯、聚缩醛、聚酰胺、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、纤维素以及硅氧烷聚合物等。另外，在聚合物型粘合剂中，优选含有铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐的水解反应物。作为非聚合物型粘合剂，可以举出金属皂、金属配位化合物、金属醇盐、卤代硅烷类、2-烷氧基乙醇、β-双酮以及乙酸烷基酯等。另外，金属皂、金属配位化合物或金属醇盐中所包含的金属为铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟或锑。这些聚合物型粘合剂、非聚合物型粘合剂通过加热固化，能够形成在低温下具有低浊度率及体积电阻率的第2透明导电膜。粘合剂分散液中的这些粘合剂的含量比例，优选在0.01-50质量％的范围内，尤其优选在0.5-20质量％的范围内。在粘合剂分散液的调整中，优选使用与形成导电性氧化物微粒层所用分散液的配制中使用的分散介质同种的分散介质。为了形成均勻的膜，分散介质的含量比例优选在50-99.99质量％的范围内。另外，根据使用的成分，优选加入低电阻化剂或水溶性纤维素衍生物等。作为低电阻化剂，优选从钴、铁、铟、镍、铅、锡、钛及锌的无机酸盐以及有机酸盐中选出的1种或2种以上。例如，可以举出乙酸镍与氯化铁的混合物、环烷酸锌、辛酸锡和氯化锑的混合物、硝酸铟和乙酸铅的混合物、乙酰乙酸钛和辛酸钴的混合物等。这些低电阻化剂的含有比例，优选为0.1-10质量％。另外，通过添加水溶性纤维素衍生物，形成的第2透明导电膜的透明性也得到提高。作为水溶性纤维素衍生物，可举出羟丙基纤维素、羟丙基甲基纤维素等。水溶性纤维素衍生物的添加量，优选在0.1-10质量％的范围内。形成本发明实施方式5的复合膜中的导电性反射膜时所使用的导电性反射膜用组合物，是金属纳米粒子分散在分散介质中而成的组合物。上述金属纳米粒子含有75质量％以上的银纳米粒子，优选含有80质量％以上的银纳米粒子。之所以将银纳米粒子的含量限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为75质量％以上的范围，是因为如果不到75质量％的话，利用该组合物形成的导电性反射膜的反射率会降低。另外，银纳米粒子被碳骨架是碳原子数1-3的有机分子主链的保护剂所化学改性。之所以将化学改性金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数限定为1-3的范围，是因为当碳原子数为4以上时，保护剂难以被烧结时的热消除或分解(分离、燃烧)，在上述膜内残留有很多有机残渣，从而会变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率降低。银纳米粒子按数均计，含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，优选75%以上。一次粒径在10-50nm范围内的金属纳米粒子的含量，之所以限定为按数均计相对于全部金属纳米粒子100%为70%以上的范围，是因为如果不到70%的话，金属纳米粒子的比表面积增大，从而有机物所占的比例变大，即便是通过烧结时的热容易消除或者分解(分离、燃烧)的有机分子，由于该有机分子所占的比例多，因此膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，从而导致导电性反射膜的导电性及反射率降低，或者金属纳米粒子的粒度分布变宽，导电性反射膜的密度容易降低，引起导电性反射膜的导电性及反射率降低。进一步，之所以将上述金属纳米粒子的一次粒径限定在10-50nm的范围内，是因为按照统计学的方法，一次粒径处于10-50nm范围内的金属纳米粒子与经时稳定性(经年稳定性)相关的缘故。另一方面，银纳米粒子以外的金属纳米粒子，是包含从金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰中选出的1种或2种以上的混合组成或者合金组成的金属纳米粒子，该银纳米粒子以外的金属纳米粒子，相对于全部金属纳米粒子100质量％，含有0.02质量％以上且不到25质量％，优选含有0.03质量％-20质量％。银纳米粒子以外的金属纳米粒子的含量，之所以限定为相对于全部金属纳米粒子100质量％为0.02质量％以上且不到25质量％，是因为不到0.02质量％的话，虽然没有特别大的问题，但是在0.02-25质量％这一范围内时，具有耐候性试验(在温度100°C且湿度50%的恒温恒湿槽内保持1000小时的试验)后的导电性反射膜的导电性及反射率，与耐候性试验前相比不会发生恶化这一特征，而在25质量％以上时，刚烧结之后的导电性反射膜的导电性及反射率降低，并且耐候性试验后的导电性反射膜，与耐候性试验前的导电性反射膜相比，导电性及反射率均降低的缘故。另外，导电性反射膜用组合物，含有从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油选出的1种或2种以上的添加物。由于作为添加物包含在组合物中的金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物或硅油，与第2透明导电膜的化学性结合或者锚固效果增大、或者使烧结工序中的金属纳米粒子与第2透明导电膜之间的润湿性得以改善，从而能够在不损害导电性的情况下，提高与第2透明导电膜的密合性。使用不含上述金属氧化物等的组合物形成导电性反射膜的话，形成的导电性反射膜的表面粗糙度虽然变大，但是由于对于导电性反射膜表面的凹凸形状，存在使光电转换效率最佳的条件，因此仅仅是表面粗糙度大的话，不能形成光电转换效率优异的导电性反射膜表面。而像本发明实施方式5的组合物那样，通过调整金属氧化物等的种类、浓度等，能够形成具有最佳化表面粗糙度的表面。添加物的含量为构成金属纳米粒子的银纳米粒子的质量的0.1_20%，优选为0.2-10%。添加物的含量不到0.的话，有可能出现平均直径大的气孔，或者气孔的密度变高。添加物的含量超过20%的话，会对形成的导电性反射膜的导电性造成不良影响，导致出现体积电阻率超出2Χ10_5Ω·cm的不良情况。作为添加物使用的有机高分子，使用从聚乙烯吡咯烷酮(Polyvinylpyrrolidone；以下称之为PVP)、PVP的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上。具体来说，作为PVP的共聚物，可举出PVP-甲基丙烯酸酯共聚物、PVP-苯乙烯共聚物、PVP-乙酸乙烯共聚物等。另外，作为水溶性纤维素，可举出羟丙基甲基纤维素、甲基纤维素、羟乙基甲基纤维素等纤维素醚。作为添加物使用的金属氧化物，可以举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氧化物或者复合氧化物。复合氧化物具体为ΙΤ0、ΑΤΟ、IZO等。作为添加物使用的金属氢氧化物，可举出包含从铝、硅、钛、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼、锡、铟及锑中选出的至少1种的氢氧化物。作为添加物使用的有机金属化合物，可以举出从硅、钛、铝、锑、铟、铬、锰、铁、钴、镍、银、铜、锌、钼或锡中选出的至少1种的金属皂、金属配位化合物或者金属醇盐。例如，金属皂可举出乙酸铬、甲酸锰、柠檬酸铁、甲酸钴、乙酸镍、柠檬酸银、乙酸铜、柠檬酸铜、乙酸锡、乙酸锌、草酸锌、乙酸钼等。另外，作为金属配位化合物，可以举出乙酰丙酮锌配位化合物、乙酰丙酮铬配位化合物、乙酰丙酮镍配位化合物等。另外，作为金属醇盐，可以举出异丙醇钛、硅酸甲基酯、彳y7少卜丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷等。作为添加物使用的硅油，可以采用直链硅油及改性硅油两者。改性硅油，可以使用还在聚硅氧烷的侧链的一部分导入有机基团的物质(侧链型)、在聚硅氧烷的两末端导入有机基团的物质(两末端型)、在聚硅氧烷的两末端中的任一个中导入有机基团的物质(单末端型)、以及在聚硅氧烷的侧链的一部分和两末端导入有机基团的物质(侧链两末端型)。改性硅油有反应性硅油和非反应性硅油，但是这两种均可以作为本发明实施方式5的添加物使用。此外，所谓反应性硅油，显示出氨基改性、环氧基改性、羧基改性、甲醇改性、巯基改性、以及异种官能基改性(环氧基、氨基、聚醚基)，所谓非反应性硅油，显示出聚醚改性、甲基苯乙烯基改性、烷基改性、高级脂肪酸酯改性、氟改性、以及亲水特殊改性。构成导电性反射膜用组合物的分散介质，优选包含醇类、或者含醇类水溶液。作为分散介质使用的醇类，可以举出从甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇、甘油、异冰片己醇及赤藓醇选出的1种或2种以上。含醇类水溶液，相对于全部分散介质100质量％，含有1质量％以上、优选为2质量％以上的水、以及2质量％以上、优选为3质量％以上的醇类为宜。例如，当分散介质仅由水和醇类构成的情况下，含有的水为2质量％时，就含有醇类98质量％，当醇类含有2质量％时，水就含有98质量％。水的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为1质量％以上的范围，是因为如果不到1质量％的话，通过湿式涂布法涂布导电性反射膜用组合物得到的膜在低温下难以烧结，并且烧结后的膜的导电性和反射率降低；醇类的含量，之所以限定为相对于全部分散介质100质量％为2质量％以上的范围，是因为如果不到2质量％的话，和上述一样，利用湿式涂布法涂布组合物得到的膜在低温下难以烧结，而且烧结后的电极的导电性和反射率会降低。进一步，分散介质，即对金属纳米粒子表面进行化学改性的保护分子，优选含有羟基(-0H)或羰基(-C=0)中的任一或两者。在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羟基(-0H)的话，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用，在对银纳米粒子等金属纳米粒子进行化学改性的保护剂中含有羰基(-C=0)的话，和上述一样，组合物的分散稳定性优异，在涂膜的低温烧结方面也具有有效的作用。制备所使用的导电性反射膜用组合物的方法如下所述。(a)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时首先，将硝酸银溶解到去离子水等水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水等水中，在得到的浓度为10-40%的柠檬酸钠水溶液中，在氮气等惰性气体的气流中直接加入粒状或粉状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在上述惰性气体气流中边搅拌上述还原剂水溶液，边在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。其中，优选使金属盐水溶液的添加量为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过对各溶液的浓度进行调整，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也保持在30-60°C。另外，上述两水溶液的混合比，调整成作为还原剂加入的亚铁离子的当量为金属离子的当量的3倍，也即满足(金属盐水溶液中的金属离子的摩尔数)X(金属离子的价数)=3X(还原剂水溶液中的亚铁离子)这一关系式。在金属盐水溶液的滴加结束后，进一步持续搅拌混合液10-300分钟，配制包含金属胶体的分散液。将该分散液在室温下放置，利用倾析或离心分离法等将沉降的金属纳米离子的凝集物分离之后，在该分离物中加入去离子水等水制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而连续利用醇类进行置换洗涤，使金属(银)的含量为2.5-50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力分离粗粒子，由此使银纳米粒子按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子70%以上，即按照数均计，使一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为70%以上。这样，获得化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。接着，对得到的分散体进行调整，使最终的金属含量(银含量)相对于分散体100质量％为2.5-95质量％。另外，分散介质为含醇类水溶液时，优选将溶剂的水及醇类分别调整为以上及2%以上。此外，如果在组合物中进一步含有添加物的话，通过在分散体中按照期望的比例添加从有机高分子、金属氧化物、金属氢氧化物、有机金属化合物以及硅油中选出的一种或者2种以上的添加物而进行。对添加物的含量进行调整，使其相对于得到的组合物100质量％在0.1-20质量％的范围内。由此，得到银纳米粒子分散于分散介质而成的组合物，其中该银纳米粒子被碳骨架的碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。(b)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为苹果酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为2的分散体。(c)化学改性银纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1时除了将配制还原剂水溶液时所用的柠檬酸钠替换为乙醇酸钠之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1的分散体。(d)化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3时作为构成银纳米粒子以外的金属纳米粒子的金属，可以举出金、白金、钯、钌、镍、铜、锡、铟、锌、铁、铬以及锰。除了将配制金属盐水溶液时所使用的硝酸银替换为氯金酸、氯钼酸、硝酸钯、三氯化钌、氯化镍、硝酸亚铜、二氯化锡、硝酸铟、氯化锌、硫酸铁、硫酸铬或硫酸锰之外，与上述(a)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为3的分散体。另外，化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2时，除了将配制金属盐水溶液时所用的硝酸银替换为上述种类的金属盐外，与上述(b)或者上述(c)同样操作，制备分散体。由此，得到化学改性银纳米粒子以外金属纳米粒子的保护剂的有机分子主链的碳骨架之碳原子数为1或2的分散体。作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外的金属纳米粒子的情况下，例如，将用上述(a)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体作为第1分散体，将用上述(d)的方法制造的含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散体作为第2分散体的话，混和75质量％以上的第1分散体与不到25质量％的第2分散体，使第1分散体和第2分散体的合计含量为100质量％。此外，第1分散体不仅限于用上述(a)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体，用上述(b)的方法制造的含有银纳米粒子的分散体或者用上述(c)方法制造的含有银纳米粒子的分散体也可以使用。接着，对本发明实施方式5的复合膜的制造方法进行说明。在本发明实施方式5的制造方法中，如图8所示，首先，在通过第1透明导电膜512叠层于基材511上的超直型太阳能电池的光电转换层513上，利用湿式涂布法，涂布导电性氧化物微粒分散于分散介质中进行调整而成的上述分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜524a。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度为0.01-0.5μm、优选为0.05-0.1μm的厚度。在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥该涂膜524a1-30分钟，优选2_10分钟。接着，通过湿式涂布法，在导电性氧化物微粒的涂膜524a上使上述粘合剂分散液524b浸渍。此时，使粘合剂分散液524b完全浸渍到导电性氧化物微粒的涂膜524a的规定深度，以使烧结后形成的第2透明导电膜中，不含粘合剂成分的第2层露出第1层体积的1-30%。另外，这里所说的涂布，优选涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量，相对于涂布后的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的微粒总质量，为0.05-0.5的质量比(涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性氧化物微粒的质量)。如果不到下限值的话，那么难以得到充分的密合性，而超过上限值的话，表面电阻容易增大。包含浸渍了粘合剂分散液524b的导电性氧化物微粒的涂膜524a的透明导电涂膜524，在温度20_120°C、优选25-60°C下，干燥1-30分钟，优选干燥2-10分钟。接着，利用湿式涂布法在透明导电涂膜524上涂布上述导电性反射膜用组合物。这里所说的涂布，是使烧结后的厚度为0.05-2.0μm、优选为0.1-1.5μm的厚度。接着，在温度20-120°C、优选25-60°C下，干燥涂膜1_30分钟，优选2_10分钟。这样形成导电性反射涂膜525。湿式涂布法，尤其优选喷涂法、点胶机(dispenser)涂布法、旋涂法、刮刀涂布法、狭缝涂布法、喷墨涂布法、网版印刷法、胶版印刷法或铸模(die)涂布法中的任一种。但是，并不限于这些涂布法，可以使用任何方法。喷涂法是通过压缩空气将分散体雾状化然后涂布到基材上、或者对分散体本身加压使其雾状化然后涂布到基材上的方法；点胶机(dispenser)涂布法是例如将分散体装入到注射器中，通过推动该注射器的活塞从注射器前端的微细喷嘴中排出分散体从而涂布在基材上的方法；旋涂法是在旋转的基材上滴下分散体，通过其离心力将该滴下的分散体扩散到基材周缘的方法；刮刀涂布法是可水平方向移动地设置与刮刀前端隔开规定缝隙的基材，向比该刮刀上游侧的基材上供给分散体，使基材向着下游侧水平移动的方法；狭缝涂布法是使分散体由狭窄的狭缝流出从而在基材上涂布的方法；喷墨涂布法是在市售的喷墨打印机的墨盒中填充分散体，在基材上进行喷墨式打印的方法。网版印刷法是使用纱线作为图案指示材料，通过在其上制成的原版图像，将分散体转移到基材上的方法；胶版印刷法是使附于胶版的分散体不直接附着到基材上，而是从胶版一次性转印到橡胶片材上，再从橡胶片材转移到基材上，利用墨水的疏水性的印刷方法；铸模(die)涂布法是利用歧管将供给到铸模内的分散体进行分配，从狭缝推压到薄膜上，然后涂布到移动的基材表面上的方法。铸模(die)涂布法有条缝涂布方式、滑动涂布方式、幕帘涂布方式。最后，在大气中或者氮气或氩气等惰性气体环境中，将具有涂膜526的基材511在130-400°C、优选150-350°C的温度下，保持5_60分钟，优选保持15-40分钟从而进行烧结。其中，之所以涂布导电性氧化物微粒的分散液使烧结后的第2透明导电膜的厚度为0.01-0.5μm，是因为如果不到0.01μm的话，太阳能电池单元的短幅电流降低，而超过0.5μπι的话，填充因子会显著减小。另外，之所以涂布导电性反射膜用组合物使烧结后的导电性反射涂膜的厚度为0.05-2.0μm,是因为如果不到0.05μm的话，表面电阻值变得过高，难以充分得到作为太阳能电池的电极所必需的导电性，而超过2.Ομπι的话，虽然没有特性上的不良情况，但是材料使用量比原本需要的要多，造成材料的浪费。之所以将烧结温度限定为130-400°C，是因为不到130°C的话，会出现复合膜中的第2透明导电膜的表面电阻值变得过高这一不良现象。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时由于保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。此外，超过400°C的话，就不能利用低温方法这一生产上的长处，即会导致制造成本增大生产性降低。此外，尤其是非晶硅、微晶硅、或者使用它们的混合型硅太阳能电池对热较弱，由于烧结工序，会导致转换效率降低。之所以将具有涂膜的基材的烧结时间限定为5-60分钟，是因为如果烧结时间不到下限值的话，会出现复合膜的第2透明导电膜的表面电阻值变得过高的不良情况。另外还由于在导电性反射膜中，金属纳米粒子之间的烧结变得不充分，与此同时由于保护剂难以被烧结时的热消除或者分解(分离、燃烧)，因此烧结后的导电性反射膜内残留很多有机残渣，该残渣变质或者劣化，导致导电性反射膜的导电性及反射率减低。烧结时间超过上限值的话，对特性虽然没有影响，但是会导致制造成本比原本需要的增大，生产性降低。进而，会导致太阳能电池单元的转换效率降低这一不良情况。根据以上，能够形成本发明实施方式5的复合膜。这样，本发明实施方式5的制造方法，由于使用湿式涂布法，因而能够尽可能排除真空蒸镀法或溅射法等真空方法，能够更为廉价地制造复合膜。此外，在实施方式1-实施方式5中，对第1透明导电膜没有特殊限定，可举出采用与第2透明导电膜同样的形成方法形成的膜，或利用溅射法等真空成膜法形成的膜。实施例接着，对本发明的实施例和比较例进行详细说明。<实施例A1-A32〉按照下述表1所示的分类A1-A8的成分、含量比例，配制本发明实施方式1的复合膜中的透明导电膜用组合物。在各实施例中使用的透明导电膜用组合物在表1中的分类编号，如表2、3所示。在分类Al中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的IZO粉末15质量％、作为分散介质使用的异丙醇72.77质量％、作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2-正丁氧基乙醇与3-异丙基-2，4戊二酮的混合液10质量％、作为低电阻剂使用的硝酸铟与乙酸铅的混合物(质量比11)2.23质量％的比例，准备总量为60g，装入IOOcc的玻璃瓶中，使用直径为0.3mm的氧化锆珠(S々π〃4力，昭和壳牌石油公司制造)100g，利用涂漆振动机(《^>卜一力一)分散6小时，得到透明导电膜用组合物。在分类A2中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末7.5质量％、作为分散介质，将异丙醇、乙醇及N，N-二甲基甲酰胺的混合液(质量比421)作为第1混合液，该第1混合液92.3质量％、作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂2，4-戊二酮0.038质量％、作为偶合剂使用的上述式(4)所示的钛偶合剂0.162质量％的比例，通过与分类Al同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类A3中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的ATO粉末5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液50.99质量％、作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂2-正丙氧基乙醇44质量％、作为偶合剂使用的上述式(4)所示的钛偶合剂0.01质量％的比例，通过与分类Al同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类A4中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的AZO粉末5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液74.64质量％、作为粘合剂使用的2，2-二甲基-3，5-己二酮与乙酸异丙酯的混合液(质量比11)20质量％、作为偶合剂使用的上述式(3)所示的钛偶合剂0.36质量％的比例，通过与分类Al同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类A5中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μπι的TZO粉末5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液93.95质量％、作为粘合剂使用的2-异丁氧基乙醇、2-己基氧基乙醇以及乙酸正丙酯的混合液(质量比4:1:1)0.8质量％、作为偶合剂使用的上述式(5)所示的钛偶合剂0.25质量％的比例，通过与分类Al同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类Α6中，首先将平均粒径为0.010μm的ATO粉末悬浮于水中，将pH调整为7，用球磨机处理30分钟。在悬浮液中添加作为水溶性纤维素衍生物的羟丙基纤维素，使之相对于ATO粉末按质量比计为0.01%的量，得到导电性水分酸液。将这样得到的导电性水分酸液调整成固形成分浓度为18.5%的浓度，将该分散液IOOg与13.2质量％的明胶水溶液IOOg在40V下混合，得到水系的透明导电膜用组合物。在分类A7中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末5.3质量％、作为分散介质，将乙醇和丁醇的混合液(质量比982)作为第2混合液，该第2混合液85质量％、作为粘合剂使用的SiO2粘合剂1.7质量％、作为偶合剂使用的上述式(3)所示的钛偶合剂8.0质量％的比例进行混合，由此得到透明导电膜用组合物。此外，作为粘合剂使用的SiO2粘合剂，是使用500ml的玻璃制四颈烧瓶，力口入四乙氧基硅烷140g、乙醇240g，边搅拌边将1.Og的12N-HC1溶解到25g的纯水中，一次加入，然后在80°C下反应6小时，从而制备得到。在分类A8中，如下述表1所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末8.0质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液88质量％、作为粘合剂使用的SiO2粘合剂2.0质量％、作为偶合剂使用的上述式(2)所示的钛偶合剂2.0质量％的比例混合，由此得到透明导电膜用组合物。此外，作为粘合剂使用的SiO2粘合剂，按照与分类A7同样的方法制备。接着，按照如下顺序，制备本发明实施方式1的复合膜中的导电性反射膜用组合物。首先，将硝酸银溶解到去离子水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水中，得到浓度为26质量％的柠檬酸钠水溶液。在该柠檬酸钠水溶液中，在保持为35°C的氮气气流中直接加入粒状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，将上述氮气气流保持在35°C的状态下，将磁力搅拌器的搅拌子放入还原剂水溶液中，以IOOrpm的旋转速度使搅拌子旋转，从而搅拌上述还原剂水溶液，同时在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。这里，金属盐水溶液向还原剂水溶液中的添加量，是成为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过调整各溶液的浓度，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也被保持在40°C。另外，上述还原剂水溶液与金属盐水溶液的混合比，是还原剂水溶液的柠檬酸离子与亚铁离子相对于金属盐水溶液中的金属离子的总原子价数的摩尔比，均为3倍摩尔。向还原剂水溶液滴加金属盐水溶液结束后，再持续搅拌混合液15分钟，由此在混合液内部产生金属粒子，得到金属粒子分散的金属粒子分散液。金属粒子分散液的PH为5.5，分散液中的金属粒子的化学理论生成量为5g/升。得到的分散液通过在室温下放置，使分散液中的金属粒子沉降，通过倾析，将沉降的金属粒子的凝集物分离。在分离得到的金属凝集物中加入去离子水，制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而利用甲醇进行置换洗涤，使金属(银)的含量为50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力，分离出粒径超过IOOnm的比较大的银粒子，由此进行调整，使一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子按数均计含有71%，即调整为按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为71%。得到的银纳米粒子被碳骨架是碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。接着，将得到的金属纳米粒子10质量份添加混合到包含水、乙醇及甲醇的混合溶液90质量份中，使其分散，进而在该分散液中，加入下述表2-表4所示的添加物，使其成为表2-表4所示的比例，由此分别得到导电性反射膜用组合物。另外，构成导电性反射膜用组合物的金属纳米粒子，含有75质量％以上的银纳米粒子。此外，作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外的金属纳米粒子的情况下，将利用上述方法得到的银纳米粒子的分散液作为第1分散液，除了使用用于形成下述表2-表4所示的银纳米粒子以外的金属纳米粒子的种类的金属盐代替硝酸银之外，与上述银纳米粒子的制备方法同样操作，配制银纳米粒子以外的金属纳米粒子的分散液，将该金属纳米粒子的分散液作为第2分散液，在加入添加物之前，混合第1分散液和第2分散液使其成为下述表2-表4所示比例，由此得到导电性反射膜用组合物。在下述表2-表4所示的基材上，使用各种成膜方法涂布得到的透明导电膜用组合物，使烧结后的厚度为0.7-1.3X102nm，之后在温度25°C下干燥5分钟，形成透明导电性涂膜，接着，在形成的透明导电涂膜上，使用各种成膜方法涂布得到的导电性反射膜用组合物，使烧结后的厚度为102-2X103nm，之后在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性反射涂膜。接着，在下述表2-表4所示的热处理条件下烧结，由此在基材上形成复合膜。另外，在表2-表4中，PVP表示Mw为360000的聚乙烯吡咯烷酮，PET表示聚对苯二甲酸乙二醇酯。<比较例Al〉利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为0.7X102nm，然后，在该第2透明导电膜上，使用与实施例Al同样的导电性反射膜用组合物，按照与实施例Al同样的方法形成导电性反射膜，由此得到复合膜。<比较例A2>利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为2.OX102歷，然后，在该第2透明导电膜上，使用与实施例Al同样的导电性反射膜用组合物，按照与实施例Al同样的方法形成导电性反射膜，由此得到复合膜。[表1]透明导电膜用组合物勿美J^f氣化分散介质粘合剂偶合剂其他~IZO异丙醇非聚合物型粘合剂；低电阻化剂__15质量％72.77质量％10质量％___2.23质量％~ΓΓΟ第1混合液非聚合物型粘合剂铁偶合剂；__7.5质量％92.3质量％0.038质量％0.162质量％_~ATO第1混合液非聚合物型粘合剂钛偶合剂^“__5质量％50.99质量％44质量％_0.01质量％^AZO第1混合液非聚合物型粘合剂钛偶合剂5质量％74.64质量％20质量％0.36质量％TZO第1混合液非聚合物型粘合剂钛偶合剂E__5质量％93.95质量％0.8质量％_0.25质量％__^^"Τ忠物纤维Α69.249质量％84.150质量％6.600质量％^0001%~ATO第2混合液SiO2粘合剂钛偶合剂^~__5.3质量％85质量％1.7质量％_8.0质量％_~ΓΓΟ第2混合液SiO2粘合剂钛偶合剂18.0质量°/。丨88质量％丨2.0屠量％_丨2.0质量％_[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage66</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage67</column></row><table>[表4]<table>tableseeoriginaldocumentpage68</column></row><table>〈比较试验Al〉对实施例A1-A37及比较例A1-A2中得到的复合膜中的第2透明导电膜的反射率及膜厚进行评价。评价结果分别如下述表5及表6所示。首先，使用SEM(日立制作所公司制造的电子显微镜S800)，从膜剖面直接测算烧结后的第2透明导电膜及导电性反射膜的厚度。〈比较试验A2>关于形成了实施例A1-A37及比较例A1-A2得到的导电性反射膜的基材，对基材侧的接触面的气孔分布、背面反射率以及导电性反射膜的厚度进行评价。评价结果分别如下述表5及表6所示。气孔的测定方法，根据能否从第2透明导电膜剥离导电性反射膜，使用不同的测定方法。在能够从基材剥离透明导电膜的例子中，首先，针对密合在第2透明导电膜上的导电性反射膜，在具有平滑面的夹具上涂布粘合材料，将其推压在导电性反射膜上，进行保持直至接合材料充分干燥而具有高粘合力之后，使用拉伸试验机(岛津制作所制EZ-TEST)使该夹具相对于基材垂直上抬，从而将导电性反射膜从第2透明导电膜上剥离。接着，对从第2透明导电膜剥离、在夹具上露出的导电性反射膜的基材侧接触面的那一面，使用原子力显微镜(AFM)，观察该面的凹凸像。对观察到的凹凸像进行分析，评价出现在膜表面的空孔的平均直径、平均深度以及数密度。此外，平均直径通过分别测定各开口部的最长径与最短径求出平均值而得到。此外，作为从第2透明导电膜剥离导电性反射膜的其他方法，也可以并用在导电性反射膜上粘贴双面胶，将其一端抬起，从而由第2透明导电膜剥离导电性反射膜的方法。在从第2透明导电膜不能剥离导电性反射膜的例子中，首先，对于密合在第2透明导电膜上的导电性反射膜，使用聚焦离子束(FIB)法进行加工，使试样剖面露出。通过使用扫描型电子显微镜(SEM)对该试样的剖面进行观察，观察金属膜/基材的界面的形状。对于该界面图像，评价开口部的直径、平均深度以及数密度。这里，评价的开口部的直径，通过将剖面图中的开口部长度视为直径进行。导电性反射膜的背面反射率的评价，通过紫外可见光分光光度计和积分球的组合，测定波长500nm及IlOOnm的导电性反射膜的扩散反射率而进行。导电性反射膜的膜厚，通过利用扫描型电子显微镜(SEM)的剖面观察进行测定。<比较试验A3〉对实施例A1-A37及比较例A1-A2中得到的复合膜对基材的密合性进行评价。评价结果如下述表5及表6所示。利用将胶带从形成了复合膜的基材上剥离的试验，进行定性评价，“良好”表示仅胶带从基材剥落的情况，“中等”表示胶带的剥落与基材表面露出的状态同时存在的情况，“不良”表示由于胶带的剥离基材的整个表面都露出的情况。[表5]<table>tableseeoriginaldocumentpage70</column></row><table>[表6]<table>tableseeoriginaldocumentpage71</column></row><table>由表5及表6可知，在利用作为真空蒸镀法的溅射法形成第2透明导电膜的比较例Al、Α2中，比较例Α2与实施例Α1-Α37相比，密合性为不好的结果。在比较例Al中，500nm的反射率低至70%，IlOOnm的反射率也呈变低的倾向。另外在比较例A2中，确认IlOOnm的反射率虽然高达90%，但是500nm的反射率低至75%，根据波长不同，反射率出现参差不齐的结果。而在实施例A1-A37中，可以得到500nm及IlOOnm两个波长的反射率均高达80%以上的反射率。<实施例B1-B32〉按照下述表7所示的分类B1-B8的成分及含有比例，配制导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液。在各实施例中使用的上述分散液在表7中的分类编号，如表8、9所示在分类Bl中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的IZO粉末20质量％、作为分散介质使用的异丙醇80质量％的比例，准备总量为60g,装入IOOcc的玻璃瓶中，使用直径为0.3mm的氧化锆珠(S夕π？、4力，昭和壳牌石油公司制造)100g，利用涂漆振动机(《4>卜*-一力一)分散6小时，由此得到导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2-正丁氧基乙醇与3-异丙基-2，4-戊二酮的混合液10质量％、作为分散介质使用的异丙醇88.2质量％、作为低电阻剂使用的硝酸铟与乙酸铅的混合物(质量比11)1.8质量％的比例进行混合，在室温下以旋转速度200rpm搅拌1小时，由此配制粘合剂分散液。在分类B2中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ITO粉末7.5质量％、作为偶合剂使用的上述式(9)所示的钛偶合剂0.2质量％、作为分散介质，将异丙醇、乙醇及N，N-二甲基甲酰胺的混合液(质量比421)作为第1混合液，该第1混合液92.3质量％的比例，通过与分类Bl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂2，4-戊二酮10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类Β3中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末10质量％、作为偶合剂使用的上述式(9)所示的钛偶合剂0.02质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液89.98质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂2_正丙氧基乙醇10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类Β4中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的AZO粉末10质量％、作为偶合剂使用的上述式(8)所示的钛偶合剂1质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液89质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的2，2-二甲基-3，5-己二酮与乙酸异丙酯的混合液(质量比11)10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类B1同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类Β5中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的TZO粉末5质量％、作为偶合剂使用的上述式(10)表示的钛偶合剂0.5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液94.5质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的2-异丁氧基乙醇、2-己基氧基乙醇以及乙酸正丙酯的混合液(质量比411)10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类B6中，首先将平均粒径0.010μm的ATO粉末悬浊于水中，将pH调整为7，用球磨机处理30分钟。在该处理液中，混和上述第1混合液作为分散介质，将其调整为固形成分浓度为18.5%，得到导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的明胶5质量％、作为水溶性纤维素衍生物使用的羟丙基纤维素1质量％、作为分散介质使用的水94质量％的比例进行混合，在30°C的温度下，以200rpm的旋转速度搅拌1小时，由此配制粘合剂分散液。在分类B7中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末6质量％、作为分散介质，将乙醇和丁醇的混合液(质量比982)作为第2混合液，该第2混合液85质量％、作为偶合剂使用的上述式(8)所示的钛偶合剂9.0质量％的比例，利用与分类Bl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的SiO2粘合剂10质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例进行混合，由此配制粘合剂分散液。此外，作为粘合剂使用的3102粘合剂，是使用500ml的玻璃制四颈烧瓶，加入四乙氧基硅烷140g、乙醇240g，边搅拌边将1.Og的12N-HC1溶解到25g的纯水中，一次加入，之后在80°C下反应6小时，从而制备得到。在分类B8中，如下述表7所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末8质量％、作为偶合剂使用的上述式(7)所示的钛偶合剂2.0质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例，利用与分类B1同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。此外，按照作为粘合剂使用的SiO2粘合剂10质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例进行混合，配制粘合剂分散液。接着，按照如下顺序，制备导电性反射膜用组合物。首先，将硝酸银溶解到去离子水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水中，得到浓度为26质量％的柠檬酸钠水溶液。在该柠檬酸钠水溶液中，在保持为35°C的氮气气流中直接加入粒状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在将上述氮气气流保持在35°C的状态下，将磁力搅拌器的搅拌子放入还原剂水溶液中，以IOOrpm的旋转速度使搅拌子旋转，从而搅拌上述还原剂水溶液，同时在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。这里，金属盐水溶液向还原剂水溶液中的添加量，是成为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过调整各溶液的浓度，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也被保持在40°C。另外，上述还原剂水溶液与金属盐水溶液的混合比，是还原剂水溶液的柠檬酸离子与亚铁离子相对于金属盐水溶液中的金属离子的总原子价数的摩尔比，均为3倍摩尔。向还原剂水溶液滴加金属盐水溶液结束后，再持续搅拌混合液15分钟，由此在混合液内部产生金属粒子，得到金属粒子分散的金属粒子分散液。金属粒子分散液的PH为5.5，分散液中的金属粒子的化学理论生成量为5g/升。得到的分散液通过在室温下放置，使分散液中的金属粒子沉降，通过倾析，将沉降的金属粒子的凝集物分离。在分离出的金属凝集物中加入去离子水，制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而利用甲醇进行置换洗涤，使金属(银)的含量为50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力，分离出粒径超过IOOnm的比较大的银粒子，由此调整为一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子按数均计含有71%，即按照数均计，调整为一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为71%。得到的银纳米粒子被碳骨架是碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。接着，将得到的金属纳米粒子10质量份添加混合到包含水、乙醇及甲醇的混合溶液90质量份中使其分散，进而在该分散液中，加入下述表8-表10所示的添加物，使其成为表8-表10所示的比例，由此分别得到导电性反射膜用组合物。另外，构成导电性反射膜用组合物的金属纳米粒子，含有75质量％以上的银纳米粒子。此外，作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外的金属纳米粒子的情况下，将利用上述方法得到的银纳米粒子的分散液作为第1分散液，除了使用用于形成下述表8-表10所示的银纳米粒子以外金属纳米粒子的种类的金属盐代替硝酸银之外，与上述银纳米粒子的制造方法同样操作，配制银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散液，将该金属纳米粒子的分散液作为第2分散液，在加入添加物之前，混合第1分散液和第2分散液使其成为下述表8-表10所示比例，由此得到导电性反射膜用组合物。最后，使用上述配制的导电性氧化物微粒的分散液、粘合剂分散液及导电性反射膜用组合物，形成复合膜。具体而言，首先，在下述表8-表10所示的基材上，使用各种成膜方法涂布上述配制的导电性氧化物微粒的分散液，使烧结后的厚度为0.01-0.5μm，之后在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性氧化物微粒的涂膜。接着，在该导电性氧化物微粒的涂膜上，按照烧结后导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的方式，利用各种成膜方法，使上述配制的粘合剂分散液浸渍，用粘合剂分散液的涂膜被覆导电性氧化物微粒的涂膜的整个表面，在温度25°C下干燥5分钟，形成透明导电涂膜。涂布粘合剂分散液，使粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量，相对于涂布后的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的微粒的总质量，为下述表8-表10所示的质量比(涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性氧化物微粒的质量)。接着，在该透明导电涂膜上，利用各种成膜方法涂布上述配制的导电性反射膜用组合物，使其烧结后的厚度为0.05-2.0μm,之后在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性反射涂膜。接着，在下述表8-表10所示的热处理条件下烧结，由此在基材上形成复合膜。另外，在表8-表10中，PVP表示Mw为360000的聚乙烯吡咯烷酮，PET表示聚对苯二甲酸乙二醇酯。<比较例Bl>利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为0.7X102nm，然后，在该第2透明导电膜上，使用与实施例Bl同样的导电性反射膜用组合物，按照与实施例B1同样的方法形成导电性反射膜，由此得到复合膜。<比较例B2>利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为2.OX102歷，然后，在该第2透明导电膜上，使用与实施例Bl同样的导电性反射膜用组合物，按照与实施例B1同样的方法形成导电性反射膜，由此得到复合膜。[表7]<table>tableseeoriginaldocumentpage75</column></row><table>[表8]<table>tableseeoriginaldocumentpage76</column></row><table>I分散液ι导电性反射膜用组合物ι成腹方法ι热处理^W*Γ透明ι导电分类比金属纳米粒子添加物导电性反*^f-^环境__[%2___膜I射膜_Ij…_实施例95Ag95质量％PYP4质量％旋涂法玻璃20"“大气B16____Cr2O31质量％_____实施例B2巧~Ag95质量％PVP4质量％旋涂法玻璃15020大气B17____MnO21质量°/。______实施例Ag95质量％PVP4质量％15020大气B18B265Fe2030.5质量％構农■______Cr3O40.5质量％______=例B285Ag95质量％PVP4质量％旋涂法玻璃15020大气Ag2Ol质量％，=例B3105Ag95质量％PVP4质量。/。旋涂法玻璃15020ArCu(OH)2I质量％=例B375Ag95质量％PVP4质量％旋涂法PET15020大气ZnOl质量％=例B380Ag95质量％PVP4质量％旋涂法PET15020大気MoO21质量％奢例B375八@95质量％PVP4质量％旋涂法PET15020大气SηO2I质量％=例B365Ag95质量％\0>4质量％旋涂法PET15020大気‘ITOl质量％=例B355Ag95质量％卩\^4质量％旋涂法PET15020大气ATOl质量％例B365Ag95质量％PVP4质量％..PET15020大气B26硅酸甲基酯1质极涂、击量％=例B755Ag95质量％PVP4质量％旋涂法PET15020大气异丙醇钛1质量%28Β70Μ95质量％PVP4质量％旋涂法ΡΕΤ15020大气铬酸按1质量％<table>tableseeoriginaldocumentpage78</column></row><table>[表10]<table>tableseeoriginaldocumentpage78</column></row><table><比较试验Bl>对实施例B1-B37及比较例B1-B2中得到的复合膜中的第2透明导电膜的膜厚进行评价。评价结果分别如下述表11及表12所示。具体而言，使用SEM(日立制作所公司制造的电子显微镜S800)，从膜剖面直接测算烧结后的第2透明导电膜的厚度。〈比较试验B2>关于形成了实施例B1-B37及比较例B1-B2中得到的导电性反射膜的基材，对基材侧的接触面的气孔分布、背面反射率以及导电性反射膜的厚度进行评价。评价结果分别如下述表11及表12所示。气孔的测定方法，根据能否从第2透明导电膜上剥离导电性反射膜，使用不同的测定方法。在能够从第2透明导电膜上剥离导电性反射膜的例子中，首先，对密合在第2透明导电膜上的导电性反射膜，在具有平滑面的夹具上涂布粘合材料，将其推压在导电性反射膜上，进行保持直至接合材料充分干燥具有高粘合力，之后使用拉伸试验机(岛津制作所制EZ-TEST)，使该夹具相对于第2透明导电膜垂直上抬，从而将导电性反射膜从第2透明导电膜上剥离。接着，对从第2透明导电膜剥离、在夹具上露出的导电性反射膜的基材侧接触面的面，使用原子力显微镜(AFM)，观察该面的凹凸像。对观察到的凹凸像进行分析，评价出现在膜表面的空孔的平均直径、平均深度以及数密度。此外，平均直径是通过分别测定各开口部的最长径与最短径求出平均值而得到的。此外，作为从第2透明导电膜剥离导电性反射膜的其他方法，也可以并用在导电性反射膜上粘贴双面胶，将其一端抬起，从第2透明导电膜剥离导电性反射膜的方法。在从第2透明导电膜不能剥离导电性反射膜的例子中，首先，对密合在第2透明导电膜上的导电性反射膜，使用聚焦离子束(FIB)法进行加工，使试样剖面露出。通过使用扫描型电子显微镜(SEM)对该试样的剖面进行观察，观察导电性反射膜和第2透明导电膜的界面的形状。对于该界面图像，评价开口部的直径、平均深度以及数密度。这里，评价的开口部的直径，是将剖面图中的开口部长度视为直径而进行的。导电性反射膜的背面反射率的评价，通过紫外可见光分光光度计和积分球的组合，测定波长500nm及IlOOnm的导电性反射膜的扩散反射率而进行。导电性反射膜的膜厚，通过利用扫描型电子显微镜(SEM)的剖面观察进行测定。〈比较试验B3>对实施例B1-B37及比较例B1-B2中得到的复合膜对基材的密合性进行评价。评价结果如下述表11及表12所示。利用将胶带从形成了复合膜的基材上剥离的试验，进行定性评价，“良好”表示仅胶带从基材剥落的情况，“中等”表示胶带的剥落与基材表面露出的状态同时存在的情况，“不良”表示由于胶带的剥离基材的整个表面都露出的情况。[表11]<table>tableseeoriginaldocumentpage80</column></row><table>[表12]<table>tableseeoriginaldocumentpage81</column></row><table>由表11及表12可知，在利用作为真空蒸镀法的溅射法形成了第2透明导电膜的比较例Β1、Β2中，比较例Β2与实施例Β1-Β37相比，密合性为不好的结果。在比较例Bl中，500nm的反射率低至70%，IlOOnm的反射率也呈变低的倾向。另外在比较例B2中，确认IlOOnm的反射率虽然高达90%，但是500nm的反射率低至75%，由于波长不同，反射率出现了参差不齐的结果。而在实施例B1-B37中，可以得到500nm及IlOOnm两个波长的反射率均高达80%以上的反射率。<实施例C1_C32>按照下述表13所示的分类C1-C8的成分及含有比例，配制透明导电膜用组合物。在各实施例中使用的透明导电膜用组合物在表13中的分类编号，如表14、15所示。在分类Cl中，如下述表13所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μπι的IZO粉末15质量％、作为分散介质使用的异丙醇72.77质量％、作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2-正丁氧基乙醇与3-异丙基-2，4-戊二酮的混合液10质量％、作为低电阻剂使用的硝酸铟和乙酸铅的混合物(质量比11)2.23质量％的比例，准备总量为60g，装入IOOcc的玻璃瓶中，使用直径为0.3mm的氧化锆珠(S々π〃4力，昭和壳牌石油公司制造)100g，利用涂漆振动机(《4>卜*-一力一)分散6小时，由此得到透明导电膜用组合物。在分类C2中，如下述表13所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末7.5质量％、作为分散介质，将异丙醇、乙醇以及N，N-二甲基甲酰胺的混合液(质量比421)作为第1混合液，该第1混合液92.3质量％、作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂2，4-戊二酮0.038质量％、作为偶合剂使用的上述式(14)所示的钛偶合剂0.162质量％的比例，利用与分类Cl同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类C3中，如下述表13所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的ATO粉末5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液50.99质量％、作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂2-正丙氧基乙醇44质量％、作为偶合剂使用的上述式(14)所示的钛偶合剂0.01质量％的比例，利用与分类Cl同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类C4中，如下述表13所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的AZO粉末5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液74.64质量％、作为粘合剂使用的2，2_二甲基-3，5-己二酮与乙酸异丙酯的混合物(质量比11)20质量％、作为偶合剂使用的上述式(13)所述的钛偶合剂0.36质量％的比例，利用与分类Cl同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类C5中，如下述表13所示，将作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的TZO粉末5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液93.95质量％、作为粘合剂使用的2-异丁氧基乙醇、2-己基氧基乙醇以及乙酸正丙酯的混合液(质量比4:1:1)0.8质量％、作为偶合剂使用的上述式(15)所示的钛偶合剂0.25质量％的比例，利用与分类Cl同样的方法，得到透明导电膜用组合物。在分类C6中，首先将平均粒径0.010μm的ATO粉末悬浊于水，将pH调整为7，用球磨机处理30分钟。在悬浮液中添加作为水溶性纤维素衍生物的羟丙基纤维素，使之相对于ATO粉末按照质量比计为0.01%的量，得到导电性水分酸液。将这样得到的导电性水分酸液调整为固形成分浓度18.5%的浓度，将该分散液IOOg与13.2质量％的明胶水溶液IOOg在40°C下混合，得到水系的透明导电膜用组合物。在分类C7中，如下述表13所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末5.3质量％、作为分散介质，将乙醇和丁醇的混合液(质量比982)作为第2混合液，该第2混合液85质量％、作为粘合剂使用的SiO2粘合剂1.7质量％、作为偶合剂使用的上述式(13)所示的钛偶合剂8.0质量％的比例进行混合，由此得到透明导电膜用组合物。此外，作为粘合剂使用的SiO2粘合剂，是使用500ml的玻璃制四颈烧瓶，加入四乙氧基硅烷140g、乙醇240g，边搅拌边将1.Og的12N-HC1溶解到25g的纯水中，一次加入，之后在80°C下反应6小时，从而制备得到。在分类C8中，如下述表13所示，按照作为导电性氧化物粉末使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末8.0质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液88质量％、作为粘合剂使用的SiO2粘合剂2.0质量％、作为偶合剂使用的上述式(12)所示的钛偶合剂2.0质量％的比例进行混合，由此得到透明导电膜用组合物。此外，作为粘合剂使用的SiO2粘合剂，按照与分类C7同样的方法制备。接着，按照如下顺序，制备导电性反射膜用组合物。首先，将硝酸银溶解到去离子水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水中，得到浓度为26%的柠檬酸钠水溶液。在该柠檬酸钠水溶液中，在保持为35°C的氮气气流中直接加入粒状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在将上述氮气气流保持在35°C的状态下，将磁力搅拌器的搅拌子放入还原剂水溶液中，以IOOrpm的旋转速度使搅拌子旋转，从而搅拌上述还原剂水溶液，同时在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。这里，金属盐水溶液向还原剂水溶液中的添加量，是成为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过调整各溶液的浓度，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也被保持在40°C。另外，上述还原剂水溶液与金属盐水溶液的混合比，是使得还原剂水溶液的柠檬酸离子与亚铁离子相对于金属盐水溶液中的金属离子的总原子价数的摩尔比，均为3倍摩尔。向还原剂水溶液滴加金属盐水溶液结束后，再持续搅拌混合液15分钟，由此在混合液内部产生金属粒子，得到金属粒子分散的金属粒子分散液。金属粒子分散液的PH为5.5，分散液中的金属粒子的化学理论生成量为5g/升。得到的分散液通过在室温下放置，使分散液中的金属粒子沉降，通过倾析，将沉降的金属粒子的凝集物分离。在分离出的金属凝集物中加入去离子水，制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而利用甲醇进行置换洗涤，使金属(银)的含量为50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力，分离出粒径超过IOOnm的比较大的银粒子，由此调整为按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子71%，即调整为按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为71%。得到的银纳米粒子被碳骨架是碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。接着，将得到的金属纳米粒子10质量份添加混合到包含水、乙醇及甲醇的混合溶液90质量份中使其分散，进而在该分散液中，加入下述表14-表16所示的添加物，使其成为表14-表16所示的比例，由此分别得到导电性反射膜用组合物。另外，构成导电性反射膜用组合物的金属纳米粒子，含有75质量％以上的银纳米粒子。此外，作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外的金属纳米粒子的情况下，将利用上述方法得到的银纳米粒子的分散液作为第1分散液，除了使用用于形成下述表14-表16所示的银纳米粒子以外金属纳米粒子的种类的金属盐代替硝酸银之外，与上述银纳米粒子的制备方法同样操作，配制银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散液，将该金属纳米粒子的分散液作为第2分散液，在加入添加物之前，混合第1分散液和第2分散液使其成为下述表14-表16所示的比例，由此得到导电性反射膜用组合物。最后，使用上述配制的透明导电膜用组合物及导电性反射膜用组合物，形成复合膜。具体地说，首先，在下述表14-表16所示的基材上，使用各种成膜方法涂布上述配制的导电性反射膜用组合物，使其烧结后的厚度为102-2X103nm，然后，在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性反射涂膜。接着，在下述表14-表16所示的热处理条件下烧结具有该涂膜的基材，形成导电性反射膜。接着，在该导电性反射膜上，使用各种成膜方法涂布上述配制的透明导电膜用组合物，使其烧结后的厚度为0.7-1.3X102nm，然后，在温度25°C下干燥5分钟，形成透明导电涂膜。接着，在下述表14-表16所示的热处理条件下烧结具有该涂膜的基材，形成第2透明导电膜。通过上述工序，在基材上形成复合膜。另外，在表14-表16中，PVP表示Mw为360000的聚乙烯吡咯烷酮，PET表示聚对苯二甲酸乙二醇酯。<比较例Cl〉除了利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为0.7X102nm之外，与实施例Cl同样操作，形成复合膜。<比较例C2>除了利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为2.OXlO2nm之外，与实施例Cl同样操作，形成复合膜。[表13]<table>tableseeoriginaldocumentpage85</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>[表15]<table>tableseeoriginaldocumentpage87</column></row><table>[表16]<table>tableseeoriginaldocumentpage88</column></row><table><比较试验Cl〉对实施例C1-C37及比较例C1-C2中得到的复合膜中的第2透明导电膜的膜厚进行评价。评价结果分别如下述表17及表18所示。具体地说，使用SEM(日立制作所公司制造的电子显微镜S800)，从膜剖面直接测算烧结后的第2透明导电膜及导电性反射膜的厚度。<比较试验C2>关于形成了实施例C1-C37及比较例C1-C2中得到的复合膜的基材，对第2透明导电膜侧的接触面的气孔分布、反射率以及导电性反射膜的厚度进行评价。评价结果分别如下述表17及表18所示。气孔的测定方法，是在基材上涂布导电性反射膜用组合物，进行烧结形成导电性反射膜后，在涂布透明导电膜用组合物之前，使用原子力显微镜(AFM)，观察导电性反射膜的形成第2透明导电膜一侧的面的凹凸像。对观察到的凹凸像进行分析，评价出现在膜表面的空孔的平均直径、平均深度以及数密度。此外，平均直径是通过分别测定各开口部的最长径与最短径求出平均值而得到的。导电性反射膜的反射率的评价，通过紫外可见光分光光度计和积分球的组合，测定波长500nm及IlOOnm的导电性反射膜的扩散反射率而进行。其中，关于反射率，在第2透明导电膜成膜后，测定来自表侧的反射率。导电性反射膜的膜厚，通过利用扫描型电子显微镜(SEM)的剖面观察而测定。<比较试验C3>对实施例C1-C37及比较例C1-C2中得到的复合膜对基材的密合性进行评价。评价结果如下述表17及表18所示。利用将胶带从形成了复合膜的基材上剥离的试验，进行定性评价，“良好”表示仅胶带从基材剥落的情况，“中等”表示胶带的剥落与基材表面露出的状态同时存在的情况，“不良”表示由于胶带的剥离基材的整个表面都露出的情况。[表17]<table>tableseeoriginaldocumentpage90</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage91</column></row><table>由表17及表18可知，在利用作为真空蒸镀法的溅射法形成了第2透明导电膜的比较例C1、C2中，比较例C2与实施例C1-C37相比，密合性为不好的结果。在比较例Cl中，500nm的反射率低至75%，IlOOnm的反射率也呈变低的倾向。另外在比较例C2中，确认IlOOnm的反射率虽然高达87%，但是500nm的反射率低至78%，由于波长不同，反射率出现参差不齐的结果。而在实施例C1-C37中，可以得到500nm及IlOOnm两个波长的反射率均高达80%以上的反射率。<实施例D1-D32〉按照下述表19所示的分类D1-D8的成分及含有比例，配制导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液。在各实施例中使用的上述分散液在表19中的分类编号，如表20、21所示。在分类Dl中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的IZO粉末20质量％、作为分散介质使用的异丙醇80质量％的比例，准备总量60g，装入IOOcc的玻璃瓶中，使用直径为0.3mm的氧化锆珠(S々π^力，昭和壳牌石油公司制造)100g，利用涂漆振动机(《4>卜一力一)分散6小时，由此得到导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2-正丁氧基乙醇与3-异丙基-2，4-戊二酮的混合液10质量％、作为分散介质使用的异丙醇88.2质量％、作为低电阻剂使用的硝酸铟与乙酸铅的混合物(质量比11)1.8质量％的比例进行混合，在室温下以旋转速度200rpm搅拌1小时，由此配制粘合剂分散液。在分类D2中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ITO粉末7.5质量％、作为偶合剂使用的上述式(19)所示的钛偶合剂0.2质量％、作为分散介质，将异丙醇、乙醇及N，N-二甲基甲酰胺的混合液(质量比421)作为第1混合液，该第1混合液92.3质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2，4-戊二酮10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类D3中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末10质量％、作为偶合剂使用的上述式(19)所示的钛偶合剂0.02质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液89.98质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2_正丙氧基乙醇10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类D4中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的AZO粉末10质量％、作为偶合剂使用的上述式(18)所示的钛偶合剂1质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液89质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的2，2-二甲基-3，5-己二酮与乙酸异丙酯的混合液(质量比11)10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类D5中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的TZO粉末5质量％、作为偶合剂使用的上述式(20)所示的钛偶合剂0.5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液94.5质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的2-异丁氧基乙醇、2-己基氧基乙醇以及乙酸正丙酯的混合液(质量比411)10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类D6中，首先将平均粒径0.010μm的ATO粉末悬浊于水，将pH调整为7，用球磨机处理30分钟。在该处理液中，混合上述第1混合液作为分散介质，调整为固形成分浓度为18.5%的浓度，得到导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的明胶5质量％、作为水溶性纤维素衍生物使用的羟丙基纤维素1质量％、作为分散介质使用的水94质量％的比例混合，在30°C的温度下，以200rpm的旋转速度搅拌1小时，由此配制粘合剂分散液。在分类D7中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末6质量％、作为分散介质，将乙醇和丁醇的混合液(质量比982)作为第2混合液，该第2混合液85质量％、作为偶合剂使用的上述式(18)所示的钛偶合剂9.0质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的SiO2粘合剂10质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例混合，由此配制粘合剂分散液。此外，作为粘合剂使用的SiO2粘合剂，是使用500ml的玻璃制四颈烧瓶，加入四乙氧基硅烷140g、乙醇240g，边搅拌边将1.Og的12N-HC1溶解到25g的纯水中，一次加入，之后在80°C下反应6小时，从而制备得到。在分类D8中，如下述表19所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末8质量％、作为偶合剂使用的上述式(17)所示的钛偶合剂2.0质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例，利用与分类Dl同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。此外，按照作为粘合剂使用的SiO2粘合剂10质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例进行混合，配制粘合剂分散液。接着，按照如下顺序，制备导电性反射膜用组合物。首先，将硝酸银溶解到去离子水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水中，得到浓度为26质量％的柠檬酸钠水溶液。在该柠檬酸钠水溶液中，在保持为35°C的氮气气流中直接加入粒状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在将上述氮气气流保持在35°C的状态下，将磁力搅拌器的搅拌子放入还原剂水溶液中，以IOOrpm的旋转速度使搅拌子旋转，从而搅拌上述还原剂水溶液，同时在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。这里，金属盐水溶液向还原剂水溶液中的添加量，是成为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过调整各溶液的浓度，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也被保持在40°C。另外，上述还原剂水溶液与金属盐水溶液的混合比，是使还原剂水溶液的柠檬酸离子与亚铁离子相对于金属盐水溶液中的金属离子的总原子价数的摩尔比，均为3倍摩尔。向还原剂水溶液滴加金属盐水溶液结束后，再持续搅拌混合液15分钟，由此在混合液内部产生金属粒子，得到金属粒子分散的金属粒子分散液。金属粒子分散液的PH为5.5，分散液中的金属粒子的化学理论生成量为5g/升。得到的分散液通过在室温下放置，使分散液中的金属粒子沉降，通过倾析，将沉降的金属粒子的凝集物分离。在分离的金属凝集物中加入去离子水，制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而利用甲醇进行置换洗涤，使金属(银)的含量为50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力，分离出粒径超过IOOnm的比较大的银粒子，由此调整为按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子71%，即调整为按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为71%。这样，得到的银纳米粒子被碳骨架是碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。接着，将得到的金属纳米粒子10质量份添加混合到包含水、乙醇及甲醇的混合溶液90质量份中使其分散，进而在该分散液中，加入下述表20-表22所示的添加物，使其成为表20-表22所示的比例，由此分别得到导电性反射膜用组合物。另外，构成导电性反射膜用组合物的金属纳米粒子，含有75质量％以上的银纳米粒子。此外，作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的情况下，将利用上述方法得到的银纳米粒子的分散液作为第1分散液，除了使用用于形成下述表20-表22所示的银纳米粒子以外金属纳米粒子的种类的金属盐代替硝酸银之外，与上述银纳米粒子的制造方法同样操作，配制银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散液，将该金属纳米粒子的分散液作为第2分散液，在加入添加物之前，混合第1分散液和第2分散液使其成为下述表20-表22所示比例，由此得到导电性反射膜用组合物。最后，使用上述配制的导电性氧化物微粒的分散液、粘合剂分散液及导电性反射膜用组合物，形成复合膜。具体而言，首先，在下述表20-表22所示的基材上，使用各种成膜方法涂布上述配制的导电性反射膜用组合物，使其烧结后的厚度为0.05-2.Oym，之后在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性反射涂膜。接着，在该导电性反射涂膜上，使用各种成膜方法涂布上述配制的导电性氧化物微粒的分散液，使其烧结后的厚度为0.01-0.5ym，之后，在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性氧化物微粒的涂膜。接着，在该导电性氧化物微粒的涂膜上，按照烧结后导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的方式，使用各种成膜方法，使上述配制的粘合剂分散液浸渍，导电性氧化物微粒的涂膜的整个表面被粘合剂分散液的涂膜被覆，在温度25°C下干燥5分钟，形成透明导电涂膜。这里所说的涂布，是指粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量，相对于涂布的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的微粒的总质量，为下述表20-表22所示的质量比(涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性氧化物微粒的质量)。接着，在下述表20-表22所示的热处理条件下烧结，由此在基材上形成复合膜。另外，在表20-表22中，PVP表示Mw为360000的聚乙烯吡咯烷酮，PET表示聚对苯二甲酸乙二醇酯。<比较例Dl>除了利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为0.7X102nm之外，与实施例D1同样操作，形成复合膜。<比较例D2>除了利用作为真空蒸镀法的溅射法，形成第2透明导电膜，使其膜厚为2.OX102nm之外，与实施例D1同样操作，形成复合膜[表19]<table>tableseeoriginaldocumentpage95</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage96</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage97</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage97</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage98</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage99</column></row><table><比较试验Dl>对实施例D1-D37及比较例D1-D2中得到的复合膜中的第2透明导电膜的膜厚进行评价。评价结果分别如下述表23及表24所示。首先，使用SEM(日立制作所公司制造的电子显微镜S800)，从膜剖面直接测算烧结后的第2透明导电膜的厚度。<比较试验D2>关于形成了实施例D1-D37及比较例D1-D2中得到的导电性反射膜的基材，对基材侧的接触面的气孔分布、反射率以及导电性反射膜的厚度进行评价。评价结果分别如下述表23及表24所示。气孔的测定方法，是在基材上涂布导电性反射膜用组合物，进行烧结形成导电性反射膜后，在涂布透明导电膜用组合物之前，使用原子力显微镜(AFM)，观察导电性反射膜的形成第2透明导电膜一侧的面的凹凸像。对观察到的凹凸像进行分析，评价出现在膜表面的空孔的平均直径、平均深度以及数密度。此外，平均直径通过分别测定各开口部的最长径与最短径求出平均值而得到。导电性反射膜的反射率的评价，通过紫外可见光分光光度计和积分球的组合，测定波长500nm及IlOOnm的导电性反射膜的扩散反射率进行。其中，关于反射率，是在第2透明导电膜成膜后，测定来自表侧的反射率。导电性反射膜的膜厚，通过利用扫描型电子显微镜(SEM)的剖面观察而测定。<比较试验D3>对实施例D1-D37及比较例D1-D2中得到的复合膜对基材的密合性进行评价。评价结果如下述表23及表24所示。利用将胶带从形成了复合膜的基材上剥离的试验，进行定性评价，“良好”表示仅胶带从基材剥落的情况，“中等”表示胶带的剥落与基材表面露出的状态同时存在的情况，“不良”表示由于胶带的剥离基材的整个表面都露出的情况。[表23]<table>tableseeoriginaldocumentpage101</column></row><table>[表24]<table>tableseeoriginaldocumentpage102</column></row><table>由表23及表24可知，在利用作为真空蒸镀法的溅射法形成了第2透明导电膜的比较例D1、D2中，比较例D2与实施例D1-D37相比，密合性为不好的结果。在比较例Dl中，500nm的反射率低至75%，IlOOnm的反射率也呈变低的倾向。另外在比较例D2中，确认IlOOnm的反射率虽然高达87%，但是500nm的反射率低至78%，由于波长不同，反射率出现参差不齐的结果。而在实施例D1-D37中，可以得到500nm及IlOOnm两个波长的反射率均高达80%以上的反射率。〈实施例E1-E32〉按照下述表25所示的分类E1-E8的成分及含有比例，配制导电性氧化物微粒的分散液及粘合剂分散液。在各实施例中使用的上述分散液在表25中的分类编号，如表26、27所示。在分类El中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的IZO粉末20质量％、作为分散介质使用的异丙醇80质量％的比例，准备总量60g，装入IOOcc的玻璃瓶中，使用直径为0.3mm的氧化锆珠(S々π^力，昭和壳牌石油公司制造)100g，利用涂漆振动机(《4>卜一力一)分散6小时，由此得到导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2-正丁氧基乙醇与3-异丙基-2，4-戊二酮的混合液10质量％、作为分散介质使用的异丙醇88.2质量％、作为低电阻剂使用的硝酸铟与乙酸铅的混合物(质量比11)1.8质量％的比例进行混合，在室温下以旋转速度200rpm搅拌1小时，由此配制粘合剂分散液。在分类E2中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ITO粉末7.5质量％、作为偶合剂使用的上述式(24)所示的钛偶合剂0.2质量％、作为分散介质，将异丙醇、乙醇及N，N-二甲基甲酰胺的混合液(质量比421)作为第1混合液，该第1混合液92.3质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2，4-戊二酮10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类Ε3中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末10质量％、作为偶合剂使用的上述式(24)所示的钛偶合剂0.02质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液89.98质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的非聚合物型粘合剂，即2_正丙氧基乙醇10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类Ε4中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的AZO粉末10质量％、作为偶合剂使用的上述式(23)所示的钛偶合剂1质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液89质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的2，2-二甲基-3，5-己二酮与乙酸异丙酯的混合液(质量比11)10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类Ε5中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的TZO粉末5质量％、作为偶合剂使用的上述式(25)所示的钛偶合剂0.5质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液94.5质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的2-异丁氧基乙醇、2-己基氧基乙醇以及乙酸正丙酯的混合液(质量比411)10质量％、作为分散介质使用的上述第1混合液90质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制粘合剂分散液。在分类E6中，首先将平均粒径0.010μm的ATO粉末悬浊于水，将pH调整为7，用球磨机处理30分钟。在该处理液中，混合上述第1混合液作为分散介质，调整为固形成分浓度为18.5%的浓度，得到导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的明胶5质量％、作为水溶性纤维素衍生物使用的羟丙基纤维素1质量％、作为分散介质使用的水94质量％的比例进行混合，在30°C的温度下，以200rpm的旋转速度搅拌1小时，由此配制粘合剂分散液。在分类E7中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μπι的ATO粉末6质量％、作为分散介质，将乙醇和丁醇的混合液(质量比982)作为第2混合液，该第2混合液85质量％、作为偶合剂使用的上述式(23)所示的钛偶合剂9.0质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。另外，按照作为粘合剂使用的SiO2粘合剂10质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例混合，由此配制粘合剂分散液。此外，作为粘合剂使用的SiO2粘合剂，是使用500ml的玻璃制四颈烧瓶，加入四乙氧基硅烷140g、乙醇240g，边搅拌边将1.Og的12N-HC1溶解到25g的纯水中，一次加入，之后在80°C下反应6小时，从而制备得到。在分类E8中，如下述表25所示，按照作为导电性氧化物微粒使用的平均粒径0.025μm的ITO粉末8质量％、作为偶合剂使用的上述式(22)所示的钛偶合剂2.0质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例，利用与分类El同样的方法，配制导电性氧化物微粒的分散液。此外，按照作为粘合剂使用的SiO2粘合剂10质量％、作为分散介质使用的上述第2混合液90质量％的比例进行混合，配制粘合剂分散液。接着，按照如下顺序，制备导电性反射膜用组合物。首先，将硝酸银溶解到去离子水中，配制金属盐水溶液。另一方面，使柠檬酸钠溶解于去离子水中，得到浓度为26质量％的柠檬酸钠水溶液，在该柠檬酸钠水溶液中，在保持为35°C的氮气气流中直接加入粒状的硫酸亚铁使其溶解，配制按照32的摩尔比含有柠檬酸离子与亚铁离子的还原剂水溶液。接着，在将上述氮气气流保持在35°C的状态下，将磁力搅拌器的搅拌子放入还原剂水溶液中，以IOOrpm的旋转速度使搅拌子旋转，从而搅拌上述还原剂水溶液，同时在该还原剂水溶液中滴加上述金属盐水溶液进行混合。这里，金属盐水溶液向还原剂水溶液中的添加量，是成为还原剂水溶液的量的1/10以下，通过调整各溶液的浓度，使得即便滴加室温的金属盐水溶液，反应温度也被保持在40°C。另外，上述还原剂水溶液与金属盐水溶液的混合比，是还原剂水溶液的柠檬酸离子与亚铁离子相对于金属盐水溶液中的金属离子的总原子价数的摩尔比，均为3倍摩尔。向还原剂水溶液滴加金属盐水溶液结束后，再持续搅拌混合液15分钟，由此在混合液内部产生金属粒子，得到金属粒子分散的金属粒子分散液。金属粒子分散液的PH为5.5，分散液中的金属粒子的化学理论生成量为5g/升。得到的分散液通过在室温下放置，使分散液中的金属粒子沉降，通过倾析，将沉降的金属粒子的凝集物分离。在分离的金属凝集物中加入去离子水，制成分散体，通过超滤进行脱盐处理，进而利用甲醇进行置换洗涤，使金属(银)的含量为50质量％。然后，使用离心分离机，调整该离心分离机的离心力，分离出粒径超过IOOnm的比较大的银粒子，由此调整为按数均计含有一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子71%，即调整为按照数均计，一次粒径在10-50nm范围内的银纳米粒子在全部银纳米粒子100%中所占比例为71%。得到的银纳米粒子被碳骨架是碳原子数为3的有机分子主链的保护剂所化学改性。接着，将得到的金属纳米粒子10质量份添加混合到包含水、乙醇及甲醇的混合溶液90质量份中使其分散，进而在该分散液中，加入下述表26-表28所示的添加物，使其成为表26-表28所示的比例，由此分别得到导电性反射膜用组合物。另外，构成导电性反射膜用组合物的金属纳米粒子，含有75质量％以上的银纳米粒子。此外，作为金属纳米粒子，在含有银纳米粒子的同时，还含有银纳米粒子以外金属纳米粒子的情况下，将利用上述方法得到的银纳米粒子的分散液作为第1分散液，除了使用用于形成下述表26-表28所示的银纳米粒子以外金属纳米粒子的种类的金属盐代替硝酸银之外，与上述银纳米粒子的制造方法同样操作，配制银纳米粒子以外金属纳米粒子的分散液，将该金属纳米粒子的分散液作为第2分散液，在加入添加物之前，混合第1分散液和第2分散液使其成为下述表26-表28所示比例，由此得到导电性反射膜用组合物。最后，使用上述配制的导电性氧化物微粒的分散液、粘合剂分散液及导电性反射膜用组合物，形成复合膜。具体而言，首先，在下述表26-表28所示的基材上，使用各种成膜方法涂布上述配制的导电性氧化物微粒的分散液，使其烧结后的厚度为0.01-0.5μm，然后，在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性氧化物微粒的涂膜。接着，在该导电性氧化物微粒的涂膜上，通过各种成膜方法使上述配制的粘合剂分散液浸渍到导电性氧化物微粒的涂膜的规定深度，在温度25°C下干燥5分钟，形成透明导电涂膜。粘合剂分散液涂布为粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量，相对于涂布的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的微粒的总质量，为下述表26-表28所示的质量比(涂布的粘合剂分散液中的粘合剂成分的质量/导电性氧化物微粒的质量)。接着，在该透明导电涂膜上，使用各种成膜方法涂布上述配制的导电性反射膜用组合物，使其烧结后的厚度为0.05-2.0μm，然后，在温度25°C下干燥5分钟，形成导电性反射涂膜。接着，在下述表26-表28所示的热处理条件下烧结，由此在基材上形成复合膜。另外，在超直型太阳能电池的光电转换层上形成本发明实施方式5的复合膜，形成薄膜太阳能电池。具体地说，首先，如图9所示，在具有有网纹结构的SnO2膜532的玻璃基板531上，通过等离子CVD法，形成作为光电转换层533的厚度为1.7μm的微晶硅层。接着，在与于上述基材上形成复合膜时的条件相同的条件下，在该光电转换层533上，形成包含第2透明导电膜534及导电性反射膜535的复合膜。接着，在导电性反射膜535的表面上，隔着掩膜图案，利用磁控管溅射法，将ITO膜536按厚度200nm成膜之后，使用激光图案法，除去ITO膜536未成膜的部分，得到如图10的俯视图所示的薄膜太阳能电池。在图10中，符号551所示的各区域，作为薄膜太阳能电池550的各单元发挥作用。另外，在表26-表28中，PVP表示Mw为360000的聚乙烯吡咯烷酮，PET表示聚对苯二甲酸乙二醇酯。<比较例El>除了相对于涂布的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的导电性氧化物微粒的总质量以150%的质量比涂布粘合剂分散液(涂布的粘合剂液的质量/导电性氧化物微粒的质量)之外，与实施例El同样操作，在基材上形成复合膜。<比较例E2>除了相对于涂布的导电性氧化物微粒的涂膜中所包含的导电性氧化物微粒的总质量以200%的质量比涂布粘合剂分散液(涂布的粘合剂液的质量/导电性氧化物微粒的质量)之外，与实施例El同样操作，在基材上形成复合膜。[表25]<table>tableseeoriginaldocumentpage106</column></row><table>[表26]<table>tableseeoriginaldocumentpage107</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage108</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage109</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage110</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage111</column></row><table><比较试验El>对实施例E1-E37及比较例E1-E2中得到的复合膜中的第2透明导电膜的膜厚进行评价。评价结果分别如下述表29及表30所示。首先，使用SEM(日立制作所公司制造的电子显微镜S800)，从膜剖面直接测算烧结后的第2透明导电膜的厚度。另外，关于这些第2透明导电膜，测定第2层的露出比例。具体地说，使用聚焦离子束(FIB)法进行加工，使试样剖面露出，通过使用扫描型电子显微镜(SEM)对该试样的剖面进行观察。〈比较试验E2>关于形成了实施例E1-E37及比较例E1-E2中得到的导电性反射膜的基材，对基材侧的接触面的气孔分布、背面反射率以及导电性反射膜的厚度进行评价。评价结果分别如下述表29及表30所示。气孔的测定方法，根据能否从第2透明导电膜剥离导电性反射膜，使用不同的测定方法。在能够从第2透明导电膜剥离导电性反射膜的例子中，首先，对密合在第2透明导电膜上的导电性反射膜，在具有平滑面的夹具上涂布粘合材料，将其推压在导电性反射膜上，进行保持直至粘合材料充分干燥而具有高粘合性，之后使用拉伸试验机(岛津制作所制EZ-TEST)使该夹具相对于第2透明导电膜垂直上抬，从而将导电性反射膜从第2透明导电膜上剥离。接着，对从第2透明导电膜剥离、在夹具上露出的导电性反射膜的基材侧接触面的面，使用原子力显微镜(AFM)，观察该面的凹凸像。对观察到的凹凸像进行分析，评价出现在膜表面的空孔的平均直径、平均深度以及数密度。此外，平均直径通过分别测定各开口部的最长径与最短径求出平均值而得到。此外，作为从第2透明导电膜剥离导电性反射膜的其他方法，也可以并用在导电性反射膜上粘贴双面胶，将其一端抬起，从第2透明导电膜剥离导电性反射膜的方法。在从第2透明导电膜不能剥离导电性反射膜的例子中，首先，对密合在第2透明导电膜上的导电性反射膜使用聚焦离子束(FIB)法进行加工，使试样剖面露出。通过使用扫描型电子显微镜(SEM)对该试样的剖面进行观察，由此观察导电性反射膜与第2透明导电膜的界面形状。关于该界面图像，评价开口部的直径、平均深度以及数密度。这里，评价的开口部的直径，是将剖面图中的开口部长度视为直径而进行的。导电性反射膜的背面反射率的评价，通过紫外可见光分光光度计和积分球的组合，测定波长500nm及IlOOnm的导电性反射膜的扩散反射率而进行。导电性反射膜的膜厚，通过利用扫描型电子显微镜(SEM)的剖面观察而测定。<比较试验E3>对实施例E1-E37及比较例E1-E2中得到的复合膜对基材的密合性进行评价。评价结果如下述表29及表30所示。利用将胶带从形成了复合膜的基材上剥离的试验，进行定性评价，“良好”表示仅胶带从基材剥落的情况，“中等”表示胶带的剥落与基材表面露出的状态同时存在的情况，“不良”表示由于胶带的剥离基材的整个表面都露出的情况。<比较试验E4>关于实施例E1-E37及比较例E1-E2中得到的薄膜太阳能电池，对图10所示的各单元551，评价单元不良率。结果如下述表29及表30所示。具体地说，如图9所示，设置探针537以使利用激光图案法除去了光电转换层533等的SnO2膜532表面与ITO膜536相连，在其中设置I-V测量头(卜>一寸)538。在这样的状态下，以lOOmW/cm2的照射强度从玻璃基板531—侧照射AMI.5的光，评价此时的功率。填充因子为0.5以下时为不良，将不良单元的个数相对于各实施例及比较例中评价的单元总数50的值作为单元不良率进行评价。[表29]<table>tableseeoriginaldocumentpage114</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage115</column></row><table>[表30]<table>tableseeoriginaldocumentpage115</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage116</column></row><table>由表29及表30可知，在比较例El、Ε2中，比较例Ε2与实施例Ε1-Ε37相比，密合性为不好的结果。在比较例Ε1、Ε2中，500nm的反射率及IlOOnm的反射率虽然均能够得到与实施例E1-E37同样高的反射率，但是单元不良率很高。而在实施例E1-E37中，能够得到单元不良率为5%以下的高度评价。工业实用性本发明的一种实施方式作为以低成本制造适用于特征在于以玻璃等透明基材作为受光面的超直型太阳能电池的、设置于受光面的相反侧的电极的技术，非常优选。本发明的其他实施方式，作为以低成本制造设置于所谓亚直型太阳能电池的背面侧(受光面的相反一侧)的电极的技术，非常优选，其中所述亚直型太阳能电池将与玻璃等基材相反一侧的面作为受光面。此外，通过使用本发明，能够通过涂布、烧结方法制造以往用真空成膜法形成的透明导电膜及导电性反射膜，可期待制造成本的大幅削减。权利要求一种超直型薄膜太阳能电池用复合膜，其特征在于具有在超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜、和在所述透明导电膜上形成的导电性反射膜2层，所述透明导电膜通过利用湿式涂布法，涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成，所述导电性反射膜通过利用湿式涂布法，涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成，出现在所述导电性反射膜的基材侧的接触面上的气孔的平均直径为100nm以下，所述气孔所处的平均深度为100nm以下，所述气孔的数密度为30个/μm2以下。2.权利要求1所述的超直型薄膜太阳能电池用复合膜，其特征在于导电性反射膜包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。3.一种超直型薄膜太阳能电池用复合膜的制造方法，其特征在于通过湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上，涂布透明导电膜用组合物，形成透明导电涂膜，通过湿式涂布法，在所述透明导电涂膜上涂布导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜后，在130-400°C下烧结具有所述透明导电涂膜及所述导电性反射涂膜的所述基材，由此形成包含具有0.03-0.5μm厚度的第2透明导电膜、和具有0.05-2.0μm厚度的导电性反射膜的2层。4.一种超直型太阳能电池用复合膜，其特征在于具有在超直型薄膜太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜、和在所述透明导电膜上形成的导电性反射膜，所述透明导电膜通过利用湿式涂布法，在所述光电转换层上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，在所述导电性氧化物微粒的涂膜上利用湿式涂布法使粘合剂分散液浸渍、烧结，由此形成，所述透明导电膜在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下，具有0.01-0.5μm的厚度，所述导电性反射膜通过利用湿式涂布法，将包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物涂布于所述透明导电膜上、进行烧结而形成，所述导电性反射膜具有0.05-2.Oym的厚度，出现在所述导电性反射膜的光电转换层侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，所述气孔所处的平均深度为IOOnm以下，所述气孔的数密度为30个/μm2以下。5.权利要求4所述的超直型太阳能电池用复合膜，其特征在于导电性反射膜包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。6.一种超直型太阳能电池用复合膜的制造方法，其特征在于利用湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型太阳能电池的光电转换层上，涂布导电性氧化物微粒的分散液和粘合剂分散液，形成透明导电涂膜，通过湿式涂布法，在所述透明导电涂膜上涂布导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜后，在130-400°C下烧结具有所述透明导电涂膜及所述导电性反射涂膜的所述基材，由此形成具有第2透明导电膜和导电性反射膜的复合膜，其中第2透明导电膜具有0.01-0.5μπι的厚度，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，所述透明导电涂膜，通过涂布所述导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜之后，利用湿式涂布法在所述导电性氧化物微粒的涂膜上使所述粘合剂分散液浸渍，由此而形成，所述第2透明导电膜具有烧结所述导电性氧化物微粒的涂膜而成的导电性氧化物微粒层、以及对被覆所述导电性氧化物微粒层整个表面的所述粘合剂分散液的涂膜进行烧结而成的粘合剂层。7.—种亚直型太阳能电池用复合膜，其特征在于具有在基材上形成的导电性反射膜、和在所述导电性反射膜上形成的透明导电膜2层，所述导电性反射膜，通过利用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成，所述透明导电膜，通过利用湿式涂布法涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物而形成，出现在所述导电性反射膜的所述透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，所述气孔所处的平均深度为IOOnm以下，所述气孔的数密度为30个/μm2以下。8.权利要求7所述的亚直型太阳能电池用复合膜，其特征在于导电性反射膜包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。9.一种亚直型太阳能电池用复合膜的制造方法，其特征在于通过湿式涂布法，在基材上涂布导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜后，在130-400°C下烧结具有所述导电性反射涂膜的基材，形成导电性反射膜，利用湿式涂布法在所述导电性反射膜上涂布透明导电膜用组合物，形成透明导电涂膜后，在130-400°C下烧结具有所述透明导电涂膜的基材，形成透明导电膜，由此形成包含导电性反射膜和透明导电膜的2层，其中导电性反射膜具有0.05-2.Oym的厚度，透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度。10.一种亚直型太阳能电池用复合膜，其特征在于具有在基材上形成的导电性反射膜、和在所述导电性反射膜上形成的透明导电膜，所述导电性反射膜，通过利用湿式涂布法，在所述基材上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜，烧结所述导电性反射涂膜而形成，所述导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，所述透明导电膜，通过利用湿式涂布法在所述导电性反射涂膜上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，利用湿式涂布法在所述导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结，由此而形成，所述透明导电膜在导电性氧化物微粒层的整个表面被粘合剂层被覆的状态下，具有0.01-0.5μm的厚度，出现在所述导电性反射膜的所述透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，所述气孔所处的平均深度为IOOnm以下，所述气孔的数密度为30个/μm2以下。11.权利要求10所述的亚直型太阳能电池用复合膜，其特征在于导电性反射膜包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。12.—种亚直型太阳能电池用复合膜的制造方法，其特征在于通过湿式涂布法，在基材上涂布导电性反射膜用组合物形成导电性反射涂膜后，在130-400°C下烧结具有所述导电性反射涂膜的所述基材，形成导电性反射膜，通过湿式涂布法，在所述导电性反射涂膜上涂布导电性氧化物微粒的分散液和粘合剂分散液，形成透明导电涂膜后，在130-400°C下烧结具有所述透明导电涂膜的所述基材，形成透明导电膜，由此制造具有透明导电膜和导电性反射膜的复合膜，其中透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，所述透明导电涂膜，通过涂布所述导电性氧化物微粒的分散液形成导电性氧化物微粒的涂膜之后，利用湿式涂布法在所述导电性氧化物微粒的涂膜上使所述粘合剂分散液浸渍而形成，所述透明导电膜具有烧结所述导电性氧化物微粒的涂膜而成的导电性氧化物微粒层、以及对被覆所述导电性氧化物微粒层的整个表面的所述粘合剂分散液的涂膜进行烧结而成的粘合剂层。13.一种超直型太阳能电池用复合膜，其特征在于具有在超直型太阳能电池的光电转换层上形成的透明导电膜、和在所述透明导电膜上形成的导电性反射膜，所述透明导电膜，通过利用湿式涂布法在所述光电转换层上涂布导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜，利用湿式涂布法在所述导电性氧化物微粒的涂膜上使粘合剂分散液浸渍、烧结，由此而形成，所述透明导电膜具有所述光电转换层上的包含粘合剂成分的第1层、以及该第1层的体积的1-30%从所述第1层露出的不包含粘合剂成分的第2层，所述导电性反射膜，通过利用湿式涂布法在所述透明导电膜上涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物、进行烧结而形成，所述导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，出现在所述导电性反射膜的光电转换层侧的接触面上的气孔的平均直径为IOOnm以下，所述气孔所处的平均深度为IOOnm以下，所述气孔的数密度为30个/μm2以下。14.权利要求13所述的超直型太阳能电池用复合膜，其特征在于导电性反射膜包含从聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮的共聚物以及水溶性纤维素中选出的1种或者2种以上的物质。15.一种超直型太阳能电池用复合膜的制造方法，其特征在于利用湿式涂布法，在通过第1透明导电膜叠层于基材上的超直型太阳能电池的光电转换层上，涂布导电性氧化物微粒的分散液和粘合剂分散液，形成透明导电涂膜，通过湿式涂布法，在所述透明导电涂膜上涂布导电性反射膜用组合物，形成导电性反射涂膜后，通过在130-400°C下烧结具有所述透明导电涂膜及所述导电性反射涂膜的所述基材，形成具有第2透明导电膜和导电性反射膜的复合膜，其中第2透明导电膜具有0.01-0.5μm的厚度，导电性反射膜具有0.05-2.0μm的厚度，所述透明导电涂膜，通过涂布所述导电性氧化物微粒的分散液，形成导电性氧化物微粒的涂膜之后，利用湿式涂布法在所述导电性氧化物微粒的涂膜上使所述粘合剂分散液浸渍而形成，所述第2透明导电膜具有所述光电转换层上的包含粘合剂成分的第1层、以及该第1层的体积的1-30%从所述第1层露出的不包含粘合剂成分的第2层。全文摘要该超直型太阳能电池用或亚直型太阳能电池用复合膜具有透明导电膜和导电性反射膜，所述透明导电膜通过利用湿式涂布法涂布包含导电性氧化物微粒的透明导电膜用组合物或分散液而形成，所述导电性反射膜通过利用湿式涂布法涂布包含金属纳米粒子的导电性反射膜用组合物而形成，出现在所述导电性反射膜的光电转换层侧或所述透明导电膜侧的接触面上的气孔的平均直径为100nm以下，所述气孔所处的平均深度为100nm以下，所述气孔的数密度为30个/μm2以下。文档编号H01L31/04GK101803037SQ200880106409公开日2010年8月11日申请日期2008年9月12日优先权日2007年9月12日发明者小川怜子,山崎和彦,林年治,荒井将英,高田佳明申请人:三菱综合材料株式会社