一种硅片花篮的制作方法

文档序号:13944479阅读:278来源:国知局

本实用新型涉及硅片承载装置,特别涉及一种硅片花篮。



背景技术:

太阳能电池硅片的工艺处理中,需要用承载装置将硅片稳固、有序、间隔地放置,以便于在工艺处理中硅片的多次转移。通常,现有的硅片花篮为保证结构强度,花篮上添加了很多密集的加强筋,这就导致硅片花篮与硅片接触面积大,从而对硅片造成损伤,有鉴于此,实有必要开发一种硅片花篮,用以解决上述问题。



技术实现要素:

针对现有技术中存在的不足之处,本实用新型的目的是提供一种硅片花篮,其在提高血硅片收纳能力的同时,还能够减少对硅片表面的损伤,降低生产成本,提高成品率。

为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点,提供了一种硅片花篮,包括:

硅片收纳组件;以及

托盘组件,其用于承托硅片收纳组件,

其中,托盘组件包括基盘及设于基盘内的支撑盘,硅片收纳组件设于托盘组件内并由支撑盘所承托,使得硅片收纳组件的横向轴线与水平面成一定夹角。

优选的是,硅片收纳组件的横向轴线与水平面成3°~8°夹角。

优选的是,硅片收纳组件并列地设有至少一组,基盘及支撑盘中分别开设有与硅片收纳组件相对的第一让位通槽及第二让位通槽。

优选的是,硅片收纳组件包括:

基底;以及

分别设于所述基底左右两端且竖直的左挡板及右挡板,

其中,左挡板及右挡板相互平行设置从而形成位于两者之间的硅片收纳空间。

优选的是,左挡板及右挡板之间固接有竖直设置的前硅片扶持板及后硅片扶持板,前硅片扶持板及后硅片扶持板相互平行且间隔设置。

优选的是,左挡板及右挡板的内侧分别开设有若干条前安装槽及后安装槽,前安装槽与后安装槽一一相对设置并均沿竖直方向延伸。

优选的是,左挡板及右挡板上分别开设有左减轻通槽及右减轻通槽。

优选的是,基盘上设有与硅片收纳组件一一对应的检测组件,所述检测组件包括:

用于检测基盘上是否有硅片收纳组件的第一传感器;以及

当硅片收纳组件放置于基盘中时用于检测硅片收纳组件中是否有硅片的第二传感器。

优选的是,支撑盘上设有用于稳定安装硅片收纳组件的左安装座及右安装座。

本实用新型与现有技术相比,其有益效果是:其在提高血硅片收纳能力的同时,还能够减少对硅片表面的损伤,降低生产成本,提高成品率。

附图说明

图1为根据本实用新型所述的硅片花篮的正视图;

图2为根据本实用新型所述的硅片花篮的爆炸视图;

图3为根据本实用新型所述的硅片花篮中硅片收纳组件的立体图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明,本实用新型的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中,为清晰起见,可对形状和尺寸进行放大,并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在说明书中,诸如“前部”、“后部”、“上部”、“下部”、“顶部”和“底部”及其衍生词的相对术语应当被解释为是指如然后所述的或如在被讨论的附图中所示出的取向。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如,“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系,除非以其他方式明确地说明。

参照图1及图2,硅片花篮100包括:托盘组件12及硅片收纳组件13,其中托盘组件12其用于承托硅片收纳组件13,托盘组件12包括基盘121及设于基盘121内的支撑盘122,硅片收纳组件13设于托盘组件12内并由支撑盘122所承托,使得硅片收纳组件13的横向轴线与水平面成一定夹角。因石英舟上硅片槽的工艺要求,硅片收纳组件的倾斜角度需与石英槽的倾斜角度相匹配,另一方面,硅片收纳组件倾斜呈一定角度,可以使得硅片往一个方向倾斜,便于插片/取片。

进一步地,硅片收纳组件13的横向轴线与水平面成3°~8°夹角。在一实施方式中,硅片收纳组件13的横向轴线与水平面成3°夹角。在另一实施方式中,硅片收纳组件13的横向轴线与水平面成5°夹角。在另一实施方式中,硅片收纳组件13的横向轴线与水平面成8°夹角。

再次参照图2,硅片收纳组件13并列地设有至少一组,基盘121及支撑盘122中分别开设有与硅片收纳组件13相对的第一让位通槽1213及第二让位通槽1223。硅片升降机构可以通过第一让位通槽1213与第二让位通槽1223将硅片收纳组件13中的硅片顶起,从而便于取片。

参照图3,硅片收纳组件13包括:

基底;以及

分别设于所述基底左右两端且竖直的左挡板131及右挡板132,

其中,左挡板131及右挡板132相互平行设置从而形成位于两者之间的硅片收纳空间。通常,所述基底开设有与第一让位通槽1213及第二让位通槽1223相对的让位槽,以便于硅片升降机构进出硅片收纳组件13。

再次参照图3,左挡板131及右挡板132之间固接有竖直设置的前硅片扶持板133及后硅片扶持板134,前硅片扶持板133及后硅片扶持板134相互平行且间隔设置。在优选的实施方式中,前硅片扶持板133及后硅片扶持板134的外侧分别固接有前加强筋1331及后加强筋(略画)。

进一步地,左挡板131及右挡板132的内侧分别开设有若干条前安装槽1332及后安装槽1342,前安装槽1332与后安装槽1342一一相对设置并均沿竖直方向延伸。

参照图3,左挡板131及右挡板132上分别开设有左减轻通槽1311及右减轻通槽1321。

参照图2,基盘121上设有与硅片收纳组件13一一对应的检测组件,所述检测组件包括:

用于检测基盘121上是否有硅片收纳组件13的第一传感器1212;以及

当硅片收纳组件13放置于基盘121中时用于检测硅片收纳组件13中是否有硅片的第二传感器1211。在优选的实施方式中,第二传感器1211透过左减轻通槽1311或右减轻通槽1321来检测硅片收纳组件13中是否有硅片。

进一步地,支撑盘122上设有用于稳定安装硅片收纳组件13的左安装座1221及右安装座1222。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上,但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1