铝电解电容器用电极及其制造方法与流程

本发明涉及在铝电极上形成化学转化被膜的铝电解电容器用电极及其制造方法。
背景技术：
：在铝电解电容器用阳极箔的制造步骤中，将具有多孔层的铝电极浸渍于高温的纯水等水合处理液中，在铝电极的表面形成水合被膜(水合步骤)后，在包含有机酸或无机酸及它们的盐的化学转化液中进行化学转化(化学转化步骤)，在表面形成由氧化铝构成的化学转化被膜。通过在化学转化步骤之前形成水合被膜，能够削减化学转化所需要的电量，并且能够提高每单位面积的静电电容(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-57000号公报技术实现要素：发明所要解决的技术问题在水合步骤之后以400v以上的化学转化电压进行化学转化时所形成的化学转化被膜中，存在大量的由直径数nm至数10nm的空孔构成的缺陷。可以认为是由于水合被膜发生脱水转化成氧化铝时引起体积收缩而造成的。存在这些缺陷的化学转化被膜，由于水容易从表面浸入，所以具有化学转化被膜容易发生水合劣化的缺点。本发明的发明人对于这样的缺陷进行了各种研究，结果发现：在进行水合步骤之后进行化学转化时，上述缺陷从300v以上的电压开始产生，其特别是在400v以上、进而在500v以上时变得尤为显著。并且，本发明的发明人反复进行了实验和考察，结果获知如下结论：在以300v以下的电压进行化学转化时，即使产生了上述缺陷，由于在化学转化步骤中化学转化液或水浸透到缺陷中，缺陷也会再次发生化学转化而被修复。但是，在以400v以上的电压进行化学转化时，由于化学转化被膜所产生的热量非常大，所以在化学转化步骤中化学转化液或水浸透到缺陷中之前，化学转化液或水在被膜的表面上会沸腾、蒸发，难以进行缺陷的修复。鉴于上述问题，本发明所要解决的技术问题在于：提供一种能够提供耐电压为400v以上的化学转化被膜的耐水性的铝电解电容器用电极及其制造方法。用于解决技术问题的技术方案为了解决上述技术问题，本发明的铝电解电容器用电极的特征在于：其在铝电极上形成有具有400v以上的耐电压的化学转化被膜，切断上述化学转化被膜时在切断面露出的空孔的数量为150个/μm2以下。在本发明中，切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔(缺陷)的数量为150个/μm2以下，化学转化被膜中的缺陷少。因此，由于水不易从化学转化被膜的表面浸入，所以化学转化被膜不易发生水合劣化，能够提高化学转化被膜的耐水性。在本发明中，优选上述空孔的数量为100个/μm2以下。在本发明涉及的铝电解电容器用电极的制造方法中，包括：水合步骤，其使铝电极与温度为78℃至92℃的水合处理液接触，在上述铝电极上形成水合被膜；和化学转化步骤，其在温度为58℃至78℃的化学转化液中，以400v以上的化学转化电压进行化学转化，在上述铝电极上形成化学转化被膜，在将上述水合被膜的质量相对于上述铝电极的上述水合步骤前的质量的比例设为xwt％时，被膜耐电压vf(v)和比例xwt％满足以下的条件式：(0.01×vf)≤x≤(0.017×vf+28)。在本发明涉及的铝电解电容器用电极的制造方法中，基于水合被膜所含的水容易在60℃～90℃脱离的见解，以较低的温度的78℃至92℃进行水合步骤。因此，水合被膜中的水不易脱离，形成水分量多的水合被膜。因此，即使起因于在化学转化步骤中水合被膜脱水而变化为氧化铝时的体积收缩而产生缺陷(空孔)，因为在化学转化被膜中存在充分量的水分，所以能够在化学转化步骤中有效地修复缺陷。并且，在化学转化步骤中，因为将化学转化液的温度设为58℃至78℃，所以在水合步骤中水不易从水合被膜脱离。因此，即使在化学转化途中，水分充分地存在于水合被膜中，所以能够在化学转化步骤中有效地修复缺陷。因此，能够将切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔(缺陷)的数量降低至150个/μm2以下，所以水不易从化学转化被膜的表面浸入。因此，化学转化被膜不易发生水合劣化，能够提高化学转化被膜的耐水性。另外，在本发明中，水合步骤所生成的水合被膜的量是适当的。即，水合步骤所生成的水合被膜的量过少时，因为在化学转化时产生的热量变大，所以在化学转化步骤中难以进行缺陷的修复。相对于此，水合步骤所生成的水合被膜的量过多时，由于厚厚地形成水合被膜，妨碍了化学转化液或水浸透到缺陷，所以会妨碍缺陷的修复。因此，根据本发明，因为能够将切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔(缺陷)的数量降低至150个/μm2以下，水不易从化学转化被膜的表面浸入。因此，化学转化被膜不易发生水合劣化，能够提高化学转化被膜的耐水性。另外，关于缺陷，在化学转化步骤中，即使进行去极化后进行再化学转化也能够某种程度地除去，但在400v以上的化学转化电压中无法充分地除去。这是因为：由于化学转化被膜厚厚地形成，所以即使进行去极化也会残留被膜的内部的缺陷。在本发明中，在上述化学转化步骤中，以三维的速度矢量a表示上述铝电极的移动速度、以三维的速度矢量b表示在垂直于上述铝电极的表面的方向上从上述铝电极的表面起到10cm为止的范围内的上述化学转化液的平均流速、以三维的速度矢量b－a表示上述化学转化液相对于上述铝电极的相对速度、并将上述速度矢量b－a的绝对值表示为|b－a|时，优选上述速度矢量的绝对值|b－a|满足以下的条件式：3cm/s≤|b－a|≤100cm/s。通过这样的特征，化学转化液相对于铝电极表面的相对速度是适当的，所以能够使化学转化时由铝电极产生的热量有效地散发到化学转化液中。因此，即使化学转化电压为400v以上，在化学转化步骤中化学转化液或水也能够浸透到化学转化被膜中的缺陷，从而能够进行缺陷的修复。因此，静电电容高，化学转化被膜中的缺陷少，所以化学转化被膜不易发生水合劣化。在此，当|b－a|低于3cm/s时，由于无法使来自铝电极表面的热量充分地散发或者离子的扩散变得不充分等理由，化学转化被膜中的缺陷不能被充分地修复，会成为泄漏电流高、容易发生水合劣化的铝电解电容器用电极。相对于此，当|b－a|超过100cm/s时，由于来自铝电极表面的铝离子的溶出过剩，所以静电电容容易降低。在本发明中，优选上述速度矢量的绝对值|b－a|满足以下的条件式：5cm/s≤|b－a|≤30cm/s。在本发明中，将上述速度矢量a和b的绝对值分别表示为|a|和|b|时，上述速度矢量的绝对值|a|和|b|分别满足以下的条件式：0cm/s≤|a|≤100cm/s；3cm/s≤|b|≤100cm/s。发明效果在本发明涉及的铝电解电容器用电极中，切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔(缺陷)的数量为150个/μm2以下，化学转化被膜中的缺陷少。因此，水不易从化学转化被膜的表面浸入，所以化学转化被膜不易发生水合劣化，能够提高化学转化被膜的耐水性。另外，在本发明涉及的铝电解电容器用电极的制造方法，基于水合被膜所含的水容易在60℃～90℃脱离的见解，以较低的温度的78℃至92℃进行水合步骤。因此，水合被膜中的水不易脱离，能够形成水分量多的水合被膜。另外，在化学转化步骤中，因为将化学转化液的温度设为58℃至78℃，所以在水合步骤中水不易从水合被膜脱离。因此，在水合被膜中充分地存在水分，所以在化学转化步骤中能够有效地修复缺陷。另外，在水合步骤中形成的水合被膜的量是适当的。因此，能够将切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔(缺陷)的数量降低至150个/μm2以下，所以水不易从化学转化被膜的表面浸入。因此，化学转化被膜不易发生水合劣化，能够提高化学转化被膜的耐水性。附图说明图1是表示铝电解电容器用电极的化学转化被膜中的空孔(缺陷)的检查方法的说明图。图2是铝电解电容器用电极的化学转化被膜中的空孔(缺陷)的说明图。图3是表示应用了本发明的铝电解电容器用电极的制造方法中在水合步骤中生成的水合被膜量的适当范围的图表。图4是示意地表示应用了本发明的铝电解电容器用电极的化学转化步骤的说明图。具体实施方式(铝电解电容器用电极)在本发明中，在制造铝电解电容器用电极时，对铝电极的表面进行化学转化来制造铝电解电容器用电极。作为铝电极，可以使用对铝箔进行了蚀刻的蚀刻箔、或在铝芯材的两面层叠有将铝粉体烧结而成的多孔层的多孔性铝电极等。蚀刻箔具有形成有隧道状的坑(pit)的多孔层。多孔性铝电极例如在厚度为10μm～50μm的铝芯材的两面分别形成有每1层的厚度为150μm～3000μm的多孔层30。这样的多孔层是将铝粉体烧结而成的层，铝粉体在互相维持空隙的状态下被烧结。(铝电解电容器的构成)在使用经过化学转化的铝电极(铝电解电容器用电极)制造铝电解电容器时，例如，将由经过化学转化的铝电极(铝电解电容器用电极)构成的阳极箔与阴极箔隔着隔膜卷绕，形成电容器元件。接着，将电容器元件含浸在电解液(糊剂)中。然后，将包含电解液的电容器元件收纳在外装壳体中，利用封口体将壳体封口。在这样的特征的铝电解电容器中，化学转化被膜的耐水性低时，在保存铝电解电容器用电极时，化学转化被膜因空气中的水分而劣化，有时铝电解电容器的特性降低。另外，在制造铝电解电容器后，若化学转化被膜因电解液中的水分而劣化，则铝电解电容器的可靠性降低。因此，铝电解电容器用电极要求高的耐水性。另外，在代替电解液而使用固体电解质的情况下，在由经过化学转化的铝电极(铝电解电容器用电极)构成的阳极箔的表面形成固体电解质层后，在固体电解质层的表面形成阴极层，然后，利用树脂等进行外装。此时，设置与阳极电连接的阳极端子和与阴极层电连接的阴极端子。在这种情况下，阳极箔有时会层叠数片。在如此的特征的铝电解电容器中，若铝电解电容器用电极的耐水性低，则因经由树脂等的外装而侵入的水分，化学转化被膜发生劣化，所以铝电解电容器用电极要求高的耐水性。(铝电解电容器用电极)图1是表示铝电解电容器用电极的化学转化被膜中的空孔(缺陷)的检查方法的说明图。图2是铝电解电容器用电极的化学转化被膜中的空孔(缺陷)的说明图。其中，在图2中，以容易了解空孔的存在的方式，表示了利用fe-sem观察空孔多的化学转化被膜的截面而得到的照片。在铝电解电容器用电极中，若在化学转化被膜中空孔(缺陷)多，则因为水容易从表面浸入，所以化学转化被膜容易发生水合劣化。因此，化学转化被膜中的缺陷少时，铝电解电容器用电极的耐水性高。因此，在本方式中，如参照图1和图2进行说明的那样，将化学转化被膜中的空孔的数量控制在规定值以下。更具体而言，通过将在切断铝电解电容器用电极的化学转化被膜时在切断面露出的空孔的数量控制在规定值以下，将化学转化被膜中的空孔的数量控制在规定值以下。在图1(a)和图2中表示了对于在蚀刻箔形成有化学转化被膜的铝电解电容器用电极、以沿着表面的方式切断化学转化被膜的情况，隧道状的坑以黑色区域表示。另外，在坑的周围存在化学转化被膜。另外，如图2所示，在化学转化被膜的切断面露出空孔(缺陷)，由此能够计测每1μm2的空孔的数量。另外，如图1(b)所示，也可以以沿着坑的方式切断化学转化被膜，在该情况下，也在化学转化被膜的切断面露出空孔(缺陷)，由此也能够计测每1μm2的空孔的数量。在本方式中，将在切断铝电解电容器用电极的化学转化被膜时在切断面露出的空孔的数量设定为150个/μm2以下。因此，化学转化被膜中的缺陷少。因此，水不易从化学转化被膜的表面浸入，所以不易发生水合劣化，耐水性高。另外，空孔的数量更优选为100个/μm2以下，利用这样的方式，能够大幅地提高铝电解电容器用电极的耐水性。(铝电解电容器用电极的制造方法)在本方式的铝电解电容器用电极的制造方法中，进行水合步骤和化学转化步骤，在水合步骤中，使铝电极与纯水等水合处理液接触，在铝电极上形成水合被膜，在化学转化步骤中，在化学转化液中以400v以上的化学转化电压对铝电极进行化学转化，在铝电极上形成化学转化被膜。在本方式中，在水合步骤中，将铝电极浸渍在温度为78℃至92℃的纯水(水合处理液)中而形成水合被膜。在化学转化步骤中，在温度为58℃至78℃的化学转化液中，以400v以上的化学转化电压，对铝电极进行化学转化。在如此的制造方法中，在水合步骤后进行化学转化步骤时，能够通过水合被膜的脱水反应和铝的阳极氧化反应两者而形成化学转化被膜。在水合被膜的脱水反应中，通过水的脱离而体积收缩，所以产生空孔(缺陷)。这样的缺陷的一部分通过阳极氧化反应而被修复，但若在缺陷中不存在化学转化液或水，则不会被修复，所以未被修复的缺陷最终残存于化学转化被膜中，成为泄漏电流增加或耐水合性降低的原因。本发明的发明人详细地观察化学转化被膜的截面，其结果，可知：化学转化被膜中的缺陷的大小为数nm～数10nm，在到达400v以上的耐电压进行化学转化的情况下产生得特别多。另外，可知：水合步骤的液温高且化学转化液温度为高温时，产生很多缺陷。更具体而言，可知：水合被膜所含的水以约60℃～90℃、95℃～150℃、200℃～450℃的3阶段脱离。如现有技术所述，在沸腾纯水中进行煮沸的情况下，水会脱离，所以即使在使相同量的铝反应的情况下，水合被膜中的水分量也变少。因此，在之后的化学转化步骤中，化学转化被膜中的水分不足而无法充分地修复缺陷。然而在本发明中，因为以较低的温度的78℃至92℃进行水合步骤，所以水合被膜中的水不易脱离，形成水分量多的水合被膜。因此，在之后的化学转化步骤中，化学转化被膜中的水分充分地存在，所以能够有效地修复缺陷。另外，在化学转化步骤中，将化学转化液的温度设为58℃至78℃，因此水不易从水合被膜脱离。因此，化学转化被膜中的水分充分地存在，所以能够有效地修复缺陷。因此，能够将在切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔的数量减少至150个/μm2以下、优选100个/μm2以下，由此能够提高铝电解电容器用电极的耐水性。另外，关于缺陷，即使进行去极化后进行再化学转化，也能够某种程度地除去，但在400v以上的化学转化电压中无法充分地除去。这是因为：化学转化被膜厚厚地形成，所以即使进行去极化也会残留被膜的内部的缺陷。然而根据本方式，即使化学转化电压为400v以上的化学转化被膜，也能够减少缺陷，能够提高铝电解电容器用电极的耐水性。(水合被膜量)图3表示在应用了本发明的铝电解电容器用电极的制造方法中在水合步骤中生成的水合被膜量的适当范围的图表。在本方式中，在由以下的式(数学式1)表示通过水合步骤而增加的质量的比例x时，在水合步骤中生成的水合被膜的量为从图1中以实线l11表示的x的下限起到图1中以虚线l12表示的x的上限为止的范围。更具体而言，将化学转化被膜的最终的被膜耐电压设为vf(v)，将通过水合步骤而增加的质量的比例设为x时，表示x的下限的实线l11由以下的式表示：x＝(0.01×vf)。另外，表示x的上限的虚线l12用以下的式表示：x＝(0.017×vf+28)。因此，在本方式中，以被膜耐电压vf(v)和比例x(质量％)满足以下的条件式的方式设定水合步骤的条件：(0.01×vf)≤x≤(0.017×vf+28)。通过这样的特征，在水合步骤生成的水合被膜的量为适当的，所以能够减少缺陷。即，在水合步骤生成的水合被膜的量少于上述条件式的下限时，因为在化学转化时产生的热量变大，所以缺陷的修复变为难以进行。相对于此，在水合步骤生成的水合被膜的量多于上述条件式的上限时，因厚厚地形成的水合被膜而妨碍化学转化液或水浸透到缺陷，所以会妨碍缺陷的修复。因此，如果满足上述条件，则能够将在切断化学转化被膜时在切断面露出的空孔的数量减少至150个/μm2以下、优选为100个/μm2以下，所以能够提高铝电解电容器用电极的耐水性。(化学转化步骤)图4是示意地表示应用了本发明的铝电解电容器用电极的化学转化步骤的说明图。在化学转化步骤中，例如如图4所示，将铝电极10浸渍在化学转化槽(未图示)所贮存的化学转化液20中。在化学转化液20中，配置有1对对电极30，成为铝电极10的两面分别与对电极30相对的状态。在该状态下，将铝电极10作为阳极，将对电极30作为负极进行化学转化，对化学转化铝电极10进行化学转化。其结果，在铝电极10的两面形成氧化铝(化学转化被膜)。此时，在水合步骤中形成的水合被膜的一部分发生脱水而转化成氧化铝，包含于化学转化被膜的一部分中。在这样的化学转化步骤中，例如使用己二酸等有机酸或其盐的水溶液作为化学转化液20。例如，在包含己二酸等有机酸或其盐、且在50℃测得的电阻率为5ωm至500ωm的水溶液(有机酸系的化学转化液20)中，在液温为40℃至90℃的条件下，对铝电极10进行化学转化。此时，关于在铝电极10与相对电极30之间所施加的电源电压，进行升压直至达到最终的化学转化电压vf，然后保持在化学转化电压vf。并且，也可以使用包含硼酸或磷酸等无机酸或其盐的水溶液作为化学转化液20，以代替使用己二酸等有机酸或其盐的化学转化液20。例如，在包含硼酸或磷酸等无机酸或其盐、且在90℃测得的电阻率为10ωm至1000ωm的水溶液(无机酸系的化学转化液20)中，在液温为40℃至95℃的条件下，对铝电极10进行化学转化。另外，也可以在达到最终的化学转化电压vf之前利用使用己二酸等有机酸或其盐的化学转化液20进行化学转化，然后利用使用硼酸或磷酸等无机酸或其盐的化学转化液20进行化学转化电压vf的保持(恒电压化学转化)。在使用任一种化学转化液20的情况下，均可以在化学转化步骤的途中进行将铝电极10加热的热去极化处理、或将铝电极10浸渍在包含磷酸根离子的水溶液等中的液中去极化处理等的去极化处理。在热去极化处理中，例如处理温度为450℃～550℃，处理时间为2分钟～10分钟。在液中去极化处理中，在20质量％～30质量％磷酸的水溶液中，在液温为60℃～70℃的条件下，与被膜耐电压相对应地将铝电极10浸渍5分钟～15分钟。其中，在液中去极化处理中不对铝电极10施加电压。另外，在进行升压直至化学转化电压的途中，可以进行将铝电极10浸渍在包含磷酸根离子的水溶液中的磷酸浸渍步骤。在该磷酸浸渍步骤中，将铝电极10浸渍在液温为40℃至80℃、且在60℃测得的电阻率为0.1ωm至5ωm的磷酸水溶液中3分钟至30分钟的时间。通过该磷酸浸渍步骤，能够高效地除去在化学转化步骤中析出的氢氧化铝，并且能够抑制其后的氢氧化铝的生成。并且，通过磷酸浸渍步骤，能够使磷酸根离子进入化学转化被膜内，因此能够提高对于在沸水或酸性溶液中浸渍的耐久性等，能够有效地提高化学转化被膜的稳定性。(化学转化液相对于铝电极的相对速度)在本方式中，以图2所示的状态进行化学转化步骤时，铝电极10和化学转化液20设为静止状态或移动状态。以使铝电极10移动的状态进行化学转化是指在将铝电极10浸渍在化学转化液20中的状态下，以使其移动的状态进行化学转化。以使化学转化液20移动的状态进行化学转化是指通过循环或搅拌使浸渍有铝电极10的化学转化液20移动，进行化学转化。在本方式中，以三维的速度矢量a表示铝电极10的移动速度、以三维的速度矢量b表示在垂直于铝电极10的表面的方向上从铝电极10的表面起到10cm为止的范围z0内的化学转化液20的平均流速、以三维的速度矢量b－a表示化学转化液20相对于铝电极10的相对速度、并将速度矢量b－a的绝对值表示为|b－a|时，速度矢量的绝对值|b－a|满足以下的条件式：3cm/s≤|b－a|≤100cm/s。在本方式中，速度矢量的绝对值|b－a|满足以下的条件式：5cm/s≤|b－a|≤30cm/s。另外，将速度矢量a和b的绝对值分别表示为|a|和|b|时，速度矢量的绝对值|a|和|b|分别满足以下的条件式：0cm/s≤|a|≤100cm/s；3cm/s≤|b|≤100cm/s。在此，在使铝电极10静止的状态下进行化学转化时，速度矢量的绝对值|a|为0。利用这样的特征，化学转化液相对于铝电极表面的相对速度是适当的，所以能够使化学转化时由铝电极产生的热量有效地散发到化学转化液中。因而，能够避免化学转化被膜成为高温而从水合被膜脱离必要以上的水的情况。因此，即使化学转化电压为400v以上，也能够进行缺陷的修复。因此，应用了本发明的铝电解电容器用电极，静电电容高，化学转化被膜中的缺陷少，所以不易发生水合劣化。在此，在|b－a|低于3cm/s时，由于无法充分地散发来自铝电极表面的热量、或离子的扩散变得不充分等的理由，化学转化被膜中的缺陷无法充分地修复，成为泄漏电流高且易发生水合劣化的铝电解电容器用电极。相对于此，在|b－a|超过100cm/s时，由于从铝电极表面过量地溶出铝离子，所以静电电容容易降低。在图2中，在沿着铝电极10的两面的方向之中，将左右方向(水平方向)设为x方向，将上下方向(垂直方向)设为y方向。并且，将铝电极10与对电极30相对的方向设为z方向。因此，铝电极10的移动速度的三维的速度矢量a相当于将x方向的速度矢量ax、y方向的速度矢量ay和z方向的速度矢量az合成的矢量。并且，速度矢量a的绝对值|a|由以下式表示：化学转化液20的移动速度的三维的速度矢量b相当于将x方向的速度矢量bx、y方向的速度矢量by和z方向的速度矢量bz合成的矢量。并且，速度矢量b的绝对值|b|由以下式表示：化学转化液20相对于铝电极10的相对速度的三维的速度矢量b－a的绝对值|b－a|由以下式表示：(实施例)下面说明本发明的实施例等。表1表示本发明的实施例1、2和比较例1、2涉及的铝电解电容器用电极的制造条件。表2表示本发明的实施例1、2和比较例1、2涉及的铝电解电容器用电极的特性。[表1]水合步骤的温度(℃)化学转化液种类化学转化液温度(℃)实施例183硼酸+硼酸铵65实施例280己二酸铵65比较例180硼酸+硼酸铵85比较例293硼酸+硼酸铵65[表2]缺陷个数(个/μm2)耐水合性(秒)实施例19012实施例2658比较例130045比较例225038如表1所示，在实施例1、2和比较例1、2的任一例中，均使用通过蚀刻处理实施了扩面处理的高纯度铝的蚀刻箔，作为铝电极。并且，在表1所示的各温度下，以通过水合步骤而形成的水合被膜的质量相对于铝电极的沸腾步骤前的质量的比例成为20％的方式，在纯水中进行水合处理后，利用表1所示的各种类的化学转化液进行化学转化。此时，在化学转化步骤中，进行磷酸水溶液浸渍、利用热处理的去极化处理。化学转化电压为600v。另外，化学转化液相对于铝电极的相对速度的三维的速度矢量b－a的绝对值|b－a|为10cm/s。接着，对铝电极测定耐水合性。耐水合性的测定是根据eiajrc2364a所规定的“铝电解电容器用电极箔的试验方法”而测定的结果，例如耐水合性利用在95℃以上的纯水中浸渍60±1分钟后施加恒电流时升压直至达到被膜耐电压的时间(秒)表示。另外，用fe-sem观察化学转化被膜的截面，进行图像解析，由此计测化学转化被膜1μm2的缺陷个数。实施例1、2中，因为水合步骤的温度和化学转化液的温度适当，所以耐水合性良好。比较例1中，水合步骤的温度适当，但化学转化液的温度高，所以从水合被膜的脱水变多。其结果，因为成为缺陷多的化学转化被膜，所以耐水合性差。比较例2中，化学转化液的温度适当，但水合步骤的温度高，所以水合被膜中的水分变少。其结果，因为成为缺陷多的化学转化被膜，所以耐水合性差。(其他的实施方式)在上述实施例中，作为铝电极，使用蚀刻箔，但使用在铝芯材的两面层叠烧结铝粉体而成的多孔层而得到的多孔性铝电极等的情况也能够得到同样的效果。另外，在上述实施例以外，也研究了各种条件，结果，只要满足上述的条件，即使是化学转化电压为400v以上的化学转化被膜，也可以得到能够减少化学转化被膜内的缺陷的结果。当前第1页12