一种全自动插片机的制作方法

本实用新型涉及单晶硅生产装置技术领域，特别涉及一种全自动插片机。

背景技术：

未来我国水电增长空间有限，核能存在不安全因素，化石能源受节能减排约束成本将上升，而太阳能光伏发电属于清洁可再生新能源，市场前景广阔。因此太阳能单晶硅片的生产加工需求会与日俱增，但是，在太阳能电池硅片的生产过程中，有一道工序是需要人们将硅片一片一片的插装到特制的装片盒内，在现有技术中，人们通常采用人工手动来完成插片操作，不仅劳动强度大、效率低，而且在插片过程中还极易损坏硅片。

例如，公开号为公开号为CN203910836U的中国专利公开了一种全自动硅片插片机，它包括机体，所述的机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置和装片盒，所述的硅片输出装置通过吸盘与硅片传送装置的硅片进入端连接，所述硅片传送装置的硅片送出端与装片盒相接，所述的装片盒上连接有驱动其相对机体上下升降的装片盒气缸，其中所述的硅片输出装置包括有硅片输出架、硅片输出气缸，所述的硅片传送装置包括有主动轴、主动轴座、主动轮、从动轴、从动轴座、从动轮、传送皮管、传送电机，且所述的传送皮管在其传送方向的两侧各装有一护板。

这种全自动硅片插片机，通过硅片传送装置、硅片输出装置以及安装在硅片传送装置上的吸盘，实现硅片从硅片输出装置中自动化运输至装片盒内，虽然这样相比现有技术的手工操作，有效的提高了插装效率，但是，如此设置的硅片传送装置，通过将硅片放置在传动皮管上，在传动皮管的传动作用下将硅片插入装片盒内，容易出现硅片放置位置不到位，导致硅片插装失败的问题，同时，硅片放置在传动皮管上，两者之间的贴合紧度有限，容易造成插力太小硅片插装失败的问题，因此，需要在此基础上做进一步的改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种全自动插片机，其具有硅片插装成功率高，插装位置精准的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种全自动插片机，包括机体以及安装在机体上的硅片输出装置、硅片传送装置和硅片收集装置，所述硅片收集装置包括若干个装片盒以及用于安装装片盒的安装座，所述硅片传送装置包括取片机构和插片机构，所述插片机构包括升降台、插料轨道、插料吸盘、气管、以及驱动插料吸盘在插料轨道上滑动的驱动气缸，工作时，所述装片盒的开口与插料轨道的运动轨迹相适配；

所述插料吸盘包括接料部分、接料部分上表面的吸气孔、安装在插料吸盘内的吸管组件以及通过气管与吸气管组件连接的第三气泵，所述接料部分上设置为吸力大小自一侧往对侧方向依次降低或升高。

如此设置，硅片放置在插料吸盘上，在驱动气缸的作用下在插料轨道上滑动，将吸住硅片往装片盒所处位置的方向进行传送，从而进行硅片的插装工作，通过插料吸盘吸住硅片，使硅片在插装和传送的过程中，能稳定的在插料吸盘上，并且在进行硅片插装工作时，能有效的提高硅片插装的成功率，另外，通过将插料吸盘上接料部分设置为吸力大小自一侧往对侧方向依次降低或升高的模式，从而插料吸盘从取片机构交接硅片时，能从硅片的边侧做出吸力，从而使得插料吸盘能更快的将硅片吸住，从而有效的提高插片机构的工作能力。

进一步设置：所述吸气管组件包括管a、管b以及管c，所述第三气泵包括分别与管a、管b以及管c相对应的气泵a、气泵b和气泵c，所述管a、管b以及管c平行设置在插料吸盘内且其出气口均与吸气孔相对应。

如此设置，通过管a、管b以及管c相应连接不同功率大小的气泵a、气泵b和气泵c，同时管a、管b以及管c平行设置在插料吸盘内，总体简单的结构设置，实现吸气管组件在接料部分的吸力大小为自一侧往对侧方向依次降低或升高的模式。

进一步设置：所述吸管组件的出气口处还设有凸管，所述凸管的外壁与相对应的吸气孔的内壁相贴合设置。

如此设置，通过凸管的设置能使吸气管产生的吸力更好的作用在硅片上，并且在这样的结构设置下，能有效的提高吸气管组件在插料吸盘内的结构稳定性，提高使用寿命。

进一步设置：所述接料部分呈圆形状，且宽度小于装片盒的内壁宽度。

如此设置，使得硅片在插料吸盘上更为稳定的，可以通过增加吸气孔来加强插料吸盘对硅片的吸附效果，使硅片更稳定的在插料吸盘上，同时，接料部分的宽度小于装片盒的内壁宽度，适合硅片的插装。

进一步设置：所述取片机构包括固定台、横梁轨道、吸盘座、滑移气缸以及安装在吸盘座上的取料吸盘。

如此设置，通过取料吸盘将硅片从硅片输出装置处取出，再通过滑移气缸的作用下在横梁轨道上滑移至插料吸盘上方，最后将硅片放置到插料吸盘的接料部分处，整体结构运转简单。

进一步设置：所述升降台的底部设有控制升降台上下动作的升降气缸。

如此设置，通过升降气缸进一步提高插片机构的插料效率，从而有效的提高硅片插装的工作效率。

进一步设置：所述硅片输出装置设置在硅片传送装置的取料端，硅片输出装置包括固定底板、叠片板以及硅片输出气缸，所述硅片输出气缸设置在机体下方。

如此设置，通过输出气缸控制硅片在叠片板内上下动作，方便了取片机构的取料工作，进一步提高工作效率。

进一步设置：所述固定底板上至少设有两个凸起，叠片板上设有与凸起相对应的固定孔。

如此设置，通过在固定底板上的两个凸起以及在叠片板上与凸起相适配的固定孔，实现叠片板卡接在固定底板上的效果，并且在凸起上套设防滑层，能有效的提高叠片板和固定底板结合时的结构稳定性。

进一步设置：凸起的外圈套设有可拆卸的防滑层。

如此设置，在叠片板卡接在固定底板上能有效的提供适当的饱和力，使凸起的外壁与叠片板中固定孔内壁之间的饱和度，从而进一步的提高叠片板和固定底板之间的结构稳定性，另外，防滑层采用可拆卸的连接结构，方便了更换防滑层，从而提高固定底板的使用寿命。

进一步设置：所述叠片板上端面上对称设有两把手，所述把手呈“П”形安装在叠片板的两侧。

如此设置，通过设置的把手方便了使用者手握把手完成叠片板卡接在固定底板上，方便了叠片板的安装和拆卸。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、硅片放置在插料吸盘上，在驱动气缸的作用下在插料轨道上滑动，将吸住硅片往装片盒所处位置的方向进行传送，从而进行硅片的插装工作，整体结构简单，适宜推广使用。

2、通过插料吸盘吸住硅片，使硅片在插装和传送的过程中，能稳定的在插料吸盘上，并且在进行硅片插装工作时，能有效的提高硅片插装的成功率。

3、通过将插料吸盘上接料部分设置为吸力大小自一侧往对侧方向依次降低或升高的模式，从而插料吸盘从取片机构交接硅片时，能从硅片的边侧做出吸力，从而使得插料吸盘能更快的将硅片吸住，从而有效的提高插片机构的工作能力。

附图说明

图1是实施例1插片机的控制系统框图；

图2是实施例1插片机立体结构示意图；

图3是实施例1插片机在图2中A区域放大后的结构示意图；

图4是实施例1插片机中硅片输出装置部分的立体分解结构示意图；

图5是实施例1插片机中装片盒固定状态时的立体结构示意图；

图6是实施例1插片机在图5中B区域放大后的结构示意图；

图7是实施例2插片机的控制系统框图；

图8是实施例2插片机立体结构示意图；

图9是实施例3插片机中硅片输出装置的立体结构示意图；

图10是实施例3插片机在图9中C区域放大后的结构示意图；

图11是实施例4插片机的控制系统框图；

图12是实施例4插片机硅片传送装置中插片机构的立体结构示意图；

图13是实施例4插片机中插料吸盘接料部分的横截面剖视图。

图中，100、机体；

1、硅片输出装置；11、固定底板；111、凸起；112、防滑层；12、叠片板；121、固定孔；13、硅片输出气缸；131、缸体；1311、控制本体；1312、滑台；132、伸缩杆；133、输出板；1331、凸块；14、挡柱；141、凸杆；15、固定机构；151、第一滑槽；152、第二滑槽；153、第三滑槽；154、滑块；155、连杆；156、方环；16、穿孔；17、把手；

2、安装台；21、安装杆；22、调节杆；23、安装块；231、通孔；232、红外传感器；233、标杆；24、调节电机；25、标尺；

3、吹气装置；31、吹气块；311、吹气孔；32、第一气泵；33、固定杆；331、固定部；332、安装部；34、阀门开关；

4、硅片传送装置；

41、取片机构；411、固定台；412、横梁轨道；4121、压力传感器a；4122、压力传感器b；413、吸盘座；414、安装板；4142、第一定时器；4143、第二定时器；4144、第三定时器；415、控制气缸；416、滑移气缸；417、取料吸盘；418、第二气泵；

42、插片机构；421、升降台；422、插料轨道；4221、压力传感器c ；423、插料吸盘；4231、接料部分；4232、吸气孔；424、驱动气缸；4241、计数器；4242、第四定时器；425、第三气泵；4251、气泵a；4252、气泵b；4253、气泵c；426、升降气缸；427、吸气管；4271、出气孔；4272、凸管；4273、管a；4274、管b；4275、管c；

5、硅片收集装置；51、安装座；52、装片盒；521、固定块；522、限位板；523、插槽；524、凸板；53、紧固机构；531、固定座；5311、限位块；5312、卡槽；5313、固定组件；5314、滑孔；532、紧固件；5321、限位槽；54、切换机构；541、驱动装置；542、固定架；543、板块本体；544、支撑杆；

6、滑轨；7、气管；8、电源开关。

具体实施方式

上述的实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：

一种全自动插片机,如图2和3所示，包括机体100，在机体100上沿硅片流水线加工前进顺序依次包括了硅片输出装置1、硅片传送装置4以及硅片收集装置5，其中在硅片输出装置1的侧边还设置了吹气装置3方便硅片在传送中避免相邻的硅片粘黏在一起从而影响硅片的输出工作。

结合图4所示，在硅片输出装置1中，包括固定底板11、叠片板12以及硅片输出气缸13，通过机体100上设置的安装孔a、固定底板11上与安装孔a相对应的装配孔a以及防滑螺栓将固定底板11固定安装在机体100上；在固定底板11上至少设置两个凸起111用以固定底板11与叠片板12卡接，在叠片板12上设有与凸起111相对应的固定孔121，特别是在凸起111的外圈上还套设有类似橡胶材质制作的防滑层112，通过防滑层112一方面能有效的保护凸起111，另一方面，能有效的提高凸起111与固定孔121之间的饱和感，使叠片板12在固定底板11上的稳定度。

其中的硅片输出气缸13包括了缸体131、伸缩杆132以及安装在伸缩杆132端部水平设置的输出板133，伸缩杆132贯穿固定底板11和叠片板12，在固定板和叠片板12上均设有与输出板133大小相对应的穿孔16，在实际生产中叠片板12上的穿孔16与输出板133的形状相同，并且将孔的内壁与输出板133的外壁之间产生的间隙大小设置为0.5cm～1.5cm。

另外，在输出板133的两侧还设置了凸块1331，并且凸块1331的上表面与输出板133的上表面平齐设置，在实际生产中可以在输出板133的两侧同时设置两块凸块1331，并且位置均匀的分布；再者，缸体131由控制本体1311以及在控制本体1311上升降运作的滑台1312组成，伸缩杆132在滑台1312上设有若干个且分别与相对应的凸块1331固定连接，通过缸体131控制伸缩杆132带动输出板133上下动作，实现叠片板12以及放置在叠片板12上的硅片垂直高度的调节。

在叠片板12的上端面呈对称分布设有两个把手17，以及在上端面的周沿至少设有三根竖直放置的挡柱14，把手17呈“П”形安装在叠片板12的两侧且位于挡柱14的外侧，挡柱14一般采用橡胶材质制造呈圆柱体，通过挡柱14能有效的保护硅片在叠片板12上堆叠的平稳度，即在叠有硅片时所有的挡柱14的外壁均与硅片相抵触。

在硅片输出装置1的一侧设有用于安装吹气装置3的安装台2，吹气装置3包括吹气块31、第一气泵32、固定在安装台2上用于安装吹气块31的固定杆33，吹气块31在出气面设置为呈内凹的弧形面，并且在吹气面上设有吹气孔311位于吹气面的中心位置，吹气孔311贯穿吹气块31，在吹气块31上相对吹气面的背面通过气管7与第一气泵32连接（结合实施例2的图8），同时还设置了控制吹气孔311打开或关闭的阀门开关34；另外在出气面上呈竖直向下的条形状，同时在出气面上吹气孔311的沿口为倒角设置。

在安装台2上还设有安装杆21、调节杆22以及套设在安装杆21和调节杆22上且与固定杆33固定连接的安装块23，调节杆22穿设于安装块23与安装块23转动连接且在安装台2的一侧设有驱动调节杆22转动动作的调节电机24，安装杆21穿设于安装块23使安装块23沿安装杆21滑动，进一步，在实际设计中，在调节杆22上呈对称固定设置两组吹气装置3，并且调节杆22上设有自调节杆22中间部位向两端呈反向盘旋的螺纹，使得相对应的两块安装块23实现同时向外或向内运动调节两者之间的间距大小。

在安装块23上至少设置两个安装孔b，同时固定杆33的一端设有与安装孔b相对应的装配孔b，安装孔b和配装孔b之间通过防滑螺栓固定；具体的，固定杆33呈“┒”形包括了固定部331和安装部332，装配孔b设置在固定部331上通过防滑螺栓水平设置与安装块23固定连接且与调节杆22处同一平面，同时，在安装框相对固定部331的上下方位置设有若干个通孔231，在通孔231内安装了红外传感器232，用于感应取料吸盘417(下文作解释)下降与硅片抵触动作。

进一步，安装台2设置为呈“凹”字形且槽口朝向硅片输出装置1的块体，安装杆21和调节杆22的两端分别与安装台2“凹”字形槽内的两侧内壁固定连接，并且在槽内安装杆21与调节杆22呈平行位置，调节电机24嵌设在安装台2的一端与调节杆22的一端连接。

安装台2的上端面上还设置了标尺25，在安装块23的上端面设置与此标尺25相对应的标杆233，标杆233通过固定螺栓固定在安装块23上，在实际工作中安装块23在安装台2“凹”字形槽内滑动能清楚的测量出滑动的距离，从而能很好的控制两安装块23之间的间距大小，实现吹气块31更精准的吹气工作。

在硅片输出装置1和吹气装置3的一侧还设置了硅片传送装置4，硅片传送装置4包括了取片机构41和插片机构42，其中取片机构41包括了固定台411、横梁轨道412、吸盘座413、滑移气缸416以及安装在吸盘座413上的取料吸盘417，在吸盘座413上设置了取料吸盘417插装的安装槽，通过固定螺母固定，在取料吸盘417的取料端部设置为圆形状，另一端通过气管7与第二气泵418连接；吸盘座413上还设置了第一定时器4142、第二定时器4143以及第三定时器4144，第一定时器4142设定为取料吸盘417完成取料动作的时长，取料动作是指取料吸盘417下降至最高硅片处吸住硅片后回升至滑移高度（记做滑移气缸416初始状态或滑移状态的位置，下同）的过程；第二定时器4143设定为取料吸盘417下降到插料吸盘423(下文作解释)处使取料吸盘417上的硅片与插料吸盘423相抵触的时长；第三定时器4144设定为取料吸盘417完成脱料动作的时长，脱料动作是指取料吸盘417下降到插料吸盘423放掉硅片后又回升至滑移高度的过程。

取料吸盘417通过吸盘座413安装在固定台411上的横梁轨道412上，并且当取料吸盘417运动至硅片输出装置1位置处时，位于叠片板12中心位置的正上方；进一步的，吸盘座413包括了安装取料吸盘417的安装板414以及控制安装板414带动取料吸盘417一起上下运动方便取料和放料动作的控制气缸415，另外，吸盘座413通过滑移气缸416在横梁轨道412上滑移，并且固定台411上在横梁轨道412的两端还设置了压力传感器a4121和压力传感器b4122，压力传感器a4121位于靠近硅片输出装置1一端，压力传感器b4122位于另一端上靠近插片机构42。

其次插片机构42包括了升降台421、插料轨道422以及插料吸盘423，插料吸盘423通过控制插料吸盘423在插料轨道422上滑动的驱动气缸424与升降台421滑动连接，插料吸盘423设置为空心板状，在用于放置硅片的接料部分4231为圆形状，同时在接料部分4231的抵触面上设置了若干与空心腔室连通的吸气孔4232，另外，其相对放置硅片的另一端固定在驱动气缸424上并通过气管7与第三气泵425连接，气管7与插料吸盘423的空心腔室连通；插料轨道422相对安装驱动气缸424的另一端设置了压力传感器c4221用于感应抵触到驱动气缸424发出命令信号的工作，在驱动气缸424实现插料吸盘423的抽插动作，另外在升降台421的底部还设置了控制升降台421上下动作的升降气缸426。

升降台421上还设置有计数器4241和第四定时器4242，第四定时器4242设定为插料吸盘423完成插料动作的时长，插料动作是指插料吸盘423从接收到硅片后在插料轨道422上运动将硅片插入装片盒52后又运动至初始位置（记做驱动气缸424接料状态的位置）的过程；计数器4241以一个装片盒52需要插装硅片的片数为一个周期。

接着，结合图5和6所示，是安装在插片机构42输出端的硅片收集装置5，硅片收集装置5由安装座51、装片盒52以及设置在安装座51上用于固定装片盒52的紧固机构53组成，紧固机构53包括了固定座531、设置在固定座531上由规格不同的卡槽5312组成的固定组件5313以及与固定座531配合夹紧装片盒52的紧固件532，另外，在装片盒52的底部还设有与卡槽5312相对应的直角形固定块521。

其中，固定座531通过两块呈“八”字形对称分布的限位块5311构成，每块限位块5311的安装面上均设置了固定组件5313，固定组件5313至少包括两个卡槽5312，且相邻的卡槽5312依次排布呈阶梯状，在每个卡槽5312内壁的顶角处还设置了与其连通的滑孔5314；再者，紧固件532设置在固定座531开口朝向的反侧，且靠固定座531一侧的上顶角处设有呈“┕”形的限位槽5321，装片盒52的底部设有与限位槽5321卡盒相对应的限位板522，紧固件532在安装座51上可滑动设置。

具体的，上述紧固件532在安装座51上可滑动设置，通过在安装座51上设置安装孔c，并且固定座531和紧固件532上均设有与安装孔c相对应的装配孔c，安装孔c和配装孔c之间通过防滑螺栓固定，并且紧固件532和固定座531上的装配孔c均呈条状且两者的装配孔c相互垂直设置，紧固件532上的装配孔c与限位板522垂直设置。

在装片盒52的内壁上设置了若干插槽523用于放置硅片，并且装片盒52的插入端的顶角为倒角设置，方便硅片在插入时更好的进入，避免出现存在较小瑕疵的硅片被顶角撞击到出现掉落导致工作失败的问题，另外，在装片盒52的顶部还设置了凸板524，将凸板524的一端与装片盒52的盒体固定连接且水平设置，方便手掌握住。

工作原理说明：

结合图1所示，打开安装在机体100上的电源开关8，电源打开后，滑移气缸416在横梁轨道412上滑移运动至装有压力传感器a4121的一端（一般初始状态下控制气缸415就位于此端），给予压力传感器a4121一个运动方向上的压力；压力传感器a4121受到滑移气缸416给予它的压力后，输出第一检测信号至第一定时器4142、控制气缸415以及滑移气缸416，第一定时器4142接收到第一检测信号后开始计时，并在设定的时间后输出第一定时信号；同时，控制气缸415接收并响应于第一检测信号以启动控制气缸415推动取料吸盘417向下运动；滑移气缸416接收并响应于第一检测信号以停止滑动动作。

紧接着当取料吸盘417下降到吹气块31水平高度时，红外传感器232检测到取料吸盘417与堆叠在硅片输出装置1中的硅片抵触时输出命令信号至第一气泵32、第二气泵418以及控制气缸415，第一气泵32接收到命令信号则启动吹气功能，当命令信号消失后吹气功能关闭；第二气泵418接收到命令信号后启动吸气功能，同时，控制气缸415接收到命令信号后开始工作以拉动取料吸盘417向上运动，使取料吸盘417完成取料动作；

另外，当滑移气缸416接收到第一定时信号后在横梁轨道412上做出向装有压力传感器b4122一端移动的动作。

滑移气缸416在横梁轨道412上滑移运动至装有压力传感器b4122的一端，给予压力传感器b4122一个压力，压力传感器b4122受到滑移气缸416给予它的压力后，输出第二检测信号至第二定时器4143、第三定时器4144、控制气缸415以及滑移气缸416，滑移气缸416接收并响应于第二检测信号以停止滑动动作；控制气缸415接收到第二检测信号后启动控制气缸415推动取料吸盘417向下运动；第二定时器4143接收到第二检测信号后开始计时，并在设定时间后输出第二定时信号；第三定时器4144接收到第二检测信号后开始计时，并在设定时间后输出第三定时信号。

第二定时器4143输出第二定时信号至控制气缸415、第二气泵418、第三气泵425、驱动气缸424以及第四定时器4242，第二气泵418接收到第二定时信号则停止吸气功能；第三气泵425接收到第二定时信号启动吸气功能；驱动气缸424接收到第二定时信号启动驱动气缸424推动插料吸盘423向装片盒52方向滑动，即插料工作。

第三定时器4144输出第三定时信号至滑移气缸416，滑移气缸416接收到第三定时信号后在横梁轨道412上做出向装有压力传感器a4121一端移动的动作。

驱动气缸424在插料轨道422上滑移运动至装有压力传感器c4221的一端，给予压力传感器c4221一个压力，压力传感器c4221受到驱动气缸424给予它的压力后，输出第三检测信号至计数器4241、驱动气缸424以及第三气泵425，第三气泵425接收到第三检测信号则停止吸气功能；驱动气缸424接收到第三检测信号后启动驱动气缸424以拉动插料吸盘423脱离装片盒52滑移至初始位置，即完成插料工作；

硅片输出气缸13接收到第四定时信号后启动硅片输出气缸13做出推动输出板133上升一块硅片厚度的高度的动作；升降气缸426接收到第四定时信号后启动升降气缸426做出拉动升降台421下降一块硅片厚度的高度的动作；

计数器4241接收到第三检测信号开始计数工作，当累计至设定数值时发送控制命令至硅片输出气缸13和升降气缸426，硅片输出气缸13和升降气缸426接收到控制命令后均做出复位动作，复位动作是指硅片输出气缸13和升降气缸426均滑移至初始状态（硅片输出气缸13初始状态在最低位置，升降气缸426初始状态在最高位置）。

实施例2：

与实施例1相比而言，在硅片收集装置5处通过加设切换机构54使插片机硅片收集部分为流水线工作模式，即方便装片盒52全自动不停更换，实现插片机持续性工作从而提高插装效率。

结合图8所示，改进区别在于这种全自动插片机还包括切换机构54，若干个装片盒52通过安装在切换机构54上实现切换效果，切换机构54包括了驱动装置541和在机体100上可滑动设置的固定架542，固定架542包括了用于安装装片盒52的板块本体543以及安装在板块本体543下方的支撑杆544，支撑杆544嵌设在机体100内，相应的在机体100上设置了滑轨6，支撑杆544在滑轨6中滑移。

另外，如图7所示，相应的在控制系统中，驱动装置541响应于计数器4241的控制命令做出切换工作。

进一步的，适用小型设备上能够运转稳定的设置，将各板块本体543设置为一整体，并设置为圆盘状，驱动装置541采用转动电机设置在板块本体543下方，通过转动电机的输出轴与板块本体543的圆心固定连接，若干个装片盒52同时安装在圆盘状的板块本体543上呈等分设置，这样，转动电机只要转动一定角度即可实现切换效果。

实施例3：

与实施例1和实施力2结合相比而言，在硅片输出装置1的叠片板12上，通过将挡柱14在叠片板12上设置为滑动的结构，方便调节各挡柱14之间的间距大小以叠放不同规格大小的硅片。

结合图9和10所示，这种全自动插片机在叠片板12的周沿至少设有三根竖直放置的挡柱14，挡柱14在叠片板12上滑动连接，同时，滑动轨迹的延长线需经过叠片板12的中心点。

具体的，挡柱14插设在叠片板12上，在叠片板12上相对挡柱14的直径大小设置有第一滑槽151以及控制挡柱14在第一滑槽151内滑动或固定的固定机构15，固定机构15包括了滑块154、连接挡柱14和滑块154的连杆155以及相对滑块154和连杆155滑动的第二滑槽152和第三滑槽153，第三滑槽153连通第一滑槽151和第二滑槽152且内壁与连杆155的外壁贴合设置，另外，滑块154插设了紧固螺栓且贯穿滑块154与第二滑槽152内壁的底面相抵触。

更进一步的，方便固定机构15和挡柱14的安装，在挡柱14的底部设置了横截面为正方形的凸杆141，并插设在连杆155端部设置的与凸杆141相适配的方环156内卡接设置。

实施例4：

与实施例1、实施例2以及实施例3结合相比而言，在硅片传送装置4的插料吸盘423上，通过在原本的空心板状的插料吸盘423上做出改进，使得插料吸盘423从取料吸盘417上转接硅片更有效率。

结合图12和13所示，这种全自动插片机区别在于硅片传送装置4中插片机构42的插料吸盘423上，通过将插料吸盘423上用于放置硅片呈圆形状的接料部分4231设置为吸力大小自一侧往对侧方向依次降低或升高的模式，例如，接料部分4231在左边的吸气孔4232吸力大于右边的吸气孔4232吸力，且自左边往右边吸气孔4232吸力大小呈递减排布设置。

具体的，插料吸盘423内设置了由若干根吸气管427组成的吸管组件以及通过气管7分别与相应吸气管427连接的第三气泵425（这里由多个气泵组成，且数量与对应的管数相同，下文作解释），若干根吸气管427平行设置嵌在插料吸盘423内，并且相对在接料部分4231上的吸气孔4232的位置设有相适配的出气孔4271；进一步的，为了吸气管427更好的吸气在出气孔4271处加设了凸管4272，凸管4272的大小与出气孔4271大小相对应，并且凸管4272的外壁与吸气孔4232的内壁相贴合设置。

在插料吸盘423内安装了平行的三根吸气管427，并且吸气管427的延伸方向在插料吸盘423的插料方向上，依次是管a4273、管b4274以及管c4275，相对第三气泵425依次包括了气泵a4251、气泵b4252以及气泵c4253，并且吸力大小按从大到小依次排列为：气泵a4251、气泵b4252、气泵c4253，或者气泵c4253、气泵b4252、气泵a4251；这样的结构设置使得接料部分4231上的吸气孔4232的吸力大小是自一侧往对侧方向依次降低或升高的模式，在实际使用中，就能实现插料吸盘423的接料部分4231从取料吸盘417上接受硅片时，吸力点在硅片的外侧边上，相对吸力均匀分布在整个硅片下表面更方便了取料吸盘417的脱料工作。

进一步的，与吸力较大的气泵连接的吸气管427相对的吸气孔4232大于吸力较小的气泵连接的吸气管427相对的吸气孔4232，并且和吸气管427性质相同平行设置的吸气孔4232大小呈递减或递增设置，另外，可以将在接料部分4231的吸气管427设置为形状也成圆形的管状，并且外圈的吸气管427连接吸力较大的气泵，由外圈向内圈依次呈递减排布设置。

最后，如图11所示，相应的在控制系统中，压力传感器c4221受到驱动气缸424给予的压力后，输出第三检测信号同时发至气泵a4251、气泵b4252以及气泵c4253，气泵a4251、气泵b4252以及气泵c4253响应于压力传感器c4221的第三检测信号同时启动吸气功能。