功率二极管的制作方法

文档序号:11102077阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种功率二极管,其特征在于,所述功率二极管包括:

N型基体(10);

至少两个P型掺杂区(20),间隔设置在所述N型基体(10)中;

N型掺杂区(30),设置在各所述P型掺杂区(20)的远离所述N型基体(10)的表面上;以及

金属层(50),设置在所述N型掺杂区(30)的远离所述N型基体(10)的表面上,其中,所述金属层(50)与各所述P型掺杂区(20)隔离设置。

2.根据权利要求1所述的功率二极管,其特征在于,所述功率二极管包括至少两个所述N型掺杂区(30),各所述N型掺杂区(30)设置在所述N型基体(10)中且与所述P型掺杂区(20)一一对应设置,且各所述N型掺杂区(30)的远离各所述P型掺杂区(20)的表面与所述N型基体(10)的平整表面平齐。

3.根据权利要求2所述的功率二极管,其特征在于,第一表面为与所述N型基体(10)的厚度方向垂直的表面,各所述N型掺杂区(30)在所述第一表面上的投影位于对应的所述P型掺杂区(20)在所述第一表面上的投影的内部,且所述功率二极管还包括:

至少四个介质区(40),各所述介质区(40)覆盖各所述P型掺杂区(20)的靠近金属层的表面设置且用于隔离各所述P型掺杂区(20)与所述金属层(50)。

4.根据权利要求1所述的功率二极管,其特征在于,所述N型基体(10)包括:

N+衬底层(11);以及

N-外延层(12),设置在所述N+衬底层(11)的表面上,且所述P型掺杂区(20)设置在所述N-外延层(12)中且远离所述N+衬底层(11)。

5.根据权利要求1所述的功率二极管,其特征在于,所述P型掺杂区(20)为P+掺杂区。

6.根据权利要求1所述的功率二极管,其特征在于,所述N型掺杂区(30)为N+掺杂区。

7.根据权利要求3所述的功率二极管,其特征在于,所述介质区(40)的材料包括二氧化硅。

8.根据权利要求1所述的功率二极管,其特征在于,所述金属层(50)的材料包括为Al-Cu和/或Al-Si-Cu。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1