芯片级差分输出型电磁辐射测量标准单元结构的制作方法

文档序号:12274828阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种芯片级差分输出型电磁辐射测量标准单元结构,其特征是,由电源环为起点的金属线顺时针由外向内环形走线,在环形走线进入到核心位置以后,通过不同金属层之间的通孔,从第二层金属将连接线连接回到电源环上,该线圈的输出Output 1从第三层金属引出,在未受到电磁辐射时,Output 1保持为高电平;由地线环为起点另一条金属线逆时针由外向内环形走线,在环形走线进入到核心位置以后,通过不同金属层之间的通孔,从第二层金属将连接线连接回到地线环上,该线圈的输出从第三层金属引出,在未受到电磁辐射时,Output 2保持为零电平;进行电磁辐射测量时,Output 1、Output 2形成差分输出。

2.如权利要求1所述的芯片级差分输出型电磁辐射测量标准单元结构,其特征是,所述金属线宽度为相应工艺下的最小线宽,走线之间的间距为设计规范的最小间距。

3.如权利要求1所述的芯片级差分输出型电磁辐射测量标准单元结构,其特征是,一个实例中,采用Chartered 0.35micron 3.3volt工艺,第一层金属线宽度为0.45μm,第一层金属走线之间的间距为0.45μm,第二层金属线宽度为0.50μm,第二层金属走线之间的间距为0.50μm。

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