压电薄膜的制作方法

本发明涉及压电薄膜。

背景技术：

通常，对于触摸面板，对触摸触摸面板表面的手指或笔在表面上的二维位置进行检测。(以下将“手指或笔”简称为“手指”，将手指或笔在触摸面板表面上的二维位置称为“手指的xy坐标”。)在该情况下不能检测出手指触摸的压力。(以下将手指触摸的压力大小考虑为处于z轴方向，并称为“手指的z坐标”。)即无论手指触摸的压力(手指的z坐标)大小如何，可检测出的仅是手指触摸位置的xy坐标。

然而，根据触摸面板上使用的应用程序，有时也需要识别手指触摸的压力(手指的z坐标)。通常的静电容量式触摸面板的情况下，通过手指触摸来选择触摸的位置，同时执行处于触摸的位置的命令。在静电容量式触摸面板的灵敏度非常高的情况下，仅通过手指接近静电容量式触摸面板(即使手指不触摸)就可选择与手指最接近的位置，同时执行处于该位置的命令。然而，例如在工作机械的操作面板等上不容许执行错误的命令的情况下，理想的是使选择与执行分开。即，为了防止误操作，理想的是，通过手指触摸(或通过手指接近)来选择命令，但仅靠这样并不会执行命令，接着通过手指施加压力才执行命令。

这种也能检测出手指触摸压力(手指的z坐标)的触摸面板例如在专利文献1(日本特开2010-26938)中有所记载。专利文献1的触摸面板的情况下，使用在含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的两面层叠有透明电极的层叠体。含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的厚度为20μm～300μm。由于记载了专利文献1的含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层利用流延法或挤出法来制造，因此可认为是独立的薄膜(未层叠于其它薄膜的薄膜)。

专利文献1中记载了含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的雾度值(hazevalue)为5％～7％、总透光率为95％。该专利文献1的实施例的雾度值、总透光率是层叠透明电极层前的含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层单独的值。

根据本申请发明人的实验，位于触摸面板背面的显示器图像的可视性至少受到压电薄膜的雾度值和总透光率的影响。专利文献1的含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的雾度值大，因此有位于触摸面板背面的显示器图像的可视性降低的担心。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-26938号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

根据本申请发明人的实验，对于位于触摸面板背面的显示器图像的可视性的降低，雾度值的影响大于总透光率。因此本发明的目的在于实现雾度值小、进而总透光率高的压电薄膜。

用于解决问题的方案

(1)本发明的压电薄膜具备基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体。

(2)本发明的压电薄膜在基材薄膜与具有压电性的涂层之间具备底涂层。

(3)本发明的压电薄膜在具有压电性的涂层的、与基材薄膜处于相反侧的表面具备至少1层光学调整层。至少1层光学调整层是指光学调整层可以是2层以上的多层膜。

(4)本发明的压电薄膜在基材薄膜与具有压电性的涂层之间具备至少1层第1光学调整层。至少1层第1光学调整层是指第1光学调整层可以是2层以上的多层膜。

(5)本发明的压电薄膜在具有压电性的涂层的、与第1光学调整层处于相反侧的表面具备至少1层第2光学调整层。至少1层第2光学调整层是指第2光学调整层可以是2层以上的多层膜。

(6)本发明的压电薄膜在基材薄膜与具有压电性的涂层之间具备至少1层防粘连层。至少1层防粘连层是指防粘连层可以是2层以上的多层膜。

(7)本发明的压电薄膜在基材薄膜的、与具有压电性的涂层处于相反侧的表面具备至少1层防粘连层。

(8)本发明的压电薄膜在具有压电性的涂层的、与基材薄膜处于相反侧的表面具备至少1层透明粘合层。至少1层透明粘合层是指透明粘合层可以是2层以上的多层膜。

(9)本发明的压电薄膜在基材薄膜的、与具有压电性的涂层处于相反侧的表面具备至少1层透明粘合层。

(10)对于本发明的压电薄膜，具有压电性的涂层包含氟树脂。

(11)对于本发明的压电薄膜，氟树脂为偏氟乙烯的聚合物或选自偏氟乙烯、三氟乙烯、三氟氯乙烯中的2种以上的共聚物。

(12)对于本发明的压电薄膜，氟树脂为偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物，共聚物中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(50～85)：(50～15)的范围。

(13)对于本发明的压电薄膜，氟树脂为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物，共聚物中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(63～65)：(27～29)：(10～6)的范围。

(14)对于本发明的压电薄膜，具有压电性的涂层是将氟树脂的溶液涂布于基材薄膜并进行干燥而得到的涂层。

(15)对于本发明的压电薄膜，具有压电性的涂层的厚度为0.5μm～20μm。

(16)对于本发明的压电薄膜，基材薄膜的材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚烯烃、聚环烯烃、环烯烃共聚物、聚碳酸酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚苯乙烯、聚降冰片烯中的至少1种。

(17)本发明的压电薄膜的雾度值为5％以下。

(18)本发明的压电薄膜的总透光率为90％以上。

发明的效果

对于本发明的压电薄膜，通过涂布形成压电体层，因此压电体层的厚度比以往由独立的薄膜构成的压电体层要薄。因此，由压电体层导致的雾度值的上升和总透光率的降低比由独立的薄膜构成的压电体层少。通过该效果，可实现雾度值小、进而总透光率高的压电薄膜。将本发明的压电薄膜用作触摸面板的z坐标检测用压电薄膜时，能够实现位于触摸面板背面的显示器的可视性良好、且具有z坐标(手指的押压力)检测功能的触摸面板。

附图说明

图1是本发明的压电薄膜的第1基本构成的示意图

图2是本发明的压电薄膜的第2基本构成的示意图

图3是本发明的压电薄膜的第3基本构成的示意图

图4是本发明的压电薄膜的第4基本构成的示意图

图5是本发明的压电薄膜的第5基本构成的示意图

图6是本发明的压电薄膜的第6基本构成的示意图

图7是本发明的压电薄膜的第7基本构成的示意图

图8是本发明的压电薄膜的第8基本构成的示意图

图9是本发明的压电薄膜的第9基本构成的示意图

图10是示出在本发明的压电薄膜设置有透明电极的构成的示意图

具体实施方式

[压电薄膜的基本构成]

图1示出本发明的压电薄膜的第1基本构成。本发明的压电薄膜的第1基本构成是在基材薄膜11层叠具有压电性的涂层12而成的压电薄膜10。在基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间还可以层叠有未图示的易粘接层。

图2示出本发明的压电薄膜的第2基本构成。对与第1基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第2基本构成是在基材薄膜11上层叠底涂层13、进而在底涂层13上层叠具有压电性的涂层12而成的压电薄膜20。底涂层13(或者锚固涂层)具有提高基材薄膜11与具有压电性的涂层12的密合性的功能。

图3示出本发明的压电薄膜的第3基本构成。对与第1基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第3基本构成是在基材薄膜11上层叠具有压电性的涂层12、进而在具有压电性的涂层12上层叠至少1层光学调整层14而成的压电薄膜30。光学调整层14(indexmatchinglayer)(也称为折射率调整层)具有调整压电薄膜30的反射率的功能。在基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间还可以层叠有未图示的易粘接层。

图4示出本发明的压电薄膜的第4基本构成。对与第1基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第4基本构成是在基材薄膜11上层叠至少1层第1光学调整层15、进而在至少1层第1光学调整层15上层叠具有压电性的涂层12而成的压电薄膜40。

图5示出本发明的压电薄膜的第5基本构成。对与第4基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第5基本构成是在基材薄膜11上层叠至少1层第1光学调整层15、进而在至少1层第1光学调整层15上层叠具有压电性的涂层12、进而在具有压电性的涂层12上层叠至少1层第2光学调整层16而成的压电薄膜50。

图6示出本发明的压电薄膜的第6基本构成。对与第1基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第6基本构成是在基材薄膜11上层叠至少1层防粘连层17、进而在至少1层防粘连层17上层叠具有压电性的涂层12而成的压电薄膜60。防粘连层17具有防止经重叠的或经卷绕的压电薄膜60彼此压接(粘连)的功能。

图7示出本发明的压电薄膜的第7基本构成。对与第3基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第7基本构成是在基材薄膜11的一面上层叠具有压电性的涂层12、进而在具有压电性的涂层12层叠至少1层光学调整层14、在基材薄膜11的另一面上层叠至少1层防粘连层17而成的压电薄膜70。在基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间还可以层叠有未图示的易粘接层。

图8示出本发明的压电薄膜的第8基本构成。对与第1基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第8基本构成是在基材薄膜11上层叠具有压电性的涂层12、进而在具有压电性的涂层12上层叠至少1层透明粘合层18而成的压电薄膜80。至少1层透明粘合层18可以是至少1层透明粘接层。在基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间还可以层叠有未图示的易粘接层。

图9示出本发明的压电薄膜的第9基本构成。与第8基本构成共通的要素标注相同的符号。本发明的压电薄膜的第9基本构成是在基材薄膜11的一面上层叠具有压电性的涂层12、在基材薄膜11的另一面上层叠至少1层透明粘合层18而成的压电薄膜90。至少1层透明粘合层18可以是至少1层透明粘接层。在基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间还可以层叠有未图示的易粘接层。

[基材薄膜]

基材薄膜11例如由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚烯烃、聚环烯烃、环烯烃共聚物、聚碳酸酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚苯乙烯、聚降冰片烯等高分子薄膜构成。基材薄膜11的材料不限定于这些，优选透明性、耐热性和机械特性优异的聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)。

基材薄膜11的厚度优选为10μm～200μm，但不限定于这些。其中基材薄膜11的厚度低于10μm时，有操作变得困难的担心。另外基材薄膜11的厚度超过200μm时，有难以将压电薄膜(10、20、30、40、50、60、70、80、90)卷绕成卷的担心。另外基材薄膜11的厚度超过200μm时，有将压电薄膜(10、20、30、40、50、60、70、80、90)安装于触摸面板等上时厚度变得过厚的担心。

[具有压电性的涂层]

具有压电性的涂层12的材料只要是能在基材薄膜11的表面涂布成薄膜状且涂布后的薄膜具有压电性的材料就没有特别限定。对于具有压电性的涂层12，理想的是即使不进行极化(极化处理)也显示出压电性的涂层，但也可以是在极化后显示出压电性的涂层。

作为极化(极化处理)有非接触式极化和接触式极化。对于非接触式极化，例如，通过对涂层12进行电晕放电处理而使涂层12极化。对于接触式极化，例如用2张金属板夹持涂层12，在2张金属板之间施加电压来使涂层12极化。

具有压电性的涂层12例如可通过如下方式得到：使具有压电性的涂层12的材料溶解于溶剂中制成溶液，用棒涂机、凹版涂布机等已知的涂布装置较薄且均匀地涂布于基材薄膜11的表面，然后使其干燥。

[具有压电性的涂层的材料]

具有压电性的涂层12的材料例如可适宜使用包含氟树脂的材料。具体地示例出包含氟树脂的材料时，可列举出：偏氟乙烯的聚合物、偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物、偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物、六氟丙烯与偏氟乙烯的共聚物、全氟乙烯基醚与偏氟乙烯的共聚物、四氟乙烯与偏氟乙烯的共聚物、六氟环氧丙烷与偏氟乙烯的共聚物、六氟丙烯与四氟乙烯与偏氟乙烯的共聚物。这些聚合物可以单独使用或使用混合体。

包含氟树脂的材料优选为偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物、或偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物。将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物称为2元系共聚物。将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物称为3元系共聚物。

将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)用作具有压电性的涂层12的材料时，偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(50～85)：(50～15)的范围是适宜的。

另外，将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)用作具有压电性的涂层12的材料时，偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(63～65)：(27～29)：(10～6)的范围是适宜的。

[具有压电性的涂层的厚度]

具有压电性的涂层12的厚度没有限定，考虑后述的光学特性时，优选0.5μm～20μm、更优选0.5μm～10μm、进一步优选0.5μm～5μm。具有压电性的涂层12的厚度低于0.5μm时，有所形成的膜变得不完整的担心。具有压电性的涂层12的厚度超过20μm时，有光学特性(雾度值和总透光率)变得不适合的担心。

[透明粘合层]

透明粘合层18优选包含光学透明粘合剂。例如，可以使用光学透明粘合剂的片来形成透明粘合层18。另外，透明粘接层优选包含光学透明粘接剂。例如，可以涂布液态的光学透明粘接剂、照射紫外线并使其固化而形成透明粘接层。理想的是，透明粘合层18或透明粘接层的折射率是层叠于其两侧的材料各自的折射率的中间值。通过如此选择透明粘合层18或透明粘接层的折射率，从而能够抑制在透明粘合层18或透明粘接层与层叠于其两侧的材料的界面的光的反射。

[压电薄膜的光学特性]

通常，即使压电薄膜的雾度值变大，有时光也不被吸收而散射，因此有时总透光率不会降低。然而，即使压电薄膜的总透光率不降低，也会因雾度值变大而显示器图像的可视性降低。因此仅通过压电薄膜的总透光率的值无法判断显示器图像的可视性。根据本申请发明人的实验，为了确保显示器图像的可视性，压电薄膜的雾度值优选5％以下、更优选4％以下、进一步优选3％以下、特别优选2％以下、特别优选1％以下。另外，压电薄膜的总透光率优选90％以上、更优选91％以上、特别优选92％以上。压电薄膜的雾度值超过5％时或总透光率低于90％时，有无法清晰地辨认显示器的图像的担心。

[透明电极]

另外，在本申请的压电薄膜10上层叠透明电极，通过透明电极能够检测出具有压电性的涂层12的电位的变化。例如，如图10所示，在图1的压电薄膜10上层叠光学调整层14和透明电极20。另外，在基材薄膜11中的与具有压电性的涂层12处于相反侧的面层叠具有防粘连功能的硬涂层22。

透明电极20可列举出：铟系复合氧化物、代表性的是铟锡复合氧化物(ito：indiumtinoxide)、铟锌复合氧化物，还可列举出掺杂了4价金属离子或2价金属离子的氧化铟(in2o3)。铟系复合氧化物具有如下特征：在可见光区域(380～780nm)透过率高达80％以上，且每单位面积的表面电阻低(30～1000ω/□)。

上述铟系复合氧化物的表面电阻值优选为300ω/□(ohmspersquare)以下、进一步优选为150ω/□。表面电阻小的透明电极例如通过如下方式得到：利用溅射法或真空蒸镀法将铟系复合氧化物的非晶质层形成在固化树脂层上后，在100～200℃下进行加热处理使非晶质层变为结晶质层。

透明电极20不限定于上述材料，可以使用锡锌氧化物、氧化锌、氟掺杂锡氧化物等透明导电性氧化物、聚乙烯二氧噻吩等导电性高分子。

作为一个例子可列举出具有压电性的涂层12的厚度为0.5～10μm、光学调整层14的厚度为80～160nm、透明电极20的厚度为20nm以上。另外，作为一个例子可列举出具有压电性的涂层12的折射率为1.40～1.50、光学调整层14的折射率为1.50～1.70、透明电极20的折射率为1.90～2.10。另外，将基材薄膜11的厚度设为2～100μm、将折射率设为1.50～1.70。通过设为以上的厚度和折射率，从而使透明电极20与光学调整层14的反射率差为2.0％以下，外观变得良好。

实施例

[实施例1]

实施例1的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。实施例1的压电薄膜10如下制作：在第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面首先形成未图示的易粘接层，接着涂布偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的溶液。基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的厚度为23μm。

在制作具有压电性的涂层12时，首先，利用超声波将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)溶解在甲乙酮中，制作了偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的溶液。偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比为70/30。

接着利用棒涂机将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的溶液涂布于基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面。接着在60℃、5分钟的干燥条件下对基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)和未干燥的涂层进行干燥，得到具有压电性的涂层12。干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为1μm。

[实施例2]

实施例2的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例2的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为5μm，除此以外与实施例1的压电薄膜10同样地制作。

[实施例3]

实施例3的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例3的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为10μm，除此以外与实施例1的压电薄膜10同样地制作。

[实施例4]

实施例4的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例4的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为20μm，除此以外与实施例1的压电薄膜10同样地制作。

[实施例5]

实施例5的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例5的压电薄膜10，偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)中包含的、偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比为75/25，除此以外与实施例1的压电薄膜10同样地制作。

[实施例6]

实施例6的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例6的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为5μm，除此以外与实施例5的压电薄膜10同样地制作。

[实施例7]

实施例7的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例7的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为10μm，除此以外与实施例5的压电薄膜10同样地制作。

[实施例8]

实施例8的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例8的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为2μm以及干燥条件为135℃、5分钟，除此以外与实施例5的压电薄膜10同样地制作。

[实施例9]

实施例9的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例9的压电薄膜10，具有压电性的涂层12的材料为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)，除此以外与实施例1的压电薄膜10同样地制作。

在制作具有压电性的涂层12时，首先，利用超声波将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)溶解于常温的甲基异丁基酮中，制作了偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的溶液。偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的摩尔比为64.2/27.1/8.7。

接着利用棒涂机将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的溶液涂布于基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面。接着，在60℃、5分钟的干燥条件下对基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)和未干燥的涂层进行干燥，制作了具有压电性的涂层12。干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为1μm。

[实施例10]

实施例10的压电薄膜10由本发明的压电薄膜的第1基本构成构成。对于实施例10的压电薄膜10，干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为5μm，除此以外与实施例9的压电薄膜10同样地制作。

[比较例1]

比较例1的压电薄膜由偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)的、厚度40μm的独立的薄膜(不具有基材薄膜)构成。比较例1的压电薄膜通过如下方式制作：将利用超声波使偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)溶解于常温的异丁基酮中而成的溶液以干燥后的厚度为40μm的方式涂布于聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面，干燥后从聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜上剥离，从而制作。

[表1]

表1示出本发明的压电薄膜的实施例和比较例的压电薄膜的构成、具有压电性的涂层的摩尔比和厚度、压电薄膜的雾度值和总透光率。表1中，vdf表示偏氟乙烯、trfe表示三氟乙烯、ctfe表示三氟氯乙烯、pet表示聚对苯二甲酸乙二醇酯。p()表示共聚物。因此，“p(vdf-trfe)”是指“偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物”。“p(vdf-trfe-ctfe)”是指“偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物”。“p(vdf-trfe)/pet基材薄膜”是指“将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物涂布于由聚对苯二甲酸乙二醇酯形成的基材薄膜11的表面”。“p(vdf-trfe-ctfe)/pet基材薄膜”是指“将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物涂布于由聚对苯二甲酸乙二醇酯形成的基材薄膜11的表面”。pvdf是指偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)。

实施例1～实施例4的压电薄膜的构成和材料相同，但具有压电性的涂层12的厚度不同。若对实施例1～实施例4进行比较，则可观察到随着具有压电性的涂层12的厚度变厚，雾度值上升的倾向。然而，实施例1～实施例4的压电薄膜的雾度值和总透光率是全部没有问题的水平。

实施例5～实施例7的压电薄膜的构成和材料相同，但具有压电性的涂层12的厚度不同。若对实施例5～实施例7进行比较，则可观察到随着具有压电性的涂层12的厚度变厚，雾度值稍微上升的倾向。然而，实施例5～实施例7的压电薄膜的雾度值和总透光率是全部没有问题的水平。

实施例8的压电薄膜与实施例5的压电薄膜的构成和材料相同，涂层12的厚度也近似，但雾度值有较大差异。实施例8的压电薄膜的雾度值大的原因在于干燥温度为135℃(其它实施例的干燥温度为60℃)。如此，提高涂层12的干燥温度时，有压电薄膜的雾度值增大的倾向。

实施例9和实施例10的压电薄膜的构成和材料相同，但具有压电性的涂层12的厚度不同。根据实施例9和实施例10，可观察到随着具有压电性的涂层12的厚度变厚，雾度值上升的倾向。然而，实施例9和实施例10的压电薄膜的雾度值和总透光率是全部没有问题的水平。

比较例1的偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)的独立的薄膜与本发明的实施例1～实施例10的压电薄膜相比，雾度值非常大。因此，显示器图像的可视性降低的可能性大。然而，比较例1的压电薄膜的总透光率与本发明的实施例1～实施例10的压电薄膜几乎没有差别。由比较例1可知，即使雾度值变大总透光率也不一定降低。

[测定方法]

(厚度)

对于低于1μm的膜的厚度，使用透射型电子显微镜(日立制作所制h-7650)观察并测定截面。超过1μm的膜或薄膜的厚度使用膜厚仪(peacock公司制digitaldialgaugedg-205)进行测定。

[雾度值、总透光率]

雾度值、总透光率使用directreadinghazecomputer(sugatestinstruments公司制hgm-zdp)进行测定。

[实施例11～16]

另外，如图10所示，假定在本申请的压电薄膜10上层叠透明电极20的情况，测定了在压电薄膜10与透明电极20之间配置光学调整层14时的具有压电性的涂层12、光学调整层14、透明电极20的厚度和折射率。压电薄膜10与上述实施例相同，在pet薄膜上涂布了偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物。

光学调整层14如以下的表2所示，折射率分别为1.54、1.62、1.7。由于制造方法根据折射率的不同而异，因此依据折射率分别进行说明。折射率为1.54时，在具有压电性的涂层12的一面通过三聚氰胺树脂：醇酸树脂：有机硅烷缩合物的重量比2：2：1的热固化型树脂(光的折射率n＝1.54)形成了厚度为120nm的光学调整层14。

折射率为1.62时，使用凹版涂布机在具有压电性的涂层12的一面涂布含有紫外线固化性树脂47质量份、氧化锆颗粒(中值粒径40nm)57质量份和pgme的光学调整组合物(jsr公司制，“opstarz7412”、固体成分12质量％)，在无风状态(低于0.1m/秒)下立即以60℃加热干燥1分钟。然后，利用高压汞灯照射累积光量250mj/cm²的紫外线而实施了固化处理。利用该方法在具有压电性的涂层12上形成了厚度为90、120、或150nm且折射率为1.62的光学调整层14。

折射率为1.7时，制备了在包含三聚氰胺树脂、醇酸树脂和有机硅烷缩合物的热固化型树脂(以重量比计三聚氰胺树脂：醇酸树脂：有机硅烷缩合物＝2：2：1)中混合了tio2(折射率＝2.35)的微粒而成的树脂组合物。此时，调整了tio2微粒的混合量使得上述树脂组合物的折射率成为1.70。然后，在具有压电性的涂层12上涂覆上述树脂组合物，并使其固化，而形成了厚度150nm的光学调整层14(折射率1.70)。

另外，透明电极20通过对铟锡氧化物进行溅射而成膜。将其结果示于表2，“第1层”为具有压电性的涂层12，“第2层”为光学调整层14，“第3层”为透明电极20。

各实施例如上所述具有压电性的涂层12的厚度为0.5～10μm、光学调整层14的厚度为80～160nm、透明电极20的厚度为20nm以上。另外，具有压电性的涂层12的折射率为1.40～1.50、光学调整层14的折射率为1.50～1.70、透明电极20的折射率为1.90～2.10。透明电极20与光学调整层14的反射率差为2％以下，外观良好。

需要说明的是，根据需要对透明电极20进行蚀刻而成为期望的电极等。求出上述折射率时，光学调整层14的折射率使用通过蚀刻去除了透明电极20后的部分。因此，通过由各折射率求出空气与透明电极20、空气与光学调整层14的反射率，从而求出反射率差。

[比较例2～3]

作为相对于实施例11～16的比较例，进行了没有光学调整层14的情况(比较例2)和光学调整层14的折射率小于1.5的情况(比较例3)。没有光学调整层14的情况下，反射率差是透明电极20与具有压电性的涂层12的差。反射率差大于2％，外观变差。

需要说明的是，对于折射率为1.46时(比较例4)的光学调整层14，以固体成分浓度为2％的方式用乙醇稀释硅溶胶(colcoatco.,ltd.制，colcoatp)，利用二氧化硅涂布法涂布于具有压电性的涂层12一面上，然后在150℃下使其干燥、固化2分钟，形成厚度为120nm的层(sio2膜，光的折射率1.46)而作为光学调整层14。比较例中其它构成的制造方法与实施例相同。

[表2]

通过在具有压电性的涂层12上具备透明电极20，从而有时因透明电极20呈现出黄色或茶色使外观受损。可知的是：通过如上述实施例那样设置光学调整层14，并以成为上述值的范围的方式调节透明电极20、光学调整层14、具有压电性的涂层12的厚度和折射率，由此能如表2所示那样减小反射率差，不会损害外观。可知的是，即使在显示器的前表面配置在压电薄膜10上层叠光学调整层14和透明电极20而成的构成，也不会损害显示器的外观。

产业上的可利用性

本发明的压电薄膜的利用没有限制，特别适于用作用于检测触摸面板的z坐标(手指触摸的压力)的压电薄膜。

附图标记说明

10、20、30、40、50、60、70、80、90压电薄膜

11基材薄膜

12具有压电性的涂层

13底涂层

14光学调整层

15第1光学调整层

16第2光学调整层

17防粘连层

18透明粘合层

20透明电极

22具有防粘连功能的硬涂层