具有亚波长厚度的压电层的弹性波器件的制作方法

技术特征：

技术总结
本申请的各方面涉及一种弹性波器件。所述弹性波器件包括亚波长厚度的压电层、位于所述压电层上的叉指型换能器电极、和具有比弹性波的速度更高的体速度的高速层。所述高速层可抑制弹性波在反谐振时从所述压电层泄露。

技术研发人员：后藤令;邹杰;中村弘幸;C·S·林
受保护的技术使用者：天工方案公司
技术研发日：2017.10.18
技术公布日：2019.06.14