技术领域：
：本发明涉及一种提高太阳能电池转换效率梯度扩散法，属于太阳能电池领域。
背景技术：
：：扩散工序是太阳能电池制造过程的核心工序，它主要是通过向扩散石英炉管通pocl3和氧气，经过高温分解后，产生p2o5和si，在p型基片下，由磷原子的扩散沉积过程形成了pn结，也就是太阳能电池的心脏部分，传统的扩散工艺主要是恒温恒源扩散，基本的扩散步骤还是经过：氧化、预沉积、沉积、扩散等。这样虽然薄层电阻有相对稳定，但是其表面复合浓度偏高，增加其表面复合速率（srv）,另外，结深也会偏深，可能对于开路电压voc会有所帮助，但对于短波段响应会比较差，影响其短路电流（isc），最终影响电池转换效率（eff）。技术实现要素：：针对以上技术问题，本发明涉及的一种提高太阳能电池转换效率梯度扩散法，具有以下步骤：步骤1、石英炉预热将硅片放入石英炉中，通入大氮，大氮的流量为15500-16500sccm，然后将石英炉的炉温升至800-820℃，保持650-750s；步骤2、预氧化处理将氧气和大氮通入石英炉，其中氧气流量为1800-2100sccm，大氮流量为14700-15000sccm，通入时间控制在450-500s，炉温保持在800-820℃，完成对硅片的预氧化；步骤3、预扩散处理向石英炉内通入携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体，其中小氮的流量为850-950sccm，大氮的流量为14000-14500sccm，氧气的流量为700-800sccm，通入时间为550-650s，炉温保持在800-820℃，完成预扩散处理；步骤4、继续扩散处理大氮通入流量15500-16500sccm，同时将炉温逐渐升至810-830℃，保持300-400s，然后将携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体通入石英炉，其中其中小氮的流量为750-850sccm，大氮的流量为14500-15000sccm，氧气的流量为600-700sccm，通入时间为450-500s，炉温保持在810-830℃，完成继续扩散处理；步骤5，终扩散处理大氮通入流量15500-16500sccm，同时将炉温逐渐升至817-837℃，保持300-400s，然后将携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体通入石英炉，其中其中小氮的流量为650-750sccm，大氮的流量为14600-15100sccm，氧气的流量为500-600sccm，通入时间为350-400s，炉温保持在817-837℃，完成继续扩散处理；步骤6，后氧化处理待炉温降至在700-750℃，将氧气和大氮通入石英炉，其中氧气流量为800-1500sccm，大氮流量为14800-15200sccm，通入时间控制在350-400s，完成对硅片的预氧化。作为优选，所述预扩散处理、继续扩散处理和终扩散处理中小氮的通入量呈递减趋势。与现有技术相比，本发明的有益之处是；一种以通源递减式与恒温递增式复合型扩散工艺，在保证合适的欧姆接触前提下，能减小表面复合，提高体内掺杂浓度，提高空间电荷区性能，达到良好的欧姆接触和表面复合速率，从而提高电池转换效率。具体实施方式：本发明涉及的一种提高太阳能电池转换效率梯度扩散法，具有以下步骤：步骤1、石英炉预热将硅片放入石英炉中，通入大氮，大氮的流量为15500-16500sccm，然后将石英炉的炉温升至800-820℃，保持650-750s；步骤2、预氧化处理将氧气和大氮通入石英炉，其中氧气流量为1800-2100sccm，大氮流量为14700-15000sccm，通入时间控制在450-500s，炉温保持在800-820℃，完成对硅片的预氧化；步骤3、预扩散处理向石英炉内通入携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体，其中小氮的流量为850-950sccm，大氮的流量为14000-14500sccm，氧气的流量为700-800sccm，通入时间为550-650s，炉温保持在800-820℃，完成预扩散处理；步骤4、继续扩散处理大氮通入流量15500-16500sccm，同时将炉温逐渐升至810-830℃，保持300-400s，然后将携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体通入石英炉，其中其中小氮的流量为750-850sccm，大氮的流量为14500-15000sccm，氧气的流量为600-700sccm，通入时间为450-500s，炉温保持在810-830℃，完成继续扩散处理；步骤5，终扩散处理大氮通入流量15500-16500sccm，同时将炉温逐渐升至817-837℃，保持300-400s，然后将携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体通入石英炉，其中其中小氮的流量为650-750sccm，大氮的流量为14600-15100sccm，氧气的流量为500-600sccm，通入时间为350-400s，炉温保持在817-837℃，完成继续扩散处理；步骤6，后氧化处理待炉温降至在700-750℃，将氧气和大氮通入石英炉，其中氧气流量为800-1500sccm，大氮流量为14800-15200sccm，通入时间控制在350-400s，完成对硅片的后氧化。为了进一步表现本发明的精神实质，下面结合实施例做进一步说明：采用原料为p型单晶硅片，厚度为200±20um，电阻率为0.5-6w.cm，经过表面清洗和、表面织构化处理，在表面形成1-3nm的正金字塔绒面，将硅片放入扩石英炉中。步骤1、石英炉预热将硅片放入石英炉中，通入大氮，大氮的流量为16000sccm，然后将石英炉的炉温升至800℃，保持705s；步骤2、预氧化处理将氧气和大氮通入石英炉，其中氧气流量为2000sccm，大氮流量为14800sccm，通入时间控制在480s，炉温保持在800℃，完成对硅片的预氧化；步骤3、预扩散处理向石英炉内通入携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体，其中小氮的流量为900sccm，大氮的流量为14350sccm，氧气的流量为750sccm，通入时间为600s，炉温保持在800℃，完成预扩散处理；步骤4、继续扩散处理大氮通入流量16000sccm，同时将炉温逐渐升至820℃，保持360s，然后将携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体通入石英炉，其中其中小氮的流量为800sccm，大氮的流量为14550sccm，氧气的流量为650sccm，通入时间为480s，炉温保持在820℃，完成继续扩散处理；步骤5，终扩散处理大氮通入流量16000sccm，同时将炉温逐渐升至827℃，保持360s，然后将携三氯氧磷的小氮、大氮以及氧气组成的混合气体通入石英炉，其中其中小氮的流量为700sccm，大氮的流量为14750sccm，氧气的流量为550sccm，通入时间为360s，炉温保持在827℃，完成继续扩散处理；步骤6，后氧化处理待炉温降至在720℃，将氧气和大氮通入石英炉，其中氧气流量为1000sccm，大氮流量为15000sccm，通入时间控制在360s，完成对硅片的后氧化。传统方法与本发明方法制成的太阳能电池的参数对照如下表：实验条件开路电压(u)短路电流(isc)填充因子(ff)串联电阻(rs)并联电阻(rsh)电池转换效率(eff)反向电流(irev2)梯度法扩散工艺0.6358.979.310.00229518.41%0.251正常扩散工艺0.6358.8379.530.0021130.218.26%0.156需要要强调的是：以上仅是本发明的使用方式的介绍与描述，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。当前第1页12