可旋转的晶圆盒开盒器的制作方法

技术特征：

1.一种可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，包括：

背板单元，所述背板单元上设置有装载口；

装载单元，所述装载单元位于所述背板单元上，用于装载晶圆盒；

开门单元，所述开门单元和所述装载单元分别位于所述背板单元的两侧，所述开门单元通过所述装载口对晶圆盒的盖体进行开闭作业；

其中，所述装载单元包括旋转组件，所述旋转组件用于带动晶圆盒绕着背板单元的长度方向旋转。

2.如权利要求1所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述装载单元还包括基板组件、第一导轨组件和第一丝杠组件，所述基板组件连接所述背板单元，所述第一导轨组件和所述第一丝杠组件分别设置在基板组件的下部，且所述第一导轨组件和所述第一丝杠组件分别与所述旋转组件连接，以带动所述旋转组件沿着垂直于所述背板单元方向移动。

3.如权利要求2所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述旋转组件包括载物台、定位销组件、传动轴、带轮、电机组件、轴承、滑板和丝母座组件，所述载物台位于所述基板组件的上部，所述定位销组件位于所述载物台上部，所述传动轴位于所述载物台的下部，且延伸至所述基板组件的下部，所述传动轴外套设有所述带轮，所述带轮和所述电机组件皮带连接，所述电机组件连接所述滑板，所述滑板通过轴承套设在所述传动轴的外部，并且，所述滑板通过所述丝母座组件与第一丝杠组件连接，所述滑板还与所述第一导轨组件连接，所述带轮、所述电机组件、所述轴承、所述滑板和所述丝母座组件分别位于所述基板组件的下部。

4.如权利要求3所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述装载单元还包括第一充气组件和第二充气组件，所述第一充气组件和所述第二充气组件安装在所述基板组件的下部，所述载物台上分别设置有与所述第一充气组件和所述第二充气组件相配合的充气接口组件。

5.如权利要求4所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述第一充气组件包括第一气缸支架、第一滑台气缸、第一充气支架和第一充气气嘴组件，所述第一气缸支架安装在所述基板组件的下部，所述第一滑台气缸安装在所述气缸支架上，所述第一充气气嘴组件安装在第一充气支架上，所述第一滑台气缸带动第一充气支架沿垂直于基板组件方向移动，进而实现第一充气气嘴组件与所述充气接口组件的对接和分离；

所述第二充气组件包括第二气缸支架、第二滑台气缸、第二充气支架和第二充气气嘴组件，第二气缸支架安装在基板组件的下部，第二滑台气缸安装在第二气缸支架上，第二充气气嘴组件安装在第二充气支架上，第二滑台气缸带动第二充气支架沿垂直于基板组件方向移动，进而实现第二充气气嘴组件与所述充气接口组件的对接和分离。

6.如权利要求3所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述载物台上还设置有姿态检测传感器组件。

7.如权利要求1所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述背板单元包括背板组件、第二导轨组件和第二丝杠组件，所述第二导轨组件和所述第二丝杠组件分别设置在所述背板组件的前侧，且分别与所述开门单元连接，以带动所述开门单元沿着平行于背板单元的长度方向移动。

8.如权利要求7所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，还包括电控气压单元，所述电控气压单元设置在所述背板组件上，且位于装载单元的下部。

9.如权利要求8所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，还包括防护罩，所述防护罩设置在所述电控气压单元的外侧，并固定在所述所述背板组件上。

10.如权利要求9所述的可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，所述防护罩上设置有视窗。