技术总结
本发明提供了一种小发散角脊型激光器及其制作方法，所述激光器包括外延结构以及形成于外延结构上的脊波导结构，所述脊波导结构包括沿出光方向依次设置的平行增益区和光场模式扩展区，所述光场模式扩展区的宽度沿着出光方向逐渐增加，所述光场模式扩展区的较窄端与所述平行增益区相连且宽度与所述平行增益区的宽度相等，所述平行增益区的长度为100‑300um，所述光场模式扩展区的长度为10~150um。本发明提供的这种小发散角脊型激光器及其制作方法，不需要对外延结构进行调整，不需要引入新的外延工艺和工艺过程，可以控制阈值电流不会有较大的提高，不会限制半导体激光器的输出功率，对输出功率有10%以上的提高，对使用时的主要参数性能有一定的提高。
技术研发人员：祝希;许海明;刘志锋
受保护的技术使用者：武汉光安伦光电技术有限公司
文档号码：201710084945
技术研发日：2017.02.17
技术公布日：2017.06.30