一种放电激励气体激光器及其运行方法与流程

文档序号:11622377阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了放电激励气体激光器及其运行方法,放电激励气体激光器包括激光器主体、放电泵浦源、谐振腔、光窗、气源和腔内压力维持单元;光窗由光窗清洁器和窗口构成;光窗清洁器基于气体紊流消能原理,包括消能箱、金属气管和气体流量控制器。放电激励气体激光器运行时,气源持续给光窗清洁器供给一定流量的激光工作气体,在激光器光窗内部形成紊流,消弱放电微粒飞向窗口的动能,使放电微粒不能到达并附着在窗口玻璃内表面,从而保护放电激励气体激光器光窗不受污染。输入的气体通过腔内压力维持单元排除激光器腔室,同时保持激光器腔室内部气体压力不变。

技术研发人员:黄珂;黄超;马连英;易爱平;安晓霞;李高鹏
受保护的技术使用者:西北核技术研究所
技术研发日:2017.05.22
技术公布日:2017.08.04
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