一种复合型场发射阴极发射源及其制备方法与流程

文档序号:13737123阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种复合型场发射阴极发射源,其特征在于:包括底电极、覆盖于其上的微纳尖端结构、覆盖包裹于微纳结构的氧化物,所述的底电极为金属类或半导体类的基底,所述的微纳结构为基于碳材料的碳纳米管或碳纳米纤维、基于各类良导体金属的微纳尖锥结构。2.如权利要求1所述的一种复合型场发射阴极发射源,其特征在于:所述微纳结构与基底良好的电接触,是指下列两情况中的任何一种:(1)基底之上沉积金属层,金属层表面再加工出微纳金属结构;(2)基底之上沉积金属层,金属层之上沉积CNT或CNF,它们与金属基底通过导电的粘附层连接形成良好附着力和电接触,或共沉积CNT/CNF与金属,形成CNT/CNF镶嵌于所沉积金属之中。3.如权利要求1或2所述的一种复合型场发射阴极发射源,其特征在于:所述氧化物,是指MgO、SrO、BaO、CaO、MgCaO、SrCaO中的一种,沉积厚度30-250nm,包裹覆盖于上述微纳结构表面和尖端。4.如权利要求1或2所述的一种复合型场发射阴极发射源的制备方法,其特征在于,通过以下的工艺加工步骤实现的:(1)在基底上通过物理沉积或化学沉积方法沉积一层一定厚度的铜、镍、金、铝、钛等金属导体;(2)在金属层上用微纳加工掩膜刻蚀的方法,刻蚀制备出具有一定密度、特定形状和尺寸的、均一的微纳尖锥结构;或在金属层上采用复合电镀、电泳、直接生长、丝网印刷、化学镀等各种方法中的一种,制备出具有合适密度和朝向的CNT/CNF结构,并与金属层形成良好附着力和电接触;(3)在微纳结构表面物理或化学方法沉积一层30-250nm厚度的上述低功函数氧化物中的一种。
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