1.一种调节光源的一个或多个操作特性的方法，所述光源包括第一级和第二级，所述第一级具有填充有第一气体混合物并且包括第一脉冲能量源的第一气体放电室，所述第二级具有填充有第二气体混合物并且包括第二脉冲能量源的第二气体放电室，所述方法包括：
在一组极端测试条件下操作所述光源的同时，估计所述光源的操作参数的多个极值，对于每个极端测试条件，所述估计包括：
在所述极端测试条件下操作所述第一气体放电室的同时，向所述第一气体放电室提供一组能量脉冲，以从所述第一级产生被引导到所述第二级的第一脉冲放大光束；
在所述极端测试条件下操作所述第二气体放电室的同时，并且在所述第一脉冲放大光束被输入到所述第二气体放电室的同时，向所述第二气体放电室提供一组能量脉冲，以产生第二脉冲放大光束；以及
针对所述极端测试条件测量操作参数的极值；
基于所估计的操作参数的多个极值来确定是否要调节所述光源的多个操作特性中的至少一个操作特性；以及
如果确定应当调节操作特性，则调节所述操作特性。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括确定多个误差值，每个误差值是根据所述操作参数的一个或多个测量的极值而确定的。
3.根据权利要求1所述的方法，其中：
向所述第一气体放电室提供所述一组能量脉冲包括向所述第一气体放电室提供一串能量脉冲；以及
向所述第二气体放电室提供所述一组能量脉冲包括向所述第二气体放电室提供一串能量脉冲。
4.根据权利要求1所述的方法，其中：
在所述一组极端测试条件下操作所述光源包括：在其中在以所述第一放大光束的脉冲与所述第二放大光束的脉冲之间的非最佳相对定时操作的同时、增加提供给所述第一气体放电室的能量的极端测试条件下，操作所述光源；以及
针对所述极端测试条件测量所述操作参数的极值包括：测量所述第二脉冲放大光束的最大能量。
5.根据权利要求1所述的方法，其中：
在所述一组极端测试条件下操作所述光源包括：在其中在以所述第一放大光束的脉冲与所述第二放大光束的脉冲之间的最佳相对定时操作的同时、减小提供给所述第一气体放电室的能量的极端测试条件下，操作所述光源；以及
针对所述极端测试条件测量所述操作参数的极值包括：测量所述第二脉冲放大光束的最小能量。
6.根据权利要求1所述的方法，其中：
在所述一组极端测试条件下操作所述光源包括：在其中在向所述第一气体放电室提供最小能量的同时、减小所述第一放大光束的脉冲与所述第二放大光束的脉冲之间的相对定时的极端测试条件下，操作所述光源；以及
针对所述极端测试条件测量所述操作参数的极值包括：测量所述第二脉冲放大光束的最大光谱性质。
7.根据权利要求1所述的方法，其中：
在所述一组极端测试条件下操作所述光源包括：在其中在向所述第一气体放电室提供最大能量的同时、增加所述第一放大光束的脉冲与所述第二放大光束的脉冲之间的相对定时的极端测试条件下，操作所述光源；以及
针对所述极端测试条件测量所述操作参数的极值包括：测量所述第二脉冲放大光束的最小光谱性质。
8.根据权利要求1所述的方法，其中针对所述极端测试条件测量操作参数的极值包括：
在第一极端测试条件下操作所述光源的同时，测量所述第二脉冲放大光束的最大能量；以及
在第二极端测试条件下操作所述光源的同时，测量所述第二脉冲放大光束的最小能量。
9.根据权利要求1所述的方法，其中针对所述极端测试条件测量操作参数的极值包括：
在第三极端测试条件下操作所述光源的同时，测量所述第二脉冲放大光束的最大光谱性质；以及
在第四极端测试条件下操作所述光源的同时，测量所述第二脉冲放大光束的最小光谱性质。
10.根据权利要求1所述的方法，其中测量所述操作参数的极值包括测量以下中的一项或多项：
所述第二脉冲放大光束的能量的极值，以及
所述第二脉冲放大光束的光谱性质的极值。
11.根据权利要求1所述的方法，其中：
确定是否要调节所述光源的操作特性也基于多个已校准常数和多个非线性函数中的一项或多项。
12.根据权利要求1所述的方法，其中确定是否要调节所述光源的至少一个操作特性包括：
确定是否要调节所述气体放电室中的至少一个气体放电室的气体混合物的压力；以及
确定是否要调节脉冲放大光束的光学特征。
13.根据权利要求12所述的方法，其中确定是否要调节所述脉冲放大光束的光学特征包括：确定是否要调节所述第一脉冲放大光束的光学放大率。
14.根据权利要求12所述的方法，其中调节所述至少一个气体放电室的所述气体混合物的压力包括：允许所述气体混合物中的至少一些气体混合物从所述气体放电室逸出。
15.根据权利要求12所述的方法，其中调节所述脉冲放大光束的光学特征包括：调节所述第一脉冲放大光束的光学放大率，以由此调节所述第二脉冲放大光束的带宽。
16.根据权利要求12所述的方法，其中：
确定是否要调节所述至少一个气体放电室的所述气体混合物的压力包括确定所述气体混合物的测量压力是否大于可接受的较低值以及所述第二脉冲放大光束的能量是否在可接受的范围内；以及
仅当所述气体混合物的测量压力大于所述可接受的较低值并且所述第二脉冲放大光束的能量在所述可接受的范围内时，确定应当调节所述至少一个气体放电室的所述气体混合物的压力。
17.根据权利要求12所述的方法，其中：
确定是否要调节所述脉冲放大光束的光学特征包括确定是否满足光谱性质致动的条件；以及
仅当满足所述光谱性质致动的条件时，确定应当调节所述脉冲放大光束的光学特征。
18.根据权利要求12所述的方法，其中确定是否要调节所述至少一个气体放电室的所述气体混合物的压力包括：确定是否要调节所述第二气体放电室的所述气体混合物的压力。
19.根据权利要求1所述的方法，其中基于所估计的操作参数的多个极值来确定是否要调节所述光源的至少一个操作特性包括：
基于不同操作参数的至少两个估计的极值来确定是否要调节第一操作特性；以及
基于不同操作参数的至少两个估计的极值来确定是否要调节第二操作特性。
20.根据权利要求1所述的方法，其中：
估计所述操作参数的多个极值至少包括：
对第一操作参数的第一测量极值和第二测量极值求平均，以获得所述第一操作参数的平均值，并且将所述第一操作参数的平均值调节第一预定范围，以获得第一误差值；以及
对第二操作参数的第一测量极值和第二测量极值求平均，以获得所述第二操作参数的平均值，并且将所述第二操作参数的平均值调节第二预定范围，以获得第二误差值。
21.根据权利要求20所述的方法，其中确定是否要调节所述光源的至少一个操作特性包括：
至少基于所述第一误差值和所述第二误差值来确定是否要调节第一操作特性；以及
至少基于所述第一误差值和所述第二误差值来确定是否要调节第二操作特性。
22.根据权利要求1所述的方法，其中：
确定是否要调节所述光源的至少一个操作特性包括确定是否要调节与所述第二级相关联的至少一个操作特性；以及
如果确定应当调节所述操作特性则调节所述操作特性包括调节与所述第二级相关联的操作特性。
23.根据权利要求22所述的方法，还包括：在确定是否要调节与所述第二级相关联的所述至少一个操作特性以及如果确定应当调节所述第二级的操作特性则调节所述第二级的操作特性之前：
确定是否要调节与所述第一级相关联的一个或多个操作特性；以及
如果确定应当调节与所述第一级相关联的操作特性，则调节与所述第一级相关联的操作特性。
24.根据权利要求1所述的方法，其中确定是否要调节所述光源的至少一个操作特性包括：同时确定是否要调节所述光源的多个操作特性。