用于化学抛光的系统、装置和方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明的实施例提供一种使用流体网络平板组件的用于化学抛光基板的系统、装置和方法，所述流体网络平板组件包含：垫，所述垫具有多个流体开口；多个流体通道的网络，每个通道与至少一个流体开口流体地连通；多个入口，每个入口耦合至不同的流体通道；以及出口，所述出口耦合至未耦合至入口的所述流体通道中的一个。公开了多个附加的方面。

技术研发人员：B·C·加嘎纳坦;R·巴贾杰
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2017.02.06
技术公布日：2018.09.28