技术特征：
技术总结
本发明的曝光系统(1000)具备：第1行腔室(3001～3003)，在+X侧与设置于地面F上的C/D(9000)相邻而配置；第2行腔室，其等与第1行腔室对向而配置在‑Y侧；及第1控制架(200)，在‑X侧与第2行腔室相邻，且与C/D(9000)对向而配置在‑Y侧。在至少一部分的多个腔室的内部，分别形成有进行曝光的曝光室，第1控制架(200)将自地面(F)的下方供应来的公用能源分配至第1行及第2行腔室的各个。
技术研发人员：柴崎祐一
受保护的技术使用者：株式会社尼康
技术研发日：2016.04.15
技术公布日：2018.01.02