外延片扩散舟的制作方法
【专利摘要】外延片扩散舟。提供了一种结构简单，方便操作换向的外延片扩散舟。包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板，所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方，所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一，所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二；若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间，所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆，所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆；一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间；一对拉环包括拉环一和拉环二，拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。本实用新型节省了工作时间，提高了工作效率。
【专利说明】外延片扩散舟
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种扩散舟，尤其涉及用于生产外延片的扩散舟。
【背景技术】
[0002]目前，外延片产品一般使用固态微晶片作为扩散源，由于在高温下作业，进出炉时受到温差的影响，易造成固态微晶片弯曲变形；因此，目前每做一定数量炉次，需把微晶片换向，以便改变微晶片受到温差变形的方向，提高微晶片的使用寿命，降低产品成本。但是，微晶片换向工艺较繁琐，且由于作业员操作失误可能导致微晶片破裂及污染，影响产品品质,增加了生产成本。
实用新型内容
[0003]本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，方便操作换向的外延片扩散舟。
[0004]本实用新型的技术方案是:包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板，所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方，所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一，所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二 ；
[0005]若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间，所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆，所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆；
[0006]所述一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间；
[0007]所述一对拉环包括拉环一和拉环二，所述拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。
[0008]所述拉环一设在所述拉环二的上方。
[0009]还包括若干侧挡块，所述侧挡块连接在所述顶梁和底梁之间、且位于所述支撑梁和底梁之间。
[0010]所述一对顶梁的外侧和一对底梁的外侧分别设有加强筋。
[0011]本实用新型中的扩散舟采用横梁、底梁和插板连接形式，方便组装、拆卸，便于操作；相邻插板之间形成插槽，便于充分利用空间；在位于两端的插板的外侧分别设有拉环，方便改变进炉方向，这样在生产一定数量炉次后将扩散舟换向进炉，避免了微晶片换向的动作，保证微晶片使用的次数，减少了繁琐的操作。本实用新型节省了工作时间，提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图，
[0013]图2是图1的俯视图；
[0014]图中11是顶梁，12是底梁，2是插板，21是上插杆，22是下插杆，3是侧挡块，4是支撑梁，51是拉环一，52是拉环二，6是加强筋。
【具体实施方式】
[0015]本实用新型如图1-2所示，包括一对顶梁11、一对底梁12、一对支撑梁4、一对拉环和若干插板2，所述一对顶梁11平行于所述一对底梁12、且设在所述底梁12的上方，顶梁11和底梁12呈方框形，所述一对顶梁11的相对面上分别均布设有若干插孔一，所述一对底梁12的相对面上分别均布设有若干插孔二 ；
[0016]若干所述插板2垂直且均布设在所述一对顶梁11和一对底梁12之间，所述插板2的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆21，所述插板2的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆22 ;插板和插孔数量一致，上插杆设在插孔一内，下插杆设在插孔二内，便于组装拆卸；
[0017]所述一对支撑梁4连接在所述插板2的底面、且位于所述底梁的中间，(所述一对支撑梁平行于所述一对底梁);
[0018]所述一对拉环包括拉环一 51和拉环二 52，所述拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板(首插板和末插板)的外侧；一对拉环，便于换向，操作简便。
[0019]所述拉环一 51设在所述拉环二 52的上方，满足现场的实际工作需求。
[0020]本实用新型中的扩散舟为一种插槽型石英舟，方便改变进炉方向，提高了工作效率。
[0021]还包括若干侧挡块3，所述侧挡块3连接在所述顶梁11和底梁12之间、且位于所述支撑梁和底梁之间。
[0022]所述一对顶梁11的外侧和一对底梁12的外侧分别设有加强筋6，提高了顶梁、底梁的强度。
【权利要求】
1.外延片扩散舟，其特征在于，包括一对顶梁、一对底梁、一对支撑梁、一对拉环和若干插板，所述一对顶梁平行于所述一对底梁、且设在所述底梁的上方，所述一对顶梁的相对面上分别均布设有若干插孔一，所述一对底梁的相对面上分别均布设有若干插孔二； 若干所述插板垂直且均布设在所述一对顶梁和一对底梁之间，所述插板的上端的两端头分别设有与所述插孔一适配的上插杆，所述插板的下端的两端头分别设有与所述插孔二适配的下插杆； 所述一对支撑梁连接在所述插板的底面、且位于所述底梁的中间； 所述一对拉环包括拉环一和拉环二，所述拉环一和拉环二分别设在位于两端的插板的外侧。
2.根据权利要求1所述的外延片扩散舟，其特征在于，所述拉环一设在所述拉环二的上方。
3.根据权利要求1或2所述的外延片扩散舟，其特征在于，还包括若干侧挡块，所述侧挡块连接在所述顶梁和底梁之间、且位于所述支撑梁和底梁之间。
4.根据权利要求1或2所述的外延片扩散舟，其特征在于，所述一对顶梁的外侧和一对底梁的外侧分别设有加强筋。
【文档编号】H01L21/673GK203839358SQ201420269689
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年5月23日 优先权日:2014年5月23日
【发明者】游佩武, 张进成, 裘立强, 王毅 申请人:扬州杰利半导体有限公司