一种干刻的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种干刻机，所述干刻机包括设置于固定板上的铝框和石英板，所述石英板嵌设于所述铝框内部，所述铝框通过电源线外接直流电源。所述电源线安装于铝框的四周或铝框的内部；所述直流电源由设备的电源箱提供。本实用新型提供的干刻机，通过将铝框连接直流电源，使铝框在通电后产生静电，进而对沉积物产生静电吸附作用，使沉积物不容易脱落。所述直流电源能够长期供电使用，直到下一个保养周期为止。本实用新型提供的干刻机不仅延长了保养周期，而且在使用过程中可以减少人力成本及部件的清洗成本。
【专利说明】_种干刻机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种干刻机，具体涉及一种能够延长保养周期的干刻机。
【背景技术】
[0002]目前在接触孔干刻生产过程中常用的干刻机如图1和图2所示，包括设置于固定板上的铝框I以及石英板2，所述铝框I由纵横交错设置于固定板上并形成方格的铝条构成，所述石英板2设置于所述方格内。采用上述现有结构的进行刻蚀，其工艺腔室上部的陶瓷覆盖板上会吸附沉积物，若连续生产，随着工艺片数数量的增加，陶瓷板的温度也逐渐增加，导致沉积物易脱离表面的吸附而掉落在基板表面，从而产生刻蚀停止或者刻蚀残留，因此干刻机需要定期保养，需要拆卸固定板进行清洗，然而保养周期很短，极大的浪费人力资源，并增加清洗部件的清洗成本。因此，如何设计开发一种能够延长保养周期、提高机体使用效率的干刻机成为本领域技术人员需要解决的迫切问题。
实用新型内容
[0003]针对现有技术中存在的问题，本实用新型涉及一种能够延长保养周期的干刻机，能够有效延长干刻机的保养周期，需要保证沉积物吸附在上极板，不会掉落。当干刻机使用达到一定的使用周期后，再开腔清洁。
[0004]本实用新型提供一种干刻机，包括固定板和电源线，所述固定板上设有铝框和石英板，所述石英板嵌设于所述铝框内部，所述铝框通过所述电源线外接直流电源。
[0005]进一步地，所述电源线为铜线，所述铜线的直径为lcm~4cm。
[0006]进一步地，所述直流电源为50v_200v且电流大小能够调节的电源。
[0007]进一步地，所述电源线安装于所述铝框的四周或铝框的内部。
[0008]进一步地，所述干刻机还包括电源箱，所述直流电源由干刻机的电源箱提供。
[0009]进一步地，所述电源箱通过电源接线连接至直流电源接线端，所述直流电源接线端通过所述电源线连接所述铝框。
[0010]进一步地，所述铝框通过一条电源线连接至直流电源接线端。
[0011]进一步地，所述铝框由纵向和横向交错设置的多个铝条构成，且多个铝条之间形成有多个方格，所述石英板嵌设于所述方格内。
[0012]进一步地，所述纵向和横向交错设置的各个铝条分别通过一条单独的电源线连接至直流电源接线端。
[0013]本实用新型具有的优点在于:
[0014]本实用新型提供的干刻机，通过将铝框连接电源，使铝框在通电后产生静电，进而对沉积物产生静电吸附作用，使沉积物不容易脱落。所述直流电源能够长期供电使用，直到下一个保养周期为止。当进行保养时，将直流电源关闭，拆卸上部电极的固定板进行清洗即可。本实用新型提供的干刻机不仅延长了保养周期，而且在使用过程中可以减少人力成本及部件的清洗成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为现有的干刻机的结构俯视图；
[0016]图2为现有干刻机的局部侧视图；
[0017]图3为本实用新型提供的干刻机通过电源线连接铝框时的俯视图之一；
[0018]图4为本实用新型提供的干刻机通过电源线连接铝框时的俯视图之二。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
[0020]本实用新型提供一种干刻机，具体为一种能够延长保养周期的干刻机，包括固定板，如图3所示，所述固定板上设有铝框I和石英板2，所述铝框I由纵向和横向交错设置的多个铝条构成，且多个铝条之间形成有多个方格，所述石英板嵌设于所述方格内。如图3所示，在上部电极天线(Coil)的固定板(Crossing Bar)的销框I均通过电源线3连接电源，即每个石英板2四周所围设的铝框I通过电源线3连接电源。所述电源为直流电源，可以由干刻机的电源箱(Power Box) 4提供，通过电源接线引至直流电源接线端5，直流电源接线端5使用电源线3将电流分配至每个铝框I处。
[0021]具体连接时，可以将铝框I中纵横交错的中每一整条铝条I分别通过电源线3连接至直流电源接线端5，再由直流电源接线端5连接至电源箱(Power Box) 4。所述电源选择电压为50v~200v的直流电源，且该直流电源产生的电流可调节大小，通电后固定板上的铝框I产生的静电(ESC)会对沉积物产生静电吸附作用，使沉积物不容易脱落。
[0022]所述电源线3有多条，如6条，可以将电源线3分别安装在铝框四周及铝框内部，如图3所示，其中的电源线3安装于铝框I的内部，铝框I的纵横交错的各个方向铝条分别各自通过一条单独的电源线3连接电源箱4，共计有6条，多条电源线3同时开启或者关闭，由直流电源直接供电。也或者如图4所示，由于各个方向的铝条是连接于一体的，可以仅采用一条电源线3连接电源箱4和铝框I。所述电源线3选择直径为lcm~4cm的铜线。
[0023]所述直流电源长期供电使用，直到下一个保养周期为止。干刻机的上部电极的固定板上所产生的异物由于铝框I通电后的静电作用，从而吸附在部电极的固定板上不易掉落。当进行保养时，将直流电源关闭，拆卸上部电极的固定板进行清洗即可。本实用新型提供的干刻机不仅延长了保养周期，而且在使用过程中可以减少人力成本及部件的清洗成本。
[0024]以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本【技术领域】的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
【权利要求】
1.一种干刻机，其特征在于，包括固定板和电源线，所述固定板上设有铝框和石英板，所述石英板嵌设于所述铝框内部，所述铝框通过所述电源线外接直流电源。
2.根据权利要求1所述的干刻机，其特征在于，所述电源线为铜线，所述铜线的直径为Icm?4cmο
3.根据权利要求1所述的干刻机，其特征在于，所述直流电源为50v-200v且电流大小能够调节的电源。
4.根据权利要求1所述的干刻机，其特征在于，所述电源线安装于所述铝框的四周或铝框的内部。
5.根据权利要求1所述的干刻机，其特征在于，所述干刻机还包括电源箱，所述直流电源由干刻机的电源箱提供。
6.根据权利要求5所述的干刻机，其特征在于，所述电源箱通过电源接线连接至直流电源接线端，所述直流电源接线端通过所述电源线连接所述铝框。
7.根据权利要求6所述的干刻机，其特征在于，所述铝框通过一条电源线连接至直流电源接线端。
8.根据权利要求1所述的干刻机，其特征在于，所述铝框由纵向和横向交错设置的多个铝条构成，且多个铝条之间形成有多个方格，所述石英板嵌设于所述方格内。
9.根据权利要求8所述的干刻机，其特征在于，所述纵向和横向交错设置的各个铝条分别通过一条单独的电源线连接至直流电源接线端。
【文档编号】H01L21/67GK204216014SQ201420727801
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2014年11月28日 优先权日:2014年11月28日
【发明者】徐岩 申请人:昆山国显光电有限公司