具有含有开槽式螺旋波导的旋转微波等离子体天线的工件处理腔室的制作方法

技术特征：

技术总结
一种微波天线，包含：第一螺旋导管，第一螺旋导管具有第一导管端和第一多个口，第一多个口被沿着第一螺旋导管的长度间隔放置于第一螺旋导管的底板中；耦接至旋转式台的轴向导管；以及包含输入和第一输出的分配器波导，输入耦接至轴向导管，且第一输出耦接至第一导管端。

技术研发人员：迈克尔·W·斯托厄尔
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2015.11.30
技术公布日：2017.08.29