具有冲击状态保护的晶片容器的制作方法

文档序号:11289562阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明揭示一种前开口晶片容器,其具有容器部及门,所述门的尺寸适于闭合所述容器部的开口前部。所述容器部具有用于固持晶片且界定安放位置的搁架,且具有前向晶片支撑件及后向晶片支撑件以使晶片以所述安放位置上方的运输位置悬置于其间。冲击状态缓冲部邻近所述运输位置布置,以用于在冲击状态期间保护所述晶片。所述晶片可为具有经薄化晶片侧及载体衬底侧的接合式晶片。晶片啮合垫及指状构件从所述门上的中心条带沿相反方向延伸,从而提供平衡晶片啮合。当闭合所述门时,主要晶片支撑部首先啮合所述晶片,且辅助弹性晶片支撑件随后啮合所述晶片。用于将所述晶片接纳于所述晶片支撑件中的V形沟槽与所述经薄化晶片侧之间界定的夹角大于所述V形沟槽与所述载体衬底侧之间界定的夹角,从而为所述接合式晶片提供增强的保护。

技术研发人员:瑞安·穆舍尔;贾森·T·斯蒂芬斯
受保护的技术使用者:恩特格里斯公司
技术研发日:2015.12.18
技术公布日:2017.09.26
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