飞秒锁模激光器的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种飞秒锁模激光器，用于输出经锁模的激光，包括：具有聚焦系统的泵浦源(10)，用于提供泵浦激光并将所述泵浦激光聚焦到激光晶体(20)上；激光晶体(20)，用作增益介质；由多个光学元件构成的光学系统，包括用于形成所述激光的往返光路的谐振腔，所述激光晶体(20)设置在所述往返光路中；其中，所述激光晶体(20)由Nd,Y:SrF2材料形成；所述谐振腔具有设置在所述往返光路的第一端部处用于反射所述激光的第一端镜(30)，以及设置在所述往返光路的第二端部处用作输出镜的第二端镜(40)，用于部分反射和部分透射所述激光；所述第二端镜(40)面向谐振腔内的一面镀有在增益激光处输出耦合率为0.3％的介质膜，所述第二端镜(40)背向谐振腔内的一面还镀有促进增益激光透射的增透介质膜；所述谐振腔还具有沿所述往返光路设置在所述第一端镜(30)和所述第二端镜(40)之间的第一凹面镜(50)、第二凹面镜(60)和第三凹面镜(70)；并且布置成使得所述具有聚焦系统的泵浦源(10)发出的所述泵浦激光经过所述第一凹面镜(50)后入射到所述激光晶体(20)上，经振荡产生的激光先入射到所述第二凹面镜(60)上，并被所述第二凹面镜(60)和所述第三凹面镜(70)依次反射，然后入射到所述第一端镜(30)上；所述第一端镜(30)将激光原路返回，到达所述第一凹面镜(50)，并被所述第一凹面镜(50)依次反射，最终入射到所述第二端镜(40)上，透过所述第二端镜(40)输出经锁模的所述激光；所述激光晶体(20)上面向所述第一端镜(30)的侧面与面向所述第二端镜(40)的侧面上依次镀有促进泵浦激光透射的增透介质膜和促进增益激光透射的增透介质膜；所述激光晶体(20)上未镀增透介质膜的侧面上，包覆有铟铂层。2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第一凹面镜(50)的曲率半径为120mm，所述第二凹面镜(60)的曲率半径为150mm，所述第三凹面镜(70)的曲率半径为300mm。3.根据权利要求1-2中任一项所述的激光器，其特征在于，所述谐振腔还具有设置在所述往返光路中用于色散补偿的GTI镜(80)，所述GTI镜(80)布置成将来自所述第二凹面镜(60)和所述第三凹面镜(70)中一个的激光反射至另一个。4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述GTI镜(80)提供的反常色散值为-1000fs2～-250fs2。5.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述GTI镜(80)提供的反常色散值为-750fs2。6.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述第一端镜(30)为半导体可饱和吸收镜，用于形成所述飞秒锁模激光器的稳定锁模。7.根据权利要求1-2、4-6中任一项所述的激光器，其特征在于，所述激光晶体(20)中Nd原子的掺杂浓度为0.2％～1.5％，Y原子的掺杂浓度为2％～15％。8.根据权利要求7所述的激光器，所述激光晶体(20)中Nd原子的掺杂浓度为0.4％，Y原子的掺杂浓度为10％。9.根据权利要求1-2、4-6中任一项所述的激光器，其特征在于，所述激光晶体(20)为长方体；所述激光晶体(20)的尺寸为3mm×3mm×6mm。10.根据权利要求1-2、4-6中任一项所述的激光器，其特征在于，所述第一端镜(30)的调制深度为0.4％，非饱和吸收损耗为0.7％，饱和通量为90μJ/cm2，弛豫时间为500fs，中心波长为1064nm。