技术总结
一种自由电子激光器FEL包括波荡器24，产生相干EUV辐射，接收上游电子束EB2并发射下游电子束EB4，和至少电子源21a、21b，能够操作以产生上游电子束EB1、EB2，上游电子束EB1、EB2包括电子聚束。束路径配置为：引导上游电子束通过包括至少第一和第二线性加速器22a、22b的直线加速器系统(LINAC)、聚束压缩器28b和波荡器24。离开所述波荡器24的下游束以一相位与上游电子束平行地再循环通过第二直线加速器22b，使得下游束被所述直线加速器22b减速，随后以一相位与上游电子束平行地再循环通过第一直线加速器22a，使得下游束被第一线性加速器22a减速；以及，引导下游束至束收集器100。至少第一能量散布装置50a、50b、50c对电子聚束的能量分布赋予可逆变化，并且在束路径中位于聚束压缩器28之前的位置，使得它仅通过上游电子束EB1。第二能量散布装置50d反转由至少一个第一能量散布装置50a、50b、50c施加的电子聚束的能量分布的变化，第二散布装置50d在束路径中位于波荡器24之前的位置，使得它仅通过上游电子束EB2。
技术研发人员：P·W·斯摩奥伦堡;J·A·G·阿克曼斯
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2018.10.23