一种晶圆片自动中心定位仪的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆片自动中心定位仪，包括LED灯、图像传感器、图像数据处理器、像素计数器和控制电路，所述LED灯的信号输出端与所述图像传感器的信号输入端连接，所述图像传感器的信号输出端与所述图像数据处理器的信号输入端连接，所述图像数据处理器的信号输出端与所述像素计数器的信号输入端连接，所述控制电路的信号输出端分别与所述图像传感器的信号输入端和所述像素计数器的信号输入端连接。本实用新型设计了一种晶圆片自动中心定位仪，可以用于机械手上，来完成对晶圆片的中心定位，使得具有定位精确、工作效率较高和材料报废率较低的优点。
【专利说明】—种晶圆片自动中心定位仪
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种定位仪，尤其涉及一种晶圆片自动中心定位仪。
【背景技术】
[0002]70年代，英特尔实验室的技术师们穿着工作服，拿着镊子从一个工序到下一个工序夹取晶圆片。这种传统的手工装卸片方式效率低下、材料报废率高；到90年代初，人们发明了用机械手来完成这道工序，但是机械手完成时，又遇到一个严重的问题，由于晶圆片较小，机械手无法定位其中心，工作效率还是较低，材料报废率还是很高。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆片自动中心定位仪。
[0004]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0005]本实用新型包括LED灯、图像传感器、图像数据处理器、像素计数器和控制电路，所述LED灯的信号输出端与所述图像传感器的信号输入端连接，所述图像传感器的信号输出端与所述图像数据处理器的信号输入端连接，所述图像数据处理器的信号输出端与所述像素计数器的信号输入端连接，所述控制电路的信号输出端分别与所述图像传感器的信号输入端和所述像素计数器的信号输入端连接。
[0006]本实用新型的有益效果在于:
[0007]本实用新型设计了一种晶圆片自动中心定位仪，可以用于机械手上，来完成对晶圆片的中心定位，使得具有定位精确、工作效率较高和材料报废率较低的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型所述一种晶圆片自动中心定位仪的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0010]如图1所示:本实用新型包括LED灯、图像传感器、图像数据处理器、像素计数器和控制电路，LED灯的信号输出端与图像传感器的信号输入端连接，图像传感器的信号输出端与图像数据处理器的信号输入端连接，图像数据处理器的信号输出端与像素计数器的信号输入端连接，控制电路的信号输出端分别与图像传感器的信号输入端和像素计数器的信号输入端连接。
[0011]本领域技术人员不脱离本实用新型的实质和精神，可以有多种变形方案实现本实用新型，以上所述仅为本实用新型较佳可行的实施例而已，并非因此局限本实用新型的权利范围，凡运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变化，均包含于本实用新型的权利范围之内。
【权利要求】
1.一种晶圆片自动中心定位仪，其特征在于:包括LED灯、图像传感器、图像数据处理器、像素计数器和控制电路，所述LED灯的信号输出端与所述图像传感器的信号输入端连接，所述图像传感器的信号输出端与所述图像数据处理器的信号输入端连接，所述图像数据处理器的信号输出端与所述像素计数器的信号输入端连接，所述控制电路的信号输出端分别与所述图像传感器的信号输入端和所述像素计数器的信号输入端连接。
【文档编号】H01L21/68GK203787407SQ201420114498
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年3月14日 优先权日:2014年3月14日
【发明者】雷枫, 李少博, 问孝明 申请人:北京普瑞微纳科技有限公司