一种电子束激发荧光粉的深紫外光源的制作方法

技术特征：

1.一种电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述光源包括荧光屏、电子枪、以及玻璃外壳，其中：

所述荧光屏包括石英玻璃以及涂覆在所述石英玻璃上的紫外荧光粉层；

所述电子枪设置于所述玻璃外壳内，所述电子枪产生的电子束朝向所述紫外荧光粉层，所述紫外荧光粉层在所述电子束激发下透过石英玻璃发出深紫外光；

所述荧光屏通过过渡玻璃与所述玻璃外壳封接。

2.如权利要求1所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述紫外荧光粉层包括基质材料和激活离子，所述基质材料为磷酸钇。

3.如权利要求2所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述激活离子为Bi²⁺，Pr³⁺或Gd³⁺中的任意一种。

4.如权利要求1所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述玻璃外壳的型号为DM308或DM305的电子玻璃。

5.如权利要求4所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述荧光屏通过多道过渡玻璃与所述玻璃外壳封接。

6.如权利要求1所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述电子枪产生的电子束以聚焦扫描或面积投射的方式激发所述荧光粉层。

7.如权利要求1所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述电子枪为热发射电子枪或场发射电子枪。

8.如权利要求7所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述电子枪的工作电压为5kv～20kv。

9.如权利要求1所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述紫外荧光粉层通过二氧化硅作为粘结剂涂覆在所述石英玻璃上。

10.如权利要求1所述的电子束激发荧光粉的深紫外光源，其特征在于，所述光源还包括金属阳极，所述金属阳极通过金属可伐与所述玻璃外壳匹配封接。