一种激光功率实时监控的闭环控制装置的制作方法

文档序号:11051921阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:包括在待监测激光光束的光路上依次设置的电动衰减器(1)和取样镜片(2),所述激光光束与所述取样镜片(2)之间形成角度为α的第一入射角,0°≤α<90°,所述激光光束经所述取样镜片(2)反射到监测器(3),所述监测器(3)的信号输出端连接控制器(4)的信号输入端,所述控制器(4)的信号输出端连接所述电动衰减器(1)的控制端。

2.根据权利要求1所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述监测器(3)包括功率探测器、光电传感器、能量计和光束质量分析仪。

3.根据权利要求1所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述取样镜片(2)面对所述激光光束入射方向的一侧为第一面,所述取样镜片(2)面对所述激光光束出射方向的一侧为第二面;所述第一面镀有部分反射膜,所述第二面镀有激光抗反射增透膜。

4.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述部分反射膜的反射率为0-10%。

5.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述部分反射膜包括单波长膜和宽带膜,所述单波长膜包括的波长包括355nm、532nm和1064nm。

6.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:还包括指示器(5),所述指示器(5)发出指示光束到所述取样镜片(2)的所述第二面,经所述第二面反射。

7.根据权利要求6所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述指示光束从所述第二面入射时的入射角为第二入射角,所述第二入射角的角度与所述第一入射角的角度相同。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述第一入射角的角度优选15°。

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