具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构的制作方法

文档序号:13290862阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,包含:介电层;电感设置于该介电层中,该电感包含:核芯结构;以及线圈环绕该核芯结构;以及金属-绝缘层-金属电容设置于该介电层中,该金属-绝缘层-金属电容,包含:上电极;下电极;以及绝缘层设置于该上电极和该下电极之间;其中该上电极和该下电极两者其中之一包含构成该核芯结构的材料。2.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该下电极包含构成该核芯结构的材料。3.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该电感和该金属-绝缘层-金属电容埋入于该介电层内。4.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,还包含多个第一沟槽设置于该介电层中,该上电极、该下电极和该绝缘层位于该多个第一沟槽中。5.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该上电极、该下电极和该绝缘层形成一平面电容结构。6.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,还包含至少一第二沟槽设置于该介电层中,该核芯结构位于该第二沟槽中。7.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该线圈不和该核芯结构接触。8.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,还包含第一金属层位于该介电层下方,第二金属层位于该介电层上方,其中该电感和该金属-绝缘层-金属电容都位于该第一金属层和第二金属层之间。9.如权利要求8所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中\t该第一金属层电连结该上电极,该第二金属层电连结该下电极。10.如权利要求8所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该第一金属层包含第一电路和第二电路,该上电极电连结该第一电路,该下电极连结该第二电路。11.如权利要求8所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该线圈的一端电连结该第一金属层,该线圈的另一端电连结该第二金属层。12.如权利要求8所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该第一金属层包含第三电路和第四电路,该线圈的一端电连结该第三电路,该线圈的另一端电连结该第四电路。13.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中构成该核芯结构的材料包含具有导电性质的磁性材料。14.如权利要求1所述的具有电感和金属-绝缘层-金属电容的结构,其中该下电极和该核芯结构在同一步骤制作。
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