技术特征：
技术总结
本发明涉及一种衬底容器，其包含适于接收呈衬底堆叠的衬底的衬底支撑件，例如同心环。所述容器包含基底及顶盖以围封所述衬底堆叠。闩锁机构适于将所述顶盖闩锁到所述基底且将所述衬底堆叠固定于所述容器内。所述闩锁机构包含位于所述容器的外侧部分上的弹性拐角凸缘，所述凸缘充当弹簧以对所述盖及对所述衬底堆叠强加偏置力。所述凸缘将所述堆叠固持于所述容器内，同时适应由归因于组件加工容限的不确定性的累积导致的堆叠不确定性。在一些实施例中，在所述容器的所述顶盖的侧壁与所述基底之间形成间隙以确保对所述衬底堆叠的压缩。可实施偏转限制器以防止所述凸缘的过偏转。
技术研发人员：艾瑞克·A·柯克兰
受保护的技术使用者：恩特格里斯公司
技术研发日：2015.12.08
技术公布日：2017.08.29