技术特征：
技术总结
本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。
技术研发人员：今田雄;林辉幸
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.05.23
技术公布日：2017.12.01