技术总结
本文的技术提供了用于沉积旋涂金属材料的方法以创建在沉积物中没有空隙的金属硬掩模(MHM)结构。这包括有效旋涂沉积TiOx、ZrOx、SnOx、HFOx、TaOx等。这样的材料可有助于提供材料蚀刻耐性的差异以进行差异化。通过使旋涂金属硬掩模(MHM)能够与多线层一起使用，可以有效地使用基于狭缝的或自对准阻挡的策略。本文的技术包括确定填充给定浮雕图案中的特定开口的填充材料，改变开口内的表面的表面能值使得液体形式的填充材料与侧壁或底表面之间的界面的接触角值能够实现无间隙或无空隙的填充。
技术研发人员：尼哈尔·莫汉蒂;利奥尔·胡利;杰弗里·史密斯;理查德·法雷尔
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.01.26
技术公布日：2018.10.23