技术特征：
技术总结
本文公开用于调整处理腔室的照明器模块位置的设备。实现方式一般包括处理腔室，该处理腔室包括界定内容积的封闭体；基板支撑件，该基板支撑件设置于该处理腔室的该内容积中；以及多个可调整照明器模块。各可调整照明器模块可包括辐射源；与辐射源连接的照明器连接器；可调整安装支架，该可调整安装支架连接至该照明器连接器，可调整安装支架可枢转地连接至处理腔室；以及可调整施力装置，该可调整力装置被安装成与该可调整安装支架连接。
技术研发人员：纳夫乔特·库马尔;尼欧·O·谬;舒伯特·S·楚;卡迈什·吉里德哈;帕拉姆拉里·贾金德拉
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.01.20
技术公布日：2017.09.26