技术特征：
技术总结
本发明属于加工技术领域，具体涉及导向升降结构和腔室传片机构。该导向升降结构用于完成晶片在腔室内的升降动作，所述导向升降结构包括升降单元、密封单元、轴承单元和保持单元，其中，所述轴承单元包括上端轴承和下端轴承，所述上端轴承和所述下端轴承同轴心设置、且分别对应设置于所述升降单元的上端外围和下端外围。该具有双轴承的导向升降结构，能极大提高升降运动的可重复性；相应的，该腔室传片机构在运动过程更加稳定，降低了腔室传片升降运动中升降主轴的晃动量，提高了机械手取放片的可重复性，提升了设备性能。
技术研发人员：史全宇
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2017.02.17
技术公布日：2018.08.28