微波诱导等离子体离子迁移谱仪的制作方法

文档序号:12196591阅读:来源:国知局

技术特征:

1.微波诱导等离子体离子迁移谱仪,包括离子源、进样管、漂移管、气路系统、信号放大采集与数据处理系统,其特征在于:所述离子源为微波诱导等离子体离子源,所述微波诱导等离子体离子源包括微波功率发生器、微波耦合腔和放电管,所述微波功率发生器连接微波耦合腔,所述微波耦合腔连接放电管,所述放电管前方设有加速电极,所述进样管连接漂移管,所述放电管连接漂移管,所述气路系统、信号放大采集与数据处理系统均连接漂移管。

2.根据权利要求1所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述微波耦合腔为圆柱形,微波耦合腔设有N型接头,所述微波功率发生器通过同轴电缆连接微波耦合腔,所述放电管与微波耦合腔同轴。

3.根据权利要求1或2所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述漂移管包括离子源区、离子门和漂移区,所述离子源区、离子门和漂移区依次同轴排列并连通,所述漂移管的侧壁缠绕导电环,相邻的导电环之间为绝缘环,所述放电管、进样管均连通离子源区,放电管的轴线与漂移管的轴线垂直且位于同一平面。

4.根据权利要求3所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述离子源区的径向尺寸小于漂移区的径向尺寸;所述加速电极为圆形,加速电极安装在离子源区远离离子门的一端。

5.根据权利要求3所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述放电管为石英管或陶瓷管,放电管为中空管,放电管的外径为6mm、内径为1~4mm。

6.根据权利要求3所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述放电管的顶部与离子源区内壁的距离不大于2mm。

7.根据权利要求3所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述漂移区内设置法拉第盘,所述法拉第盘与漂移管同轴,法拉第盘与信号放大采集与数据处理系统电连接。

8.根据权利要求4所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述漂移区远离离子门的端部开设漂移气入口,加速电极的中心位置开设排气口A,所述进样管为进样管A,所述进样管A穿过离子源区的侧壁,进样管A设置在离子门和放电管之间,进样管A的轴线与漂移管的轴线垂直。

9.根据权利要求4所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述漂移区远离离子门的端部开设漂移气入口,所述离子源区在离子门和放电管之间的侧壁上开设排气口B,所述进样管为进样管B,所述进样管B穿过加速电极的中心位置。

10.根据权利要求1所述的微波诱导等离子体离子迁移谱仪,其特征在于:所述放电管的工作气为氩气或氦气。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1