低压线离子等离子体放电源以及具有二次发射的电子源的应用的制作方法

文档序号:15740628发布日期:2018-10-23 22:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低压线离子等离子体放电源,其包括细长的电离室(1),所述电离室(1)容纳在所述电离室内纵向延伸的至少两个阳极线(2,3)、DC电压源(4)和脉冲电压源(5),

所述低压线离子等离子体放电源特征在于,所述至少两个阳极线中的第一(2)阳极线连接到所述DC电压源(4),并且所述至少两个阳极线中的第二(3)阳极线连接到所述脉冲电压源(5)。

2.根据权利要求1所述的低压线离子等离子体放电源,其特征在于,它包括连接到所述DC电压源(4)的若干阳极线和/或连接到所述脉冲电压源(5)的若干阳极线。

3.根据权利要求1或2所述的低压线离子等离子体放电源,其特征在于,由所述DC电压源(4)生成的直流电流等于或小于1mA/cm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的低压线离子等离子体放电源,其特征在于,所述脉冲电压源(5)生成1至5A/cm或更大的脉冲大电流。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的低压线离子等离子体放电源,其特征在于,所述电离室(10)包括通过狭缝(13)沿其整个长度流体连通的主细长室(11)和细长辅助室(12),在所述主室(11)中纵向延伸的至少一个脉冲电压供应的阳极线(14a,14b),和在所述辅助室(12)中纵向延伸的至少一个DC电压供应的阳极线(15)。

6.一种在低压室中在离子轰击下具有二次发射的电子源,其特征在于,它包括如权利要求1至5中任一项所述的低压线离子等离子体放电源。

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