可旋转的晶圆盒开盒器的制作方法

技术总结
本实用新型揭示了一种可旋转的晶圆盒开盒器，包括背板单元、装载单元、开门单元和装载单元，背板单元上设置有装载口，开门单元和装载单元分别位于背板单元的两侧，晶圆盒装载在装载单元上，该装载单元能够带动晶圆盒旋转，且使晶圆盒的盖体与装载口相对，此时，通过开门单元对晶圆盒的盖体进行开闭作业，提高了效率。

技术研发人员：吴功;邹磊;周锐
受保护的技术使用者：上海大族富创得科技有限公司
技术研发日：2017.11.24
技术公布日：2018.06.29