专利名称：层叠装置及层叠方法
技术领域：
本发明是关于一种对太阳能电池组件等被加工物进行层叠加工时所使用的层叠装置及使用该装置的层叠方法。
背景技术：
目前，例如专利文献I所公开的层叠装置，包括:具有能向下方自由膨胀的膜片(diaphragm)的上壳体、及具有热板的下壳体。在对太阳能电池组件进行层叠时，首先，将太阳能电池组件的构成部件重叠后、搬送至上壳体与下壳体处于上下开放状态中的下壳体的热板上。然后，层叠装置将上壳体与下壳体闭合，而使由上壳体与下壳体形成的空间成为真空状态，且在对配置于热板上的该构成部件进行加热的状态下，将大气压导入至上壳体的膜片的上部。膜片与热板夹压该构成部件进行层叠加工，各构成部件通过熔融的填充材料进行黏着，从而获得太阳能电池组件。[专利文献I]日本专利特开平11-204811号公报[专利文献2]日本实用新型注册3017231号公报[专利文献3]日本专利3759257号公报[专利文献4]日本专利特开2008-126407号公报在这些现有的层叠装置中，太阳能电池组件等被加工物通过前处理工序中的搬入用传送装置等被搬送到层叠装置的正前方，然后被移载至在层叠装置的热板上循环移动的搬送带上，通过搬送带搬送至层叠装置中热板的规定位置。此时，为了对被加工物进行层叠加工，热板是处于加热状态下的。
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搬送带在热板上移动，当将被加工物载置在该搬送带上进行搬送时，则作为被加工物的构成部件的透明基板(例如玻璃基板)通过搬送带从热板受热，其结果使透明基板在进行层叠加工前发生弯曲现象。这种透明基板的弯曲现象在利用I台层叠装置来对多块被加工物同时进行层叠加工时会发生更大的问题。即，直到多块被加工物中的最后一块被搬送完毕、最初的第I个被加工物会一直从热板受热，从而会发生更大的弯曲。目前已知:如果被加工物发生弯曲，则层叠加工时容易发生被加工物内的温度分布变得不均一等问题，从而会对层叠加工后的产品品质造成不良影响。为了解决透明基板发生弯曲的问题，专利文献2至专利文献4提出以下技术。专利文献2至专利文献4中的结构中设置有多个支持部件，该支持部件在将被加工物搬入至层叠装置内时，可进行升降动作，使得被加工物能够与热板隔开载置。层叠加工以如下方式来进行。在上壳体与下壳体处于上下开放状态时，将被加工物载置在支持部件上，通过升降手段使支持部件上升，从而使被加工物与热板隔开。然后，在上壳体与下壳体闭合后将其内部空间抽真空。抽真空后，通过升降手段使支持部件下降，将被加工物载置在热板上，进行加热。然后，将大气压导入至上壳体的膜片的上部，膜片朝下方膨胀，膜片与热板夹压被加工物，进行层叠加工。
专利文献2至专利文献4中，在抽真空结束之前，被加工物均通过支持部件而与热板隔开。因此，被加工物的加热是在抽真空结束后、被加工物与热板接触才开始的，因而难以缩短层叠加工的时间。专利文献2以及专利文献3存在以下的问题。当被加工物被搬送到层叠装置内时支持销上升到热板的上方，因此搬入的被加工物被载置在叉形状(fork)的工作台上，使该工作台移动至装置内而将被加工物载置在支持销上。因此，在通过I台层叠装置对多块被加工物同时进行层叠加工时，装置结构变得复杂。而且，专利文献4存在如下的问题。将被加工物搬入至层叠装置内的方法使用了搬送带。其构成为:使多个矩形状的板上升到热板上方、与热板隔开，将被加工物搬入至装置内。因此，在抽真空结束后、将被加工物载置在热板上并对被加工物进行加热时，被加工物与热板的接触面积减少了相当于多个矩形状板的面积量。因此，仅利用热板则加热不足，需要从膜片的上部吹热风，从而使层叠装置的构成变得复杂且价格昂贵。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种即使在一块以上的被加工物被同时搬入一台层叠装置进行层叠加工时、也能够减少构成被加工物的透明基板发生弯曲等现象、缩短层叠加工时间、将产品质量维持在规定水平以上的层叠装置及层叠方法。为了达到上述目的，第I发明的层叠装置，包括通过膜片而分隔的上腔室与下腔室，下腔室中设置有热板，通过在该热板上方移动的搬送带搬入被加工物并进行层叠加工，该层叠装置的特征在于:包括升降部件，在将上述被加工物载置在搬送带上且向层叠装置搬入时，该升降部件从上述热板提升该搬送带进行搬送；上述升降部件构成为如下:在将上述被加工物向上述层叠装置内搬入时上升，而将载置上述被加工物的搬送带在从热板提升的状态下移动，在上述被加工物搬送到热板上的规定位置时下降，从而将上述被加工物通过搬送带载置在热板上。第2发明的层叠装置，基于第I发明，其特征在于:上述升降部件包含通过驱动手段使提升销(lift pin)进行升降动作的销提升机构。第3发明的层叠装置，基于第2发明，其特征在于:作为上述升降部件的销提升机构包括多个提升销；所述多个提升销排列设置，从下表面平衡支撑载置被加工物并移动的搬送带，从而可将被加工物维持在水平状态进行支持。第4发明的层叠装置，基于第2发明或第3发明，其特征在于:上述提升销的前端部的形状平坦。第5发明的层叠装置，基于第2发明至第4发明中的任一发明，其特征在于:构成上述升降部件的提升销的前端设置有低摩擦部，该低摩擦部与载置被加工物的搬送带之间的滑动摩擦阻力小。第6发明的层叠装置，基于第I发明至第5发明中的任一发明，其特征在于:上述被加工物为太阳能电池组件。为了达到上述目的，第7发明的层叠方法使用层叠装置，该层叠装置包括通过膜片而分隔的上腔室与下腔室，下腔室中设置有热板，通过在该热板上方移动的搬送带来搬入被加工物并进行层叠加工，该层叠方法的特征在于:在将被加工物搬入至层叠装置时，使升降部件上升，从而使载置有上述被加工物、向层叠装置搬送的搬送带从上述热板提升进行搬送；在将载置有被加工物的搬送带从热板提升的状态下、使搬送带移动而将被加工物搬入至层叠装置内；在将该被加工物搬送到热板上的规定位置后、使升降部件下降，从而将被加工物通过搬送带载置在热板上；之后进行层叠加工。[发明效果]如以上所述，根据第I发明的层叠装置或第7发明的层叠方法，因其具有如下结构:设置有升降部件，该升降部件在将被加工物向该装置搬入时将搬送被加工物的搬送带提升，使升降部件提升，搬入载置在该搬送带上的被加工物，在被加工物到达热板上的规定部位后使升降部件下降，将该被加工物通过搬送带载置在热板上，从而进行层叠加工。因此，可实现如下所述的各种优异的效果。即，为了对一 块以上的被加工物进行层叠加工而将其搬入层叠装置时，利用升降部件将搬送带提升后进行搬入，在搬入结束后使升降部件下降、将被加工物通过搬送带载置在热板上，因而层叠加工前被加工物不会从热板受到多余的热。因此，作为被加工物的构成部件的透明基板不会产生弯曲，从而被加工物内的温度分布均一、提高层叠加工产品的品质。而且，利用层叠装置同时进行层叠加工，可消除多个产品的品质偏差。此外，层叠加工后的产品不仅品质稳定，而且不会在层叠加工时发生透明基板弯曲，和现有技术相比，被加工物的各部位提前达到目标温度、因而可缩短层叠加工时间。根据第2发明的层叠装置，将升降部件设为提升销，简化了升降机构；另外，相对于热板的整体面积，销提升部的面积非常小，不会对被加工物的加热造成影响，从而无需因加热不足而增设热板以外的其他加热手段。根据第3发明的层叠装置，将作为升降部件的提升销配置成从下表面平衡地支撑搬送带，因而即使搬送带在提升销上移动，也可使搬送带顺利移动、将被加工物搬送至层叠
>J-U ρ α装直。根据第4发明的层叠装置，作为升降部件的提升销的前端部为平坦面，因此可以在不磨损搬送带的情况下将被加工物搬送至层叠装置。根据第5发明的层叠装置，在搬入被加工物时，使作为升降部件的提升销上升，SP使搬送带在提升销上移动，因提升销上形成有低摩擦部，因此可以在不磨损搬送带的情况下将被加工物搬送至层叠装置。根据第6发明的层叠装置，可提高作为被加工物的太阳能电池组件的品质，并且可缩短太阳能电池组件的加工时间。
图1是将作为本发明的层叠装置的被加工物的太阳能电池组件分解后进行表示的剖面图。图2是表示适用本发明的层叠装置的整体结构的概略剖面图。图3是表示图2中层叠装置的层叠部的剖面图。图4是表示在图2中层叠装置的层叠部中进行层叠加工时的状态图。图5 (a)、图5 (b)是对在图2的层叠装置中使用的现有技术的提升销的动作进行说明的说明图。图6(a)、图6(b)是表示本发明的层叠装置的一实施方式，对发明特徵的升降部件、即提升销机构的提升销的动作进行说明的说明图。图7(a)、图7(b)是表示本发明的层叠装置的一实施方式，通过作为要部的提升销将被加工物搬入至层叠部时的动作进行说明的说明图。图8 (a)、图8 (b)是表示本发明的层叠装置的一实施方式，通过作为要部的提升销将被加工物搬入至层叠部时的动作进行说明的说明图。图9 (a)、图9 (b)、图9 (c)是表示本发明的层叠装置的一实施方式，通过作为要部的提升销将被加工物搬入至层叠部时的动作进行说明的说明图。图10是对本发明的层叠装置的其他实施方式的提升销进行说明的说明图。图11(a)、图11(b)是在本发明的层叠装置中，在提升销的前端部设置有低摩擦部的其他实施方式的说明图。图12(a)、图12(b)是在本发明的层叠装置中，在提升销的前端部设置有低摩擦部的其他实施方式的说明图。符号说明10:被加工物(太阳能电池组件)11:盖玻璃(透明基板)12:背面材料13、14:填充材料15:电池串16、17:电极18:太阳能电池单元19:导线100:层叠装置101:层叠部110:上壳体112:膜片113:上腔室114、123:吸排气口120:下壳体121:下腔室122:热板(板状加热器)130:搬送带200:搬入用传送装置300:搬出用传送装置400,401,402,403:提升销(升降部件)406:圆柱状部件407:低摩擦材料层408:圆筒状辊
500:热板保护片材600:现有的提升销
具体实施例方式图1至图12 (a)、图12(b)是说明本发明的层叠装置的实施方式的附图，以下通过附图对本发明的层叠装置及使用该装置的层叠方法进行说明。〈1>太阳能电池组件首先，对本发明的层叠装置以及使用该装置的层叠方法所处理的对象、即被加工物10进行说明。图1是表示作为被加工物10的太阳能电池组件结构的剖面图。如图所示，太阳能电池组件(10)，具有如下结构:在配置于下侧的透明的盖玻璃11与配置于上侧的背面材料12之间，隔着填充材料13、14夹有由多列电池串(string) 15。背面材料12例如使用的是聚乙烯树脂等的不透明的材料。填充材料13、14例如使用的是乙烯醋酸乙烯酯(ethylene vinylacetate, EVA)树脂等。在电极16、17之间,将太阳能电池单元18通过导线19连接后构成多列电池串15。被加工物10，也可以是一般被称为薄膜式太阳能电池。该薄膜式太阳能电池的代表结构中，在配置在下侧的透明盖玻璃上事先蒸镀由透明电极、半导体、背面电极构成的发电兀件。使玻璃朝下配置，在玻璃上的发电兀件上覆盖填充材，再在填充材上覆盖背面材。随后，通过真空加热、层叠，制造薄膜式太阳能电池组件。作为被加工物10的薄膜式太阳能电池组件，仅仅是将上述太阳能电池组件的结晶系电池单元替换为蒸镀的发电元件而已，就基本封闭结构而言，薄膜式太阳能电池组件与上述太阳能电池组件是相同的。本发明的层叠装置中所使用的被加工物10、即太阳能电池组件具有边长为Im 2m左右的矩形板状，重量为40Kg左右。〈2>整体构成图2是适用本发明的层叠装置100的主视图。在图2所示的层叠装置100的左侧，设置有搬入用传送装置200，在右侧设置有搬出用传送装置300。搬入用传送装置200将层叠加工前的被加工物10、即太阳能电池组件供给至层叠部，搬出用传送装置300将层叠加工后的被加工物10搬出。被加工物10按照搬入用传送装置200、层叠装置100及搬出用传送装置300的顺序不断向图2的右侧搬送，进行层叠部的搬入和搬出。层叠装置100中还设置有搬送带130，该搬送带130从搬入用传送装置200接受被加工物10，并移交至搬出用传送装置300。<3>层叠部下面根据图3对本发明的层叠装置的层叠部进行说明。利用本发明的层叠装置100同时进行层叠加工的被加工物10、即太阳能电池组件可以是一块或多块，为了简化说明，仅图不了一块。图3是表示层叠部101的剖面图。以将上壳体110的内部水平分隔的方式安装有膜片112，由该膜片112与上壳体110的内壁面包围的空间成为上腔室113。膜片112使用的是氟橡胶等耐热性的橡胶等。在上壳体110的上面，设置有和上腔室113相连通的吸排气口 114。将吸排气口114与未图示的真空泵连接、可将上腔室113内抽真空，或与外部气体连通、可向上腔室113内导入大气压。在作为下壳体120内部空间的下腔室121内配置有热板(板状加热器)122。如图3或图4所示，热板122通过在下腔室121底部上设置的支撑部件等被支持。在下壳体120的下面，设置有和下腔室121相连通的吸排气口 123。下腔室121构成为:上方通过上壳体Iio进行密封，从吸排气口 123可将下腔室121内抽真空，或从该吸排气口 123可向下腔室121内导入大气压。<4>层叠加工工序被加工物10的层叠加工根据如下方式来进行。首先，驱动搬送带130使其移动搬送被加工物10，当到达进行层叠加工的位置时
停止移动。关闭上壳体110、使其和下壳体120重叠，将吸排气口 114、123与真空泵连接，对上腔室113与下腔室121内的空间进行减压。由于热板122处于加热状态，被加工物10通过搬送带130从热板122获取热量。当上腔室113与下腔室121内的空间达到规定的真空度后，向上腔室113内导入大气。因此，如图4所示，膜片112朝下方膨胀，将被加工物10强力地按压到热板122上。被加工物10被热板122加热后，被加工物10内的填充材料13、14熔融、产生交联
反应，进行层叠加工。层叠加工结束后，向下腔室121内导入大气，打开上壳体110。驱动搬送带130使其移动，被加工物10向图2的右方前进、到达搬出位置，移交给搬出用传送装置300后被搬出。被加工物的搬出结束后，从搬入用传送装置200接受下一个被加工物10，并重复上述工序。〈5>透明基板的翘曲问题具有上述结构的层叠装置100中，也有采用以下方法向层叠部101内搬入被加工物10的。即，当向层叠装置内搬入被加工物10时，使搬送带130在热板上移动、搬送被加工物，在到达热板122上的规定位置后，通过图5 (a)、图5 (b)所示的多个提升销600将被加工物10提升、从而与热板122隔开，经过一定的时间后，使提升销600再次下降，将被加工物10通过搬送带130载置在热板上，利用〈4>中所述方法进行层叠加工。然而，采用这种方法时，在热板122上使搬送带130移动、将被加工物10搬送至热板上的规定位置的期间内，被加工物10从热板受热，透明基板发生弯曲。因为透明基板的弯曲，使被加工物10面方向上的温度分布不均，对层叠加工后的产品品质造成不良影响。此外，如果采用上述方法，则在搬入多个加工物10并同时进行层叠加工时，最先搬入的被加工物会产生更大的弯曲。从而在搬入的多块被加工物之间产生产品品质的差异的问题。<6>提升销的构成(实施例1)根据本发明，在上述构成的层叠装置100中，如图6 (a)、图6 (b)所示，设置有多个提升销400、构成等同于升降部件的销提升机构。在向层叠部101内搬入被加工物10时，提升销400使载置有该被加工物10的搬送带130在从热板122提升的状态下移动。这种提升销400只需利用设置在例如热板122下方的升降式气缸等即可进行升降动作。所述多个提升销400的个数或配置、气缸等的驱动手段的个数或配置等可适当设定。设置多个提升销400，使提升销400上升，使搬送带在该提升销上移动、将被加工物10向层叠部101搬送。当被加工物10到达层叠部101内的热板122上方的规定位置时，使提升销400下降，将被加工物10载置在热板上。因此，和现有技术不同，在将被加工物搬入至层叠装置时，盖玻璃11不会接触到热板122，从而可抑制盖玻璃11的弯曲。同时，可使被加工物10面方向 上的温度分布均一，短缩层叠加工时间，且可提高产品品质。根据本发明，将提升销400的前端形状如图6 (a)、图6 (b)等所示变更为的平坦面形状与搬送带130等发生面接触、且销直径也比图5所示的现有销直径粗。例如将销直径设为6mm 12mm,较佳的是设为8mm 10mm。销的直径或个数也可根据被加工物10的盖玻璃11等的重量或搬送带的耐久性进行设定。如果将上述提升销与搬送带130接触的前端部形成为如图5 (a)、图5 (b)所示的尖状，再适用本发明的被加工物的搬送方法，则会产生以下问题。将被加工物10提升后、使搬送带在该提升销600上移动来搬送时，由于提升销600的前端形状是尖状的，容易损伤搬送带、或缩短其寿命。例如有数据显示:在连续运转I週左右后，搬送带发生断裂。如果将提升销的形状设为图6 (a)、图6 (b)所示的形状，即使搭载有被加工物10的搬送带130在上升的提升销400上移动，也能够尽可能地防止搬送带的损伤，从而延长其寿命O〈7>被加工物的搬送方法。将被加工物10搬入具有上述构成的层叠装置100内的方法，参照图7(a)、图7(b)、图8(a)、图8(b)、图9(a)以及图9(c)进行说明。这些图是用于说明利用I台层叠装置来对3个被加工物进行层叠加工时、在提升销400上升的状态下使搬送带移动而从第I块被加工物开始依序搬入至层叠装置内的状况。另外，图中提升销400的配设位置针对各被加工物10而示意性地设为9个。图中，〇标记、X标记的位置为提升销位置。X标记位置表示提升销位在被加工物的下侧。〇标记位置表示提升销未由被加工物遮住。当然提升销的个数并不限于此，其个数可适当设定。图7(a)、图7(b)表示将第I块被加工物搬入至层叠装置的状态，图8 (a)、图8 (b)表示将第2块被加工物搬入至层叠装置的状态，图9(a)至图9(c)表示将第3块被加工物搬入至层叠装置的状态。图7(a)、图8(a)以及图9(a)是已搬入被加工物的状态的平面图。图7(b)、图8(b)以及图9(b)是已搬入被加工物的状态的侧面图。图9(c)表示提升销400下降，所有的被加工物10通过搬送带130被载置在热板122上的状态。根据本发明，当被加工物10按照第I块、第2块、第3块的顺序载置在搬送带130上、被搬入至层叠部101内时，提升销400全部上升，且维持在提升的状态。因此，所有的被加工物10处在热板122上方、以规定间隔和热板隔开的状态下，被搬送至该热板122上方的规定位置。该状态下，提升销400下降，被加工物10载置在热板122上。因此，在各被加工物10被载置在热板122上之前，太阳能电池组件内的盖玻璃11 (透明基板)不会产生弯曲，通过热板122以所需要的状态加热，并进行层叠加工。另外，在图7(a)、图7(b)、图8(a)、图8(b)、图9(a)至图9(c)的例子中，表示在层叠装置100中，向层叠部101内搬入3块被加工物10，同时进行层叠加工的情况。当然不限定于此，被加工物10的块数可适当设定。<8>具备热板保护片材的热板的实施方式(实施例2)图10表示在热板122上设置有热板保护片材500的情况。因在热板122上设置有热板保护片材500，从而在适用本发明时，如果作为升降部件的提升销400上升，则热板保护片材500也上升到和提升销400上升相同的高度。因此，当将被加工物10搬入至层叠装置100 (层叠部101)内时，搬送带130载置被加工物10、在热板保护片材500上方移动。热板保护片材仅需被载置在热板122上、通过螺栓等固定4角，即可简单地使其随提升销400的上升而升高。在具有上述构成时，当搬送带载置有被加工物移动时，则热板保护片材500与搬送带130之间产生摩擦、使搬送带受损从而导致断裂。因此、需要设法减少热板保护片材500与搬送带130之间的摩擦。例如，可将作为热板保护片材的芯材的玻璃布浸溃在氟树脂中、从而减少热板保护片材500与搬送带130之间的摩擦，在升高提升销搬送被加工物时，减少两片材(搬送带130和热板保护片材500)的损伤，延长其寿命。<9>设置有低摩擦部的提升销的实施方式(实施例3)构成上述升降部件的提升销400，其前端可形成平坦面、从而发生面接触，也可在提升销的前端部设置低摩擦材料，即便在载置有被加工物10的搬送带130在提升销400的前端部移动时，该低摩擦材料也具有很小的滑动摩擦阻力。图11 (a)表示在提升销401的前端设置有低摩擦树脂部件时的剖面图。可使用氟树脂等作为低摩擦树脂。以氟树脂制成的圆柱状部件406以可替换的形式安装在提升销401的前端部。图11 (b)是在提升销402的前端部设置有低摩擦材料层407的实施例。可采用火焰喷涂钥涂层或涂敷氟树脂层等形成低摩擦材料层407。图12的结构中，为了减小提升销与搬送带之间的滑动摩擦阻力，在提升销的前端设置了辊等滚动体。图12(a)是表示从搬送带的移动方向观察本实施例的提升销的图。图12(b)是图12(a)的侧面图。如图所示，在提升销403的前端部分，沿搬送带的移动方向设置的矩形状沟槽。该沟槽中设置有通过销旋转支持的圆筒状辊408。也可使用圆筒状轴承或球形状轴承作为滚动体。具有上述结构时，即使载置有被加工物的搬送带130在提升销上方移动，搬送带和辊408接触，辊408发生旋转、减少与搬送带之间的摩擦，降低搬送带的损伤，从而延长其寿命。本发明不限定于上述实施方式中所说明的结构，构成层叠装置100的各部件的形状和结构等可以进行适当变形、变更。例如，在上述实施方式中，作为被加工物10的太阳能电池组件，例示的太阳能电池组件是具有一边为Im至2m左右的矩形板状，但本发明并不限定于此，被加工物10可以具有所需形状的任何适当尺寸。层叠装置100不限定于层叠上述太阳能电池组件等，只要是与此类似的被加工物10均可适用，发挥效果。 构成作为升降部件的销提升机构的提升销400的升降驱动源，可使用已知的驱动手段。例如可使用气压、油压等的流体气缸装置，但不限定于此，也可采用各种结构的驱动手段，例如使用滚珠丝杆、齿条齿轮(rack and pinion)等的机械驱动装置，或将电动马达等组合在该机械驱动装置中而构成的装置等。
权利要求
1.一种层叠装置，包括通过膜片而分隔的上腔室与下腔室，下腔室中设置有热板，通过在该热板上方移动的搬送带搬入被加工物并进行层叠加工，该层叠装置的特征在于: 包括升降部件，在将上述被加工物载置在搬送带上且向层叠装置搬入时，该升降部件从上述热板提升该搬送带而进行搬送； 上述升降部件构成为:在将上述被加工物向上述层叠装置内搬入时上升，而将载置上述被加工物的搬送带在从热板提升的状态下移动，在上述被加工物被搬送到热板上的规定位置时下降，从而将上述被加工物通过搬送带载置在热板上。
2.根据权利要求1所述的层叠装置，其特征在于: 上述升降部件包含通过驱动手段使提升销进行升降动作的销提升机构。
3.根据权利要求2所述的层叠装置，其特征在于: 作为上述升降部件的销提升机构包括多个提升销； 所述多个提升销排列设置，从下表面平衡支撑载置有被加工物并处于移动中的搬送带，从而可将被加工物维持在水平状态进行支持。
4.根据权利要求2或3所述的层叠装置，其特征在于: 上述提升销的前端部的形状平坦。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的层叠装置，其特征在于: 构成上述升降部件的提升销的前端设置有低摩擦部，该低摩擦部与载置有被加工物的搬送带之间的滑动摩擦阻力小。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的层叠装置，其特征在于: 上述被加工物为太阳能电池组件。
7.一种层叠方法，其使用层叠装置，该层叠装置包括通过膜片而分隔的上腔室与下腔室，下腔室中设置有热板，通过在该热板上方移动的搬送带搬入被加工物并进行层叠加工，该层叠方法的特征在于: 在将被加工物搬入至层叠装置时，使升降部件上升，从而使载置有上述被加工物、向层叠装置搬送上述被加工物的搬送带从上述热板提升而进行搬送； 在将载置有被加工物的搬送带从热板提升的状态下、使搬送带移动而将被加工物搬入至层叠装置内； 在将该被加工物搬送到热板上的规定位置后、使升降部件下降，从而将被加工物通过搬送带载置在热板上； 之后进行层叠加工。
全文摘要
本发明提供一种即使在一块以上的被加工物被同时搬入一台层叠装置进行层叠加工时、也能够减少作为被加工物的透明基板发生弯曲等现象、缩短层叠加工时间、将产品质量维持在规定水平以上的层叠装置及层叠方法。本发明的层叠装置(100)包括通过膜片(112)而分隔的上腔室(113)与设置有热板(122)的下腔室(121)，通过在该热板上方移动的搬送带(130)搬入被加工物(10)并进行层叠加工，在热板上设置有升降部件(400)。该层叠装置(100)的构成为在将被加工物向层叠部(101)内搬入时使升降部件(400)上升，而使搬送带在从热板提升的状态下移动，当搬送带上的被加工物被搬到热板上的规定位置时、使升降部件(400)下降，将被加工物载置于热板上进行层叠加工。
文档编号H01L31/042GK103180124SQ20118005230
公开日2013年6月26日 申请日期2011年7月28日 优先权日2010年9月3日
发明者油布淳, 筱田隆志, 榊原活之, 高木靖史 申请人:日清纺精密机器株式会社