技术总结
本实用新型公开一种隔离沟槽的填充设备，包括：旋涂单元，用于旋涂形成绝缘介质前驱物至晶圆表面，以填充晶圆的隔离沟槽；烘烤加热单元，与旋涂单元连接，用于对旋涂后的晶圆进行烘烤；退火冷却单元，与烘烤加热单元连接，用于对烘烤后的所述晶圆进行退火；化学过滤器，至少与烘烤加热单元连接，用于去除烘烤加热单元中的杂质气体；其中，旋涂单元、烘烤加热单元和退火冷却单元组建成于一介质旋转涂布装置中，化学过滤器包括臭氧去除装置，介质旋转涂布装置经由所述化学过滤器提供臭氧阻隔(O3free)环境。化学过滤器至少在烘烤退火的过程中将环境中的杂质臭氧过滤，有效减小甚至消除了隔离沟槽中的空洞。本实用新型还公开了一种隔离沟槽的填充结构。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：睿力集成电路有限公司
文档号码：201720993270
技术研发日：2017.08.09
技术公布日：2018.03.23