一种晶圆夹具的制作方法

本实用新型属于半导体功率器件的生产制造技术领域，具体涉及一种晶圆夹具。

背景技术：

在半导体功率器件的生产制造过程中，为保证晶圆正面电路的有效性，会通过匀胶、曝光、显影工序在其表面增加一层一定厚度的光刻胶作为绝缘保护层。目前业内该光刻胶绝缘保护层厚度在15um～25um，由于其厚度要求偏厚的原因，目前一般使用的是粘性偏高的负性光刻胶。在匀胶工序中，旋涂方式是最常见的涂胶方法。该方法主要是利用高速旋转产生的离心力，将滴在晶圆中心的光刻胶均匀的铺开，形成一定厚度的薄膜。由于光刻胶绝缘保护层厚度偏厚、粘性较大，导致在旋涂涂胶过程中部分光刻胶会残留在晶圆背面的边缘区域，且难以将其清洗干净。目前现有的晶圆夹具在传送晶圆过程中都会接触晶圆背面的边缘粘胶区域，连续作业会使晶圆夹具与晶圆之间相互粘连，导致在后续晶圆取放过程中容易出现晶圆掉落或碎裂的情况。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种晶圆夹具，避免在传送过程中接触晶圆背面的边缘粘胶区域。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：

一种晶圆夹具，包括固定部件和与固定部件连接的支撑装置。支撑装置上设有用于支撑晶圆的支撑部件，并且支撑部件位于支撑装置上不与固定部件连接的一端。

本实用新型涉及的晶圆夹具，布置在支撑装置上不与固定部件连接的一端的支撑部件能够实现晶圆夹具与晶圆接触处远离晶圆背面的边缘粘胶区域，从而避免连续作业过程中晶圆与晶圆夹具相互粘连，进而避免了在后续晶圆取放过程中容易出现晶圆掉落或碎裂的情况。

对于上述技术方案，还可进行如下所述的进一步地改进。

根据本实用新型的晶圆夹具，具体地，支撑装置构造为具有与固定部件连接的第一平面和与第一平面相邻的第二平面的板材，并且支撑部件布置在第二平面上。这种由两个平板拼接起来的支撑装置结构简单，容易加工，制造成本低。

在一个优选的实施方式中，支撑部件构造为凸起的长条状筋板。进一步地，凸起的筋板优选为1～3个。这种凸起的长条状筋板结构的支撑部件，避免接触晶圆背面边缘粘胶区域的同时，通过与晶圆小面积地接触，也能够保证给予晶圆足够的支撑力，不影响晶圆的正常传送，并且结构简单，容易加工，制造成本低。

在另一个优选的实施方式中，支撑部件构造为圆形支撑柱。进一步地，圆形支撑柱的个数优选为1～3个。这种圆形支撑柱结构的支撑部件，避免接触晶圆背面边缘粘胶区域的同时，通过与晶圆多个小面积地接触，也能够保证给予晶圆足够的支撑力，不影响晶圆的正常传送，并且结构简单，容易加工，制造成本低。

根据本实用新型的晶圆夹具，具体地，固定部件构造为矩形板材结构。在一个优选地实施方式中，固定部件上设有螺纹孔。这种矩形板材结构的固定板结构简单，容易加工，制造成本低，并且固定板可通过螺纹连接这种可拆卸的连接形式保证晶圆夹具的安装和维护简单快捷。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：能够实现晶圆夹具与晶圆接触处远离晶圆背面的边缘粘胶区域，从而避免连续作业过程中晶圆与晶圆夹具相互粘连，进而避免了在后续晶圆取放过程中容易出现晶圆掉落或碎裂的情况。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本实用新型进行更详细的描述。其中：

图1示意性显示了本实用新型实施例的晶圆夹具的侧部结构；

图2示意性显示了本实用新型实施例的晶圆夹具的整体结构；

图3示意性显示了本实用新型实施例的晶圆夹具的工作状态。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细实用新型，但并不因此而限制本实用新型的保护范围。

图1示意性显示了本实用新型实施例的晶圆夹具10的侧部结构，图2示意性显示了本实用新型实施例的晶圆夹具的整体结构，图3示意性显示了本实用新型实施例的晶圆夹具的工作状态。如图1和图2所示，本实施例中的晶圆夹具10，包括固定部件1和与固定部件1连接的支撑装置2。容易理解地，固定部件1与支撑装置2可以多种方式连接，例如粘接、卡接和焊接等，或者固定部件1与支撑装置2采用一体成型的方式构造。在一个未示出的实施例中，固定部件1与支撑装置2以可拆缷的方式连接。支撑装置2上设有用于支撑晶圆的支撑部件21，并且支撑部件21位于支撑装置2上不与固定部件1连接的一端。根据本实用新型的晶圆夹具10，具体地，支撑装置2构造为具有与固定部件1连接的第一平面22和与第一平面22相邻的第二平面23的板材，并且支撑部件21布置在第二平面23上。这种由两个平板拼接起来的支撑装置结构简单，容易加工，制造成本低。

如图1和图2所示，在一个优选的实施方式中，支撑部件21构造为凸起的长条状筋板。进一步地，凸起的筋板为1～3个，优选为2个。这种凸起的长条状筋板结构的支撑部件，避免接触晶圆背面边缘粘胶区域的同时，通过与晶圆小面积地接触，也能够保证给予晶圆足够的支撑力，不影响晶圆的正常传送，并且结构简单，容易加工，制造成本低。

在一个未示出的实施方式中，支撑部件21构造为圆形支撑柱。进一步地，圆形支撑柱的个数优为1～3个，优选为2个。这种圆形支撑柱结构的支撑部件，避免接触晶圆背面边缘粘胶区域的同时，通过与晶圆多个小面积地接触，也能够保证给予晶圆足够的支撑力，不影响晶圆的正常传送，并且结构简单，容易加工，制造成本低。

如图1和图2所示，根据本实用新型的晶圆夹具10，具体地，固定部件1构造为矩形板材结构。在一个优选地实施方式中，固定部件1上设有螺纹孔11。这种矩形板材结构的固定板结构简单，容易加工，制造成本低，并且固定板可通过螺纹连接这种可拆卸的连接形式保证晶圆夹具的安装和维护简单快捷。

如图3所示，本实用新型涉及的晶圆夹具10，通过固定部件1上的螺纹孔11固定在晶圆传送系统，例如机械臂上，完成晶圆的取、放、和传送。布置在支撑装置2上不与固定部件1连接的一端的支撑部件21能够实现晶圆夹具10与晶圆3的接触点远离晶圆3背面的边缘粘胶区域，成功实背面边缘存在残胶的晶圆在匀胶显影设备中的传送。避免连续作业过程中晶圆与晶圆夹具相互粘连，从而避免了在后续晶圆取放过程中容易出现晶圆掉落或碎裂的情况。

根据上述实施例，可见本实用新型涉及的晶圆夹具能够实现晶圆夹具与晶圆接触处远离晶圆背面的边缘粘胶区域，从而避免连续作业过程中晶圆与晶圆夹具相互粘连，进而避免了在后续晶圆取放过程中容易出现晶圆掉落或碎裂的情况。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求范围内的所有技术方案。