具有可调整临界电压的高压空乏型MOS元件及其制造方法与流程

文档序号:15940140发布日期:2018-11-14 03:01阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种具有可调整临界电压的高压空乏型MOS元件及其制造方法,该具有可调整临界电压的高压空乏型MOS元件包含:第一导电型阱;第二导电型沟道区,用以于非空乏状态下使高压空乏型MOS元件导通操作,且于空乏状态下使高压空乏型MOS元件不导通操作;第二导电型连接区,邻接于第二型沟道区;第一导电型栅极,用以控制高压空乏型MOS元件的导通与不导通;第二导电型轻掺杂扩散区,邻接于第二导电型沟道区;第二导电型源极;第二导电型漏极,不与第一导电型栅极相邻接。其中第一导电型栅极具有第一导电型或/及第二导电型的杂质掺杂,且第一导电型栅极的净掺杂浓度根据目标临界电压而决定。

技术研发人员:黄宗义;杨清尧
受保护的技术使用者:立锜科技股份有限公司
技术研发日:2017.05.05
技术公布日:2018.11.13
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