专利名称：一种拾取芯片装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及芯片的拾取装置。
背景技术：
目前传统的拾取芯片的方法为:采用手工方法使用吸笔将剥好的芯片逐个的吸取到石墨船中，并要求作业人员戴好手套，口罩，静电环，静电衣，静电帽等，以满足肖特基芯片洁净度和防静电的要求。手工操作给拾取工作带来了很大的麻烦，导致工作效率低，成品率不高，而且对操作者要求较高，不利于芯片的拾取。
发明内容
本发明针对以上问题，提供了一种结构简便，提高工作效率的拾取芯片的装置。本发明的技术方案是:包括固晶臂、随动臂、转轴、绷框和绷框架，
所述固晶臂头部设有吸嘴，所述随动臂头部设有顶针，所述固晶臂尾部和所述随动臂尾部通过所述转轴连接，所述固晶臂位于所述随动臂上方；
所述绷框上绷放有放置芯片的蓝膜，所述绷框设在所述绷框架上，位于所述吸嘴和所述顶针之间。所述顶针与所述吸嘴同轴心。所述固晶臂与所述随动臂同步运动。所述绷框与所述绷框架活动连接。本发明采用摆臂式设备将芯片逐个拾取到石墨船中，取代了传统的手工操作方法，提高了工作效率，在工作中顶针与吸嘴同轴心设置和同步运动，保证了芯片在上升过程中不会发生倾斜，避免了人为失误造成打翻芯片的情况和人工点晶造成的各类沾污和静电产生。并且绷框还可以根据需要适时调节转动，配合吸嘴的位置要求。本发明是芯片拾取工艺的一次革新，不仅提高了工作效率，还保证了材料的质量，且能够拾取各种尺寸的芯片，适用性较广。
图1是本发明的结构示意图，
图2是图1的俯视图，
图3是图2中K处的局部放大 图中I是转轴，2是固晶臂，3是绷框，4是蓝膜，5是芯片，6是绷框架，7是石墨船，8是吸嘴，9是顶针，10是随动臂。
具体实施例方式本发明如图1-3所示，包括固晶臂2、随动臂10、转轴1、绷框3和绷框架6，所述固晶臂2头部设有吸嘴8，所述随动臂10头部设有顶针9，所述固晶臂2尾部和所述随动臂10尾部通过所述转轴I连接，所述固晶臂2位于所述随动臂10上方；
所述绷框3绷放有放置芯片5的蓝膜4，所述绷框3设在所述绷框架6上，位于所述吸嘴8和所述顶针9之间。所述顶针9与所述吸嘴8同轴心。所述固晶臂2上的吸嘴8和所述随动臂10上的顶针同步运动。同步运动使顶针9将芯片5顶起的同时，吸嘴8的负压将芯片5吸牢，使得芯片5被吸附在吸嘴8上，然后固晶臂2、随动臂10同步转动，移动到石墨船7上方，将芯片5送入石墨船7的芯片槽中。吸嘴8与芯片5或芯片槽的对位是通过CXD摄像头实现的。所述绷框3与所述绷框架6活动连接。
权利要求
1.一种拾取芯片装置，其特征在于，包括固晶臂、随动臂、转轴、绷框和绷框架， 所述固晶臂头部设有吸嘴，所述随动臂头部设有顶针，所述固晶臂尾部和所述随动臂尾部通过所述转轴连接，所述固晶臂位于所述随动臂上方； 所述绷框上绷放有放置芯片的蓝膜，所述绷框设在所述绷框架上，位于所述吸嘴和所述顶针之间。
2.根据权利要求1所述的一种拾取芯片装置，其特征在于，所述顶针与所述吸嘴同轴心。
3.根据权利要求1所述的一种拾取芯片装置，其特征在于，所述固晶臂与所述随动臂同步运动。
4.根据权利要求1所述的一种拾取芯片装置，其特征在于，所述绷框与所述绷框架活动连接。
全文摘要
一种拾取芯片装置。涉及芯片的拾取装置。提供了一种结构简便，提高工作效率的拾取芯片的装置。包括固晶臂、随动臂、转轴、绷框和绷框架，所述固晶臂头部设有吸嘴，所述随动臂头部设有顶针，所述固晶臂尾部和所述随动臂尾部通过所述转轴连接，所述固晶臂位于所述随动臂上方；所述绷框上绷放有放置芯片的蓝膜，所述绷框设在所述绷框架上，位于所述吸嘴和所述顶针之间。本发明采用摆臂式设备将芯片逐个拾取到石墨船中，提高了工作效率，在工作中顶针与吸嘴同轴心设置和同步运动，保证了芯片在上升过程中不会发生倾斜。本发明不仅提高了工作效率，还保证了材料的质量，适用性较广。
文档编号H01L21/683GK103117240SQ20111036286
公开日2013年5月22日 申请日期2011年11月16日 优先权日2011年11月16日
发明者殷俊, 陈小华 申请人:扬州扬杰电子科技股份有限公司