异质结太阳能电池的制作方法

文档序号:13111346阅读:来源:国知局
异质结太阳能电池的制作方法

技术特征:
1.一种异质结太阳能电池,包含:p型微结晶硅层,具有受光面及相对于该受光面的背光面;第一纳米银线层,形成在该p型微晶硅层的受光面上;第一n型非晶氧化层,形成在该纳米银线层上;i型微晶硅薄膜层,形成在该p型微结晶硅层的背光面上;第二n型非晶氧化层,形成在该i型微晶硅薄膜层上;第二纳米银线层,形成在该第二n型非晶氧化层上;i型非晶硅薄膜层,形成于该第一n型非晶氧化层上;p型非晶硅层,形成在该i型非晶硅薄膜层上;透明导电层,形成于该p型非晶硅层上;以及玻璃基板,形成于该透明导电层上。2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该i型微晶硅薄膜层及p型微晶硅层为形成时通入氢气的结构,该第一及第二n型非晶氧化层为经热退火处理的结构。3.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一及第二n型非晶氧化层为于100℃至1000℃间进行热退火处理的结构。4.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一及第二n型非晶氧化层为含铟、镓、锌或氧的结构。5.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该透明导电层为氮化硅、二氧化硅、铟锡氧化物或氧化锌所组成的结构。6.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该i型非晶硅薄膜层与p型非晶硅层为形成时通入氢气的结构。
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