存放盒及颗粒检测方法与流程

技术特征：

技术总结
一种存放盒，适于存放衬底，存放盒包括底座以及上盖。上盖覆盖底座上并且与底座组装，其中衬底适于被存放在底座与上盖之间的存放空间内，而上盖具有位于衬底上方的透光检测窗，且透光检测窗的尺寸大于衬底的尺寸。此外，一种使用前述的存放盒的颗粒检测方法亦被提出。

技术研发人员：陈庆跃;翁国伦;赖俊宏
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2017.01.10
技术公布日：2018.07.17